谐振器和谐振装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供谐振器和谐振装置。抑制在保持部上的绝缘体层带电的电荷对谐振频率造成的影响。谐振器具备：振动部，具有压电膜、设置为将该压电膜夹持在中间并对置的下部电极和上部电极，上述振动部以规定的振动模式进行振动；保持部，至少设置于振动部的振动的位移成为最大的位移最大区域的周围，并具有绝缘膜；保持臂，对振动部与保持部进行连接；和导电部，形成为在保持部中的至少与振动部的位移最大区域对置的区域中，与保持部的绝缘膜连接，导电部与下部电极或者上述上部电极电连接，或者被接地。

Resonator and Resonant Device

The invention provides a resonator and a resonant device. The effect of charged insulator layer on the resonant frequency is suppressed. The resonator has: a vibration part with piezoelectric film, which is set to clamp the piezoelectric film between the lower electrode and the upper electrode, and the vibration part vibrates in the prescribed vibration mode; a retaining part, which is at least set around the area where the vibration displacement of the vibration part becomes the maximum displacement, has an insulating film; and a retaining arm, which connects the vibration part with the retaining part. A conductive part is formed in an area opposite to at least the maximum displacement area of the vibration part in the retaining part, and is connected with the insulating film of the retaining part, and the conductive part is electrically connected with the lower electrode or the upper electrode, or is grounded.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】谐振器和谐振装置
本专利技术涉及谐振器和谐振装置。
技术介绍
作为在电子设备中用于实现计时功能的器件，使用压电振子等谐振器。伴随着电子设备的小型化，谐振器也要求小型化，从而使用MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)技术制造的谐振器(以下，也称为“MEMS振子”)备受瞩目。在MEMS振子中，存在因制造偏差使谐振频率产生偏差的情况。因此，在MEMS振子的制造过程中、制造后，通过追加蚀刻等来调整频率。例如，在专利文献1公开了如下的结构：在具有多个振动臂的振子中，分别使设置于振动臂的顶端侧的粗调用的质量部和设置于振动臂的基端侧的微调用的质量部减少，由此调整谐振频率。专利文献1：日本特开2012－065293号公报以往的谐振器成为矩形的振动部(振动体)被保持臂连接于保持部的结构，保持部的表面成为被绝缘膜覆盖的结构。在这样的谐振器的情况下，例如存在保持部的绝缘膜因在形成薄膜时产生的电场等而带电的情况。另外，当在这样的以往的谐振器使用了专利文献1所记载的使用了离子束的频率调整方法的情况下，存在将离子束照射至保持部，由此使保持部的绝缘膜带电的情况。其结果，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种谐振器，具备：振动部，具有压电膜、设置为将该压电膜夹持在中间并对置的下部电极和上部电极，所述振动部以规定的振动模式进行振动；保持部，至少设置于所述振动部的振动的位移最大的位移最大区域的周围，并具有绝缘膜；保持臂，对所述振动部与所述保持部进行连接；和导电部，形成为在所述保持部中的至少与所述振动部的所述位移最大区域对置的区域，与所述保持部的所述绝缘膜连接，所述导电部与所述下部电极和所述上部电极的任一者电连接，或者被接地。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.05 JP 2016-1335371.一种谐振器，具备：振动部，具有压电膜、设置为将该压电膜夹持在中间并对置的下部电极和上部电极，所述振动部以规定的振动模式进行振动；保持部，至少设置于所述振动部的振动的位移最大的位移最大区域的周围，并具有绝缘膜；保持臂，对所述振动部与所述保持部进行连接；和导电部，形成为在所述保持部中的至少与所述振动部的所述位移最大区域对置的区域，与所述保持部的所述绝缘膜连接，所述导电部与所述下部电极和所述上部电极的任一者电连接，或者被接地。2.根据权利要求1所述的谐振器，其中，所述保持部设置为从周围包围所述振动部的框状。3.根据权利要求2所述的谐振器，其中，所述导电部设置为与所述框状的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：后藤雄一，福光政和，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP