弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制支承基板与压电膜之间的静电电容、能够抑制特性的劣化、且在与其它电子部件连接的情况下不易产生该电子部件的动作不良的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：层叠体(8)，具有支承基板(5)和设置在支承基板(5)上的压电膜(7)；天线端子，设置在支承基板(5)上；接地端子(4A)，设置在支承基板(5)上；信号端子(3)，设置在支承基板(5)上；IDT电极，设置在压电膜(7)上；以及第一绝缘膜(9A)，设置在支承基板(5)与信号端子(3)之间。层叠体(8)具有由高声速材料构成的层和声反射层中的一者，高声速材料传播的体波的声速比在压电膜(7)传播的弹性波的声速高，声反射层具有声阻抗相对低的低声阻抗层以及声阻抗相对高的高声阻抗层。

Elastic wave device

The invention provides an elastic wave device capable of suppressing the electrostatic capacitance between the supporting substrate and the piezoelectric film, of suppressing the deterioration of the characteristics, and of not easily producing the poor action of the electronic component when connected with other electronic components. Elastic wave device (1) has: laminated body (8), supporting base plate (5) and piezoelectric film (7); antenna terminal, set on supporting base plate (5); ground terminal (4A), set on supporting base plate (5); signal terminal (3), set on supporting base plate (5); IDT electrode, set on piezoelectric film (7); and first insulating film (9A), set on supporting base plate (5) and supporting base plate (5). Between signal terminals (3). The laminated body (8) has one of the layers consisting of a high-speed material and an acoustic reflection layer. The sound velocity of the body wave propagated by a high-speed material is higher than that of the elastic wave propagated by a piezoelectric film (7). The acoustic reflection layer has a low acoustic impedance layer with relatively low acoustic impedance and a high acoustic impedance layer with relatively high acoustic impedance.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术涉及弹性波装置。
技术介绍
以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1，公开了在支承基板上设置有层叠了高声速膜、低声速膜以及压电膜的层叠体的弹性波装置。进而，在该弹性波装置中，在支承基板上设置有绝缘层，使得在俯视下包围上述层叠体，与外部电连接的凸块下金属层全部设置在绝缘层上。在下述的专利文献2，公开了在支承基板上设置有层叠了高声速膜、低声速膜以及压电膜的层叠体的弹性波装置。在该弹性波装置中，在直接设置在支承基板上的布线，连接有凸块下金属层。在先技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2015/098678号专利文献2：国际公开第2015/098679号
技术实现思路
专利技术要解决的课题在弹性波装置的安装时、使用时等，若压电膜被加热或被冷却，则由于热电效应而产生电荷。在此，在专利文献1记载的弹性波装置中，在绝缘层上设置有凸块下金属层。因而，产生的电荷能够从压电膜释放到接地电极，但是关于移动到未与接地电极连接的支承基板的电荷，则不能释放，支承基板会带电。因此，在支承基板与压电膜之间产生电位差，产生静电电容。由于该静电电容的影响，在弹性波装置中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：层叠体，具有支承基板和设置在所述支承基板上的压电膜；天线端子，设置在所述支承基板上，并与天线连接；接地端子，设置在所述支承基板上，并与接地电位连接；信号端子，设置在所述支承基板上，并与信号电位连接；IDT电极，设置在所述压电膜上；以及第一绝缘膜，设置在所述支承基板与所述信号端子之间，所述层叠体具有由高声速材料构成的层和声反射层中的一者，所述高声速材料传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速高，所述声反射层具有声阻抗相对低的低声阻抗层以及声阻抗相对高的高声阻抗层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.06.30 JP 2017-1287261.一种弹性波装置，具备：层叠体，具有支承基板和设置在所述支承基板上的压电膜；天线端子，设置在所述支承基板上，并与天线连接；接地端子，设置在所述支承基板上，并与接地电位连接；信号端子，设置在所述支承基板上，并与信号电位连接；IDT电极，设置在所述压电膜上；以及第一绝缘膜，设置在所述支承基板与所述信号端子之间，所述层叠体具有由高声速材料构成的层和声反射层中的一者，所述高声速材料传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速高，所述声反射层具有声阻抗相对低的低声阻抗层以及声阻抗相对高的高声阻抗层。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，还具备：第二绝缘膜，设置在所述支承基板与所述天线端子之间。3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，在所述支承基板上直接设置有所述天线端子。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述层叠体具有：由所述高声速材料构成的层；以及低声速膜，设置在所述支承基板与所述压电膜之间，由传播的体波的声速比在所述压电膜传播...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈田真一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP