一种固态电解质薄膜用Li3PO4靶材的制备方法和应用技术

本发明专利技术公开了属于陶瓷靶材制备技术领域的一种固态电解质薄膜用Li3PO4靶材的制备方法和应用。具体将Li3PO4粉体置于马弗炉中低温预处理，经造粒、热压烧结、退火、真空烘干制得Li3PO4靶材；本发明专利技术制备方法简单、易于工业化生产，制得的Li3PO4靶材介电常数高、介电损耗低、相对密度为50％‑100％范围内可控，适用于溅射制备全固态电解质薄膜。

【技术实现步骤摘要】
一种固态电解质薄膜用Li3PO4靶材的制备方法和应用
本专利技术属于陶瓷靶材制备
，特别涉及一种固态电解质薄膜用Li3PO4靶材的制备方法和应用。
技术介绍
全固态薄膜电池的电解质需要有高的离子电导率、低的电子电导率，并能在工作电势范围内与正、负电极稳定共存。非晶态的锂磷氧氮(LiPON)被证实可以作为一种有前景的固态电解质材料。LiPON与低电极电位的金属锂阳极和高电极电位的过渡金属氧化物阴极接触时都非常稳定，故采用LiPON电解质薄膜可以很好地克服锂枝晶的生长、钝化层的不断增厚和电池循环寿命低等问题。目前锂磷氧氮薄膜的常用制备方法是磁控溅射，相关研究通过在N2中射频磁控溅射成功的制备了LiPON薄膜；然而，要获得性能优异的LiPON电解质薄膜，需要高质量的Li3PO4靶材。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种固态电解质薄膜用Li3PO4靶材的制备方法和应用，具体技术方案如下：一种固态电解质薄膜用Li3PO4靶材的制备方法具体为，将Li3PO4粉体置于马弗炉中低温预处理，经造粒、热压烧结、退火、真空烘干，制得Li3PO4靶材。所述Li3PO4粉体粒度为10-100μm，纯本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固态电解质薄膜用Li3PO4靶材的制备方法，其特征在于，将Li3PO4粉体置于马弗炉中低温预处理，经造粒、热压烧结、退火、真空烘干制得Li3PO4靶材。

【技术特征摘要】
1.一种固态电解质薄膜用Li3PO4靶材的制备方法，其特征在于，将Li3PO4粉体置于马弗炉中低温预处理，经造粒、热压烧结、退火、真空烘干制得Li3PO4靶材。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述Li3PO4粉体粒度为10-100μm。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述低温预处理温度为100～300℃。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述造粒后Li3PO4粉体的中位粒径D50为30-50μm。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热压烧结具体为：将造粒后粉体装入石墨模具置于热压炉中，抽真空后升温，温度达到...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宇阳，白雪，储茂友，王星明，杨磊，桂涛，张恒，韩沧，
申请(专利权)人：有研工程技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11