一种晶圆片清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆片清洗装置，其可以通过提高清洗液对晶圆片的冲洗频率，从而清洗液可以强烈的冲洗晶圆片表面附着的污渍；并且可以将晶圆片在清洗的时候转动，保证清洗液全方位对晶圆片清洗；包括操作台、洗液箱、晶圆片和两组支架，洗液箱设置有清洗腔；还包括两组限位轨、四组滚轮、两组支撑杆、电动机、限位环、单头转子、四组复位弹簧和四组侧位杆；还包括挑架、调节杆、操作杆、转动轴、卡杆、伸缩杆、挤压弹簧、两组卡子、两组支持环、转向齿轮、动力齿轮和转动把手，操作杆的内部设置有旋转腔，旋转腔的顶端设置有调控口。

A Wafer Cleaning Device

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片清洗装置
本技术涉及晶圆加工设备附属装置的
，特别是涉及一种晶圆片清洗装置。
技术介绍
众所周知，晶圆片清洗装置是一种在晶圆加工的过程中，用于清洗晶圆片的装置，其在晶圆加工设备的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆片清洗装置包括操作台、洗液箱、晶圆片和夹子，所述洗液箱设置有清洗腔，洗液箱的底端与操作台的顶端连接；现有的晶圆片清洗装置使用时，首先将洗液箱内加入适量的清洗液，然后用夹子夹住晶圆片，工作人员拿住夹子的夹柄端将晶圆片浸没到晶圆片洗液中涮洗即可；现有的晶圆片清洗装置使用中发现，首先晶圆片在涮洗的过程中，清洗液无法对晶圆片实现很高的冲洗频率，从而导致晶圆片外表面附着的污渍无法受到清洗液强烈的冲击力而被清除，因而实用性较差；并且在涮洗晶圆片的过程中，晶圆片的晃动角度较为固定，清洗液无法保证对晶圆片的各个部位实现强烈的冲击而带走晶圆片表面的污渍，从而导致局限性较高。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种可以通过提高清洗液对晶圆片的冲洗频率，从而清洗液可以强烈的冲洗晶圆片表面附着的污渍，增强了实用性；并且可以将晶圆片在清洗的时候转动，保证清洗液全方位对晶圆片清洗，从而降低了使用局限性的晶圆片清洗装置。本技术的一种晶圆片清洗装置，包括操作台、洗液箱、晶圆片和两组支架，所述洗液箱设置有清洗腔，所述两组支架的底端分别与操作台顶端的左侧和右侧连接；还包括两组限位轨、四组滚轮、两组支撑杆、电动机、限位环、单头转子、四组复位弹簧和四组侧位杆，所述两组限位轨的底端分别与操作台的顶端的左侧和右侧连接，所述两组限位轨分别设置有两组左限位槽和两组右限位槽，所述四组滚轮的左侧两组滚轮和右侧两组滚轮分别转动卡装两组左限位槽内和两组右限位槽内，所述两组支撑杆的底端分别设置有两组左支腿和两组右支腿，所述四组滚轮的左侧两组滚轮分别与两组左支腿的底端转动连接，所述四组滚轮的右侧两组滚轮分别与两组右支腿的底端转动连接，所述两组支撑杆的顶端分别与洗液箱的底端左侧和右侧连接，所述限位环的顶端设置有连接杆，限位环的连接杆的顶端与洗液箱的底端中部区域连接，所述限位环设置有椭形轨道，所述电动机的底端与操作台的顶端中部区域后侧连接，所述电动机的输出端与单头转子的固定端连接，所述单头转子与限位环转动套装，并且单头转子的转动端与限位环的椭形轨道紧贴，所述四组侧位杆的固定端分别与两组支架的内侧壁的上册和下侧连接，所述四组侧位杆分别设置有四组压缩腔，所述四组压缩腔的外侧壁均设置有贯通口，所述四组复位弹簧的固定端分别自四组压缩腔外穿过四组贯通口并分别伸入到四组压缩腔内部，所述四组复位弹簧的固定端分别与四组压缩腔的内侧壁紧贴，所述四组复位弹簧的挤压端分别与洗液箱的左侧壁和右侧壁的上侧和下侧连接；还包括挑架、调节杆、操作杆、转动轴、卡杆、伸缩杆、挤压弹簧、两组卡子、两组支持环、转向齿