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弹性波装置制造方法及图纸
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文档序号:20596945
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本发明提供一种能够抑制支承基板与压电膜之间的静电电容、能够抑制特性的劣化、且在与其它电子部件连接的情况下不易产生该电子部件的动作不良的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:层叠体(8),具有支承基板(5)和设置在支承基板(5)上的压电膜(7);...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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