一种真空镀膜机的离子源工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机的离子源工装，包括离子源镀膜炉，所述离子源镀膜炉的一侧固定安装有安装座，且安装座的顶部固定安装有支撑杆，支撑杆的顶端固定安装有竖杆，所述竖杆的顶端铰接有镀膜炉挡板，所述镀膜炉挡板与离子源镀膜炉相配合，所述支撑杆靠近离子源镀膜炉的一侧设有开设在安装座顶部的第一圆型槽，且第一圆型槽内滑动套设有竖轴，所述竖轴的顶端延伸至安装座的上方，竖轴靠近支撑杆的一侧固定安装有绝热座。本实用新型专利技术结构简单，能够在使用时通过步进电机的正反向启动，能够带动镀膜炉挡板翻转开启和复位，防止工人手动开启时造成烫伤，且降低了工人的劳动强度，有利于工人的使用。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的离子源工装
本技术涉及真空镀膜机
，尤其涉及一种真空镀膜机的离子源工装。
技术介绍
离子源镀膜炉是广泛应用于真空镀膜机上的离子源工装，离子源工装可以概括为离子源锅炉上一种专用的器件，现有的真空镀膜机上的离子源工装大都包括离子源镀膜炉、离子源、过滤罩和挡板组成，但是现有的挡板不具备自动翻转功能，而离子源镀膜炉使用后温度较高，传统的大都是经工人带手套来转动挡板，在使用时再把挡板转动到原位置用来遮挡，给使用中带来极大的不便，且容易烫伤到工人，为此我们提出了一种真空镀膜机的离子源工装。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜机的离子源工装。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种真空镀膜机的离子源工装，包括离子源镀膜炉，所述离子源镀膜炉的一侧固定安装有安装座，且安装座的顶部固定安装有支撑杆，支撑杆的顶端固定安装有竖杆，所述竖杆的顶端铰接有镀膜炉挡板，所述镀膜炉挡板与离子源镀膜炉相配合，所述支撑杆靠近离子源镀膜炉的一侧设有开设在安装座顶部的第一圆型槽，且第一圆型槽内滑动套设有竖轴，所述竖轴的顶端延伸至安装座的上方，竖轴靠近支撑杆的一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的离子源工装，包括离子源镀膜炉（1），其特征在于，所述离子源镀膜炉（1）的一侧固定安装有安装座（2），且安装座（2）的顶部固定安装有支撑杆（4），支撑杆（4）的顶端固定安装有竖杆（5），所述竖杆（5）的顶端铰接有镀膜炉挡板（6），所述镀膜炉挡板（6）与离子源镀膜炉（1）相配合，所述支撑杆（4）靠近离子源镀膜炉（1）的一侧设有开设在安装座（2）顶部的第一圆型槽（7），且第一圆型槽（7）内滑动套设有竖轴（8），所述竖轴（8）的顶端延伸至安装座（2）的上方，竖轴（8）靠近支撑杆（4）的一侧固定安装有绝热座（9），且绝热座（9）滑动套设在支撑杆（4）上，所述绝热座（9）远离竖轴（8）...

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的离子源工装，包括离子源镀膜炉（1），其特征在于，所述离子源镀膜炉（1）的一侧固定安装有安装座（2），且安装座（2）的顶部固定安装有支撑杆（4），支撑杆（4）的顶端固定安装有竖杆（5），所述竖杆（5）的顶端铰接有镀膜炉挡板（6），所述镀膜炉挡板（6）与离子源镀膜炉（1）相配合，所述支撑杆（4）靠近离子源镀膜炉（1）的一侧设有开设在安装座（2）顶部的第一圆型槽（7），且第一圆型槽（7）内滑动套设有竖轴（8），所述竖轴（8）的顶端延伸至安装座（2）的上方，竖轴（8）靠近支撑杆（4）的一侧固定安装有绝热座（9），且绝热座（9）滑动套设在支撑杆（4）上，所述绝热座（9）远离竖轴（8）的一侧铰接有倾斜设置设置的连接杆（10），且连接杆（10）的顶端与镀膜炉挡板（6）的底部相铰接，所述竖轴（8）的底部与第一圆型槽（7）的底部内壁之间焊接有多个弹簧（11），所述第一圆型槽（7）远离离子源镀膜炉（1）的一侧设有开设在安装座（2）上的空腔（12），所述竖轴（8）靠近支撑杆（4）的一侧底部固定安装有横杆（13），且横杆（13）远离竖轴（8）的一端延伸至空腔（12）内，所述空腔（12）靠近第一圆型槽（7）的一侧内壁上转动安装有绕线轴（14），所述安装座（2）远离离子源镀膜炉（1）的一侧固定安装有步进电机（16），且步进电机（16）的输出轴延伸至...

【专利技术属性】
技术研发人员：金学峰，陈志龙，莫超超，
申请(专利权)人：爱发科商贸上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31