轮、动力齿轮和转动把手，所述挑架的底端与操作台的顶端中部后侧连接，所述挑架的顶端与调节杆的后端活动铆接，所述调节杆的前侧区域的顶端和底端连通设置有插入孔，所述操作杆的内部设置有旋转腔，所述旋转腔的顶端设置有调控口，所述操作杆的顶端与调节杆的底端前侧连接，所述转动轴的底端自插入孔的顶端穿过插入孔并继续穿过调控口然后伸入到旋转腔内，所述转动轴的底端与动力齿轮的顶端中部连接，所述转动轴的顶端与转动把手的固定端连接，所述两组支持环的左端和右端均设置有两组连接杆，所述两组支持环均通过两组连接杆与旋转腔的左侧壁和右侧壁的上侧和下侧连接，所述两组支持环分别与转动轴的上侧和下侧转动套装，所述旋转腔的后侧壁底部区域设置有转动口，所述转向齿轮平滑侧壁中部设置有连通轴，所述连通轴自旋转腔内转动穿过转动口并伸出到旋转腔外部，所述连通轴的输出端与两组卡子中位于前侧的卡子的前侧壁中部连接，所述操作杆的后侧壁底部区域与卡杆的前端连接，所述卡杆的内部设置有拉伸腔，所述拉伸腔的后侧壁设置有调控口，所述伸缩杆包括水平杆和竖向杆，水平杆的后端和竖向杆的顶端连接，所述水平杆的前端自拉伸腔的外侧穿过调控口并伸入到拉伸腔内，所述水平杆的前端设置有卡头，所述挤压弹簧活动套装在伸缩杆的水平杆上，并且挤压弹簧的前端与卡头后侧壁紧贴，挤压弹簧的后端与拉伸腔的后侧壁紧贴，所述竖向杆的前侧壁底端设置有限位轴，所述限位轴的前端与两组卡子中位于后侧的卡子的后侧壁中部转动连接，所述晶圆片的前侧壁和后侧壁分别与两组卡子固定卡装。本技术的一种晶圆片清洗装置，还包括拖杆、橡胶垫和拉手，所述拖杆的底端后侧壁与挑架的前侧壁顶部区域连接，所述橡胶垫底端与拖杆的顶端连接，所述橡胶垫的顶端与调节杆的底端后侧区域紧贴，所述调节杆的顶端中部与拉手的固定端连接。本技术的一种晶圆片清洗装置，还包括两组盖板，两组盖板包括左盖板和右盖板，所述洗液箱的清洗腔的顶端设置有工作口，所述两组盖板的底端位于工作口的正上方，并且两组盖板的底端前侧和后侧分别与洗液箱的前侧壁和后侧壁的顶端紧贴，所述左盖板的底端左侧与洗液箱的左侧壁顶端紧贴，所述右盖板的底端右侧与洗液箱的右侧壁顶端紧贴，所述左盖板的右端和右盖板的左端紧贴，所述做盖板的右侧顶端中部和右盖板的左侧顶端中部均设置有半椭形轨道，所述两组半椭形轨道的前端和后端均紧贴。本技术的一种晶圆片清洗装置，还包括两组提手，所述两组盖板的顶端中部区域分别与两组提手的固定端连接。本技术的一种晶圆片清洗装置，洗液箱的前侧壁底端与清洗腔连通设置有放水管，所述放水管连通设置有开关阀。本技术的一种晶圆片清洗装置，还包括两组固定钩和两组活动扣，所述两组固定钩分别与左盖板的前端和后端的右侧螺接，所述两组活动扣分别与右盖板的前端和后端的左侧螺接，所述两组固定钩和两组活动扣分别卡装。本技术的一种晶圆片清洗装置，还包括两组底座，所述操作台的左侧壁和右侧壁的底端分别与两组底座的固定端焊接。本技术的一种晶圆片清洗装置，还包括保护板，所述保护板的固定端与清洗腔的后侧壁底部区域连接，并且保护板位于电动机的正上方。与现有技术相比本技术的有益效果为：首先打开电动机，然后电动机带动单头转子在限位环的椭形轨道内转动，当单头转子与右椭形轨道纵向紧贴时，洗液箱位于操作台的中间位置，当单头转子与椭形轨道横向紧贴时，洗液箱通过四组滚轮在两组限位轨上由操作台的中间位置向左或者向右移动，因而电机转速加快后洗液箱便实现了左右摆动，从而洗液箱带动清洗液在清洗腔内对晶圆片快速冲洗，增强了实用性；并且通过摇动转动把手可以使动力轴带动动力齿轮咬合转向齿轮转动，从而使两组卡子夹住晶圆片在清洗液中翻转，实现了清洗液全方位的对晶圆片的清洗，降低了使用局限性。