一种基于步进器的掩模装载机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种基于步进器的掩模装载机，包括掩膜板、传送皮带、传送导轨、第一单位指南、第二单位指南、装载机滑板和十字线叉，掩膜板顶部固定连接有异物检测装置，异物检测装置顶部通过掩膜台连接有十字线叉，十字线叉一端分别同时连接有第一单位指南、第二单位指南和装载机滑板，装载机滑板一端设置有与装载机滑板相适配的无载滑块，第一单位指南一侧远离装载机滑板一端连接有露光位置，露光位置上通过传送导轨连接有与露光位置相适配的传送皮带，掩膜台和十字线叉之间设置有位于掩膜板上方的指导标记处。有益效果：本实用新型专利技术能够对掩膜板预对准精度和辅助坐标进行有效确认。

【技术实现步骤摘要】
一种基于步进器的掩模装载机
本技术涉及掩模装载机
，具体涉及一种基于步进器的掩模装载机。
技术介绍
步进器是通过切换步进触点的方式将输入脉冲数转换成步进信号的器件。一般用电磁线圈通电驱动步进触点和电磁线圈断电驱动步进触点两种。多用于输入脉冲的计数、插孔操纵台转换回路、时序控制回路和多点巡回检测切换回路。步进器内的掩模装载机是由搬运叉从掩膜板盒里把掩膜板取出，然后搬送到掩膜板预对准部，掩膜板预对准校正完成后再通过装载机滑板把掩膜板搬送到装载台上，掩膜板购买价格昂贵并且容易破碎，因此掩膜板预对部指导的开闭速度调整一定要校正，此处调整不当极易出现掉板，校正精度低，降低了使用性。
技术实现思路
本技术目的是提供一种基于步进器的掩模装载机，提供一种对准精度高和不易出现掉板的步进器掩模装载机。为了实现以上目的，本技术采用的技术方案为：一种基于步进器的掩模装载机，包括掩膜板、传送皮带、传送导轨、第一单位指南、第二单位指南、装载机滑板和十字线叉，所述掩膜板顶部固定连接有异物检测装置，所述异物检测装置顶部通过掩膜台连接有所述十字线叉，所述十字线叉一端分别同时连接有所述第一单位指南、所述第二单位指南和所述装载机滑板，所述装载机滑板一端设置有与所述装载机滑板相适配的无载滑块，所述第一单位指南一侧远离所述装载机滑板一端连接有露光位置，所述露光位置上通过所述传送导轨连接有与所述露光位置相适配的所述传送皮带，所述掩膜台和所述十字线叉之间设置有位于所述掩膜板上方的指导标记处。进一步的，所述掩膜板外部增设有护罩膜。进一步的，所述传送导轨一端设置有所述传送皮带相连接的待机位置。进一步的，所述第二单位指南上安装有与所述指导标记处的对准部。进一步的，所述传送皮带一端连接有位于所述异物检测装置内的气管或是真空管。本技术的技术效果在于：通过掩膜板上设置异物检测装置，配合第一单位指南连接有露光位置和第二单位指南上的对准部，可以有效掩膜板上板与掩膜台的对准精度，而十字线叉上传送皮带更换、传送导轨的清扫上油、传送马达的保养和更换有利于对掩模装载机的更新，同时让掩膜板搬送到掩膜台上后减小两者间的距离，使得掩膜板对准时及时寻找到指导标记处，这样的步进器掩模装载机大大提高了使用性能，对准精度高，能够及时寻找确认到辅助坐标。附图说明图1为本技术步进器掩模装载机结构示意图。附图标记：1-掩膜板；2-传送皮带；3-传送导轨；4-第一单位指南；5-第二单位指南；6-装载机滑板；7-十字线叉；8-异物检测装置；9-掩膜台；10-无载滑块；11-露光位置；12-指导标记处；13-护罩膜；14-待机位置。具体实施方式参照附图1，一种基于步进器的掩模装载机，其特征在于，包括掩膜板1、传送皮带2、传送导轨3、第一单位指南4、第二单位指南5、装载机滑板6和十字线叉7，所述掩膜板1顶部固定连接有异物检测装置8，所述异物检测装置8顶部通过掩膜台9连接有所述十字线叉7，所述十字线叉7一端分别同时连接有所述第一单位指南4、所述第二单位指南5和所述装载机滑板6，所述装载机滑板6一端设置有与所述装载机滑板6相适配的无载滑块10，所述第一单位指南4一侧远离所述装载机滑板6一端连接有露光位置11，所述露光位置11上通过所述传送导轨3连接有与所述露光位置11相适配的所述传送皮带2，所述掩膜台9和所述十字线叉7之间设置有位于所述掩膜板1上方的指导标记处12。优选的，所述掩膜板1外部增设有护罩膜13。优选的，通过掩膜板1上设置异物检测装置8，配合第一单位指南4连接的露光位置11和第二单位指南5上的对准部，可以有效掩膜板1上板与掩膜台9的对准精度，而十字线叉7上传送皮带2更换、传送导轨3的清扫上油、传送马达的保养和更换有利于对掩模装载机的更新，同时让掩膜板1搬送到掩膜台9上后减小两者间的距离，使得掩膜板1对准时及时寻找到指导标记处12，这样的步进器掩模装载机大大提高了使用性能，对准精度高，能够及时寻找确认到辅助坐标。优选的，所述传送导轨3一端设置有所述传送皮带2相连接的待机位置14。优选的，所述第二单位指南5上安装有与所述指导标记处12的对准部。优选的，所述传送皮带2一端连接有位于所述异物检测装置8内的气管或是真空管。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术的范围内。本技术要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于步进器的掩模装载机，其特征在于，包括掩膜板(1)、传送皮带(2)、传送导轨(3)、第一单位指南(4)、第二单位指南(5)、装载机滑板(6)和十字线叉(7)，所述掩膜板(1)顶部固定连接有异物检测装置(8)，所述异物检测装置(8)顶部通过掩膜台(9)连接有所述十字线叉(7)，所述十字线叉(7)一端分别同时连接有所述第一单位指南(4)、所述第二单位指南(5)和所述装载机滑板(6)，所述装载机滑板(6)一端设置有与所述装载机滑板(6)相适配的无载滑块(10)，所述第一单位指南(4)一侧远离所述装载机滑板(6)一端连接有露光位置(11)，所述露光位置(11)上通过所述传送导轨(3)连接有与所述露光位置(11)相适配的所述传送皮带(2)，所述掩膜台(9)和所述十字线叉(7)之间设置有位于所述掩膜板(1)上方的指导标记处(12)。

【技术特征摘要】
1.一种基于步进器的掩模装载机，其特征在于，包括掩膜板(1)、传送皮带(2)、传送导轨(3)、第一单位指南(4)、第二单位指南(5)、装载机滑板(6)和十字线叉(7)，所述掩膜板(1)顶部固定连接有异物检测装置(8)，所述异物检测装置(8)顶部通过掩膜台(9)连接有所述十字线叉(7)，所述十字线叉(7)一端分别同时连接有所述第一单位指南(4)、所述第二单位指南(5)和所述装载机滑板(6)，所述装载机滑板(6)一端设置有与所述装载机滑板(6)相适配的无载滑块(10)，所述第一单位指南(4)一侧远离所述装载机滑板(6)一端连接有露光位置(11)，所述露光位置(11)上通过所述传送导轨(3)连接有与所述露光位置(11)相适...

【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，张琪，
申请(专利权)人：安徽睿芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34