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的伸缩杆和卡杆的连接结构示意图；图3是本技术的滚轮和限位轨的连接结构示意图；图4是本技术的A的局部放大结构示意图；图5是本技术的挑架和调节杆的连接结构示意图；图6是本技术的两组盖板的连接结构示意图；附图中标记：1、操作台；2、洗液箱；3、晶圆片；4、两组支架；5、两组限位轨；6、四组滚轮；7、两组支撑杆；8、电动机；9、限位环；10、单头转子；11、四组复位弹簧；12、四组侧位杆；13、挑架；14、调节杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆片清洗装置，包括操作台（1）、洗液箱（2）、晶圆片（3）和两组支架（4），所述洗液箱（2）设置有清洗腔，所述两组支架（4）的底端分别与操作台（1）顶端的左侧和右侧连接；其特征在于，还包括两组限位轨（5）、四组滚轮（6）、两组支撑杆（7）、电动机（8）、限位环（9）、单头转子（10）、四组复位弹簧（11）和四组侧位杆（12），所述两组限位轨（5）的底端分别与操作台（1）的顶端的左侧和右侧连接，所述两组限位轨（5）分别设置有两组左限位槽和两组右限位槽，所述四组滚轮（6）的左侧两组滚轮和右侧两组滚轮分别转动卡装两组左限位槽内和两组右限位槽内，所述两组支撑杆（7）的底端分别设置有两组左支腿和两组右支腿，所述四组滚轮（6）的左侧两组滚轮分别与两组左支腿的底端转动连接，所述四组滚轮（6）的右侧两组滚轮分别与两组右支腿的底端转动连接，所述两组支撑杆（7）的顶端分别与洗液箱（2）的底端左侧和右侧连接，所述限位环（9）的顶端设置有连接杆，限位环（9）的连接杆的顶端与洗液箱（2）的底端中部区域连接，所述限位环（9）设置有椭形轨道，所述电动机（8）的底端与操作台（1）的顶端中部区域后侧连接，所述电动机（8）的输出端与单头转子（10）的固定端连接，所述单头转子（10）与限位环（9）转动套装，并且单头转子（10）的转动端与限位环（9）的椭形轨道紧贴，所述四组侧位杆（12）的固定端分别与两组支架（4）的内侧壁的上册和下侧连接，所述四组侧位杆（12）分别设置有四组压缩腔，所述四组压缩腔的外侧壁均设置有贯通口，所述四组复位弹簧（11）的固定端分别自四组压缩腔外穿过四组贯通口并分别伸入到四组压缩腔内部，所述四组复位弹簧（11）的固定端分别与四组压缩腔的内侧壁紧贴，所述四组复位弹簧（11）的挤压端分别与洗液箱（2）的左侧壁和右侧壁的上侧和下侧连接；还包括挑架（13）、调节杆（14）、操作杆（15）、转动轴（16）、卡杆（17）、伸缩杆（18）、挤压弹簧（19）、两组卡子（20）、两组支持环（21）、转向齿轮（22）、动力齿轮（23）和转动把手（24），所述挑架（13）的底端与操作台（1）的顶端中部后侧连接，所述挑架（13）的顶端与调节杆（14）的后端活动铆接，所述调节杆（14）的前侧区域的顶端和底端连通设置有插入孔，所述操作杆（15）的内部设置有旋转腔，所述旋转腔的顶端设置有调控口，所述操作杆（15）的顶端与调节杆（14）的底端前侧连接，所述转动轴（16）的底端自插入孔的顶端穿过插入孔并继续穿过调控口然后伸入到旋转腔内，所述转动轴（16）的底端与动力齿轮（23）的顶端中部连接，所述转动轴（16）的顶端与转动把手（24）的固定端连接，所述两组支持环（21）的左端和右端均设置有两组连接杆，所述两组支持环（21）均通过两组连接杆与旋转腔的左侧壁和右侧壁的上侧和下侧连接，所述两组支持环（21）分别与转动轴（16）的上侧和下侧转动套装，所述旋转腔的后侧壁底部区域设置有转动口，所述转向齿轮（22）平滑侧壁中部设置有连通轴，所述连通轴自旋转腔内转动穿过转动口并伸出到旋转腔外部，所述连通轴的输出端与两组卡子（20）中位于前侧的卡子的前侧壁中部连接，所述操作杆（15）的后侧壁底部区域与卡杆（17）的前端连接，所述卡杆（17）的内部设置有拉伸腔，所述拉伸腔的后侧壁设置有调控口，所述伸缩杆（18）包括水平杆和竖向杆，水平杆的后端和竖向杆的顶端连接，所述水平杆的前端自拉伸腔的外侧穿过调控口并伸入到拉伸腔内，所述水平杆的前端设置有卡头，所述挤压弹簧（19）活动套装在伸缩杆（18）的水平杆上，并且挤压弹簧（19）的前端与卡头后侧壁紧贴，挤压弹簧（19）的后端与拉伸腔的后侧壁紧贴，所述竖向杆的前侧壁底端设置有限位轴，所述限位轴的前端与两组卡子（20）中位于后侧的卡子的后侧壁中部转动连接，所述晶圆片（3）的前侧壁和后侧壁分别与两组卡子（20）固定卡装。...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片清洗装置，包括操作台（1）、洗液箱（2）、晶圆片（3）和两组支架（4），所述洗液箱（2）设置有清洗腔，所述两组支架（4）的底端分别与操作台（1）顶端的左侧和右侧连接；其特征在于，还包括两组限位轨（5）、四组滚轮（6）、两组支撑杆（7）、电动机（8）、限位环（9）、单头转子（10）、四组复位弹簧（11）和四组侧位杆（12），所述两组限位轨（5）的底端分别与操作台（1）的顶端的左侧和右侧连接，所述两组限位轨（5）分别设置有两组左限位槽和两组右限位槽，所述四组滚轮（6）的左侧两组滚轮和右侧两组滚轮分别转动卡装两组左限位槽内和两组右限位槽内，所述两组支撑杆（7）的底端分别设置有两组左支腿和两组右支腿，所述四组滚轮（6）的左侧两组滚轮分别与两组左支腿的底端转动连接，所述四组滚轮（6）的右侧两组滚轮分别与两组右支腿的底端转动连接，所述两组支撑杆（7）的顶端分别与洗液箱（2）的底端左侧和右侧连接，所述限位环（9）的顶端设置有连接杆，限位环（9）的连接杆的顶端与洗液箱（2）的底端中部区域连接，所述限位环（9）设置有椭形轨道，所述电动机（8）的底端与操作台（1）的顶端中部区域后侧连接，所述电动机（8）的输出端与单头转子（10）的固定端连接，所述单头转子（10）与限位环（9）转动套装，并且单头转子（10）的转动端与限位环（9）的椭形轨道紧贴，所述四组侧位杆（12）的固定端分别与两组支架（4）的内侧壁的上册和下侧连接，所述四组侧位杆（12）分别设置有四组压缩腔，所述四组压缩腔的外侧壁均设置有贯通口，所述四组复位弹簧（11）的固定端分别自四组压缩腔外穿过四组贯通口并分别伸入到四组压缩腔内部，所述四组复位弹簧（11）的固定端分别与四组压缩腔的内侧壁紧贴，所述四组复位弹簧（11）的挤压端分别与洗液箱（2）的左侧壁和右侧壁的上侧和下侧连接；还包括挑架（13）、调节杆（14）、操作杆（15）、转动轴（16）、卡杆（17）、伸缩杆（18）、挤压弹簧（19）、两组卡子（20）、两组支持环（21）、转向齿轮（22）、动力齿轮（23）和转动把手（24），所述挑架（13）的底端与操作台（1）的顶端中部后侧连接，所述挑架（13）的顶端与调节杆（14）的后端活动铆接，所述调节杆（14）的前侧区域的顶端和底端连通设置有插入孔，所述操作杆（15）的内部设置有旋转腔，所述旋转腔的顶端设置有调控口，所述操作杆（15）的顶端与调节杆（14）的底端前侧连接，所述转动轴（16）的底端自插入孔的顶端穿过插入孔并继续穿过调控口然后伸入到旋转腔内，所述转动轴（16）的底端与动力齿轮（23）的顶端中部连接，所述转动轴（16）的顶端与转动把手（24）的固定端连接，所述两组支持环（21）的左端和右端均设置有两组连接杆，所述两组支持环（21）均通过两组连接杆与旋转腔的左侧壁和右侧壁的上侧和下侧连接，所述两组支持环（21）分别与转动轴（16）的上侧和下侧转动套装，所述旋转腔的后侧壁底部区域设置有转动口，所述转向齿轮（22...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：江苏英锐半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32