探针卡、晶圆、无线测试系统及方法技术方案

本发明专利技术技术方案公开一种探针卡、晶圆、无线测试系统及方法，所述无线测试系统包括：探针卡和晶圆。其中，探针卡包括第一天线和第一无线通信单元；晶圆包括第二天线和第二无线通信单元。第一无线通信单元用于通过第一天线发送测试信号至晶圆或接收晶圆的响应信号；第二无线通信单元用于通过第二天线接收探针卡的测试信号或发送响应信号至探针卡；所述测试信号基于探针卡的输入信号而生成，所述响应信号基于测试结果信号而生成，所述测试结果信号为晶圆上的待测芯片基于测试信号而生成。本发明专利技术技术方案通过无线方式代替探针进行晶圆测试，避免了因探针接触不良或过接触造成的测试问题，完全省去了探针的相关成本。

Probe Card, Wafer and Wireless Testing System and Method

The technical scheme of the invention discloses a probe card, a wafer, a wireless test system and a method. The wireless test system includes a probe card and a wafer. The probe card includes the first antenna and the first wireless communication unit, and the wafer includes the second antenna and the second wireless communication unit. The first wireless communication unit is used to transmit a test signal to the wafer or to receive a response signal of the wafer through the first antenna; the second wireless communication unit is used to receive a test signal of the probe card or send a response signal to the probe card through the second antenna; the test signal is generated based on the input signal of the probe card, and the response signal is generated based on the test result signal. The result signal is generated for the chip to be tested on the wafer based on the test signal. The technical scheme of the invention can replace the probe for wafer testing by wireless mode, avoiding the testing problems caused by poor contact or over contact of the probe, and completely eliminating the related cost of the probe.

【技术实现步骤摘要】
探针卡、晶圆、无线测试系统及方法
本专利技术属于晶圆测试
，具体涉及一种探针卡、晶圆、无线测试系统及无线测试方法。
技术介绍
当晶圆的制程工艺完成后，为了确保晶圆能够正常使用，需要对晶圆上的芯片进行电性测试。现有的测试仪会为装载探针的探针卡发送输入信号，然后通过探针与晶圆的焊垫(pad)表面接触或者刮擦(扎针)，构成一个测试回路来进行信号传输，具体地，探针卡的输入信号加载到探针上，通过探针作用至晶圆上的待测芯片的测试结构上，芯片完成测试后生成的测试结果信号也会通过探针提供给探针卡，再由探针卡反馈给测试仪。所以，探针作为探针卡和晶圆传输信号的主要通道，是测试回路的一个重要组成部分。探针是按照特定顺序被安装在探针卡上面，然而，由于使用过程中，探针因磨损、接触、操作不当等原因导致探针不平整，进一步导致探针与晶圆接触不良或者过接触，由此影响测试结果或者导致晶圆损坏。另外探针也是一笔昂贵的费用，需要经常维护保养，扎针超过一定次数需要更换探针。
技术实现思路
本专利技术技术方案要解决的技术问题是现有的晶圆测试时，探针与焊垫接触不良所带来的测试问题，以及更换和维护探针的成本问题。为了解决上述技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡，其特征在于，包括：第一天线和第一无线通信单元，所述第一无线通信单元用于通过所述第一天线发送测试信号至晶圆或接收所述晶圆的响应信号；所述测试信号基于探针卡的输入信号而生成，所述响应信号基于测试结果信号而生成，所述测试结果信号为晶圆上的待测芯片基于所述测试信号而生成。

【技术特征摘要】
1.一种探针卡，其特征在于，包括：第一天线和第一无线通信单元，所述第一无线通信单元用于通过所述第一天线发送测试信号至晶圆或接收所述晶圆的响应信号；所述测试信号基于探针卡的输入信号而生成，所述响应信号基于测试结果信号而生成，所述测试结果信号为晶圆上的待测芯片基于所述测试信号而生成。2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，还包括用于信号处理的数据处理单元和用于储存信号的存储单元。3.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述第一天线和第一无线通信单元的数量与所述晶圆上的待测芯片的数量相适应；或者，所述第一天线和第一无线通信单元的数量与测试项目的数量相适应。4.如权利要求1至3任一项所述的探针卡，其特征在于，所述第一无线通信单元用于对所述输入信号进行编码和调制后生成所述测试信号，还用于对所述响应信号进行解调和解码后生成反馈信号。5.一种晶圆，其特征在于，包括：第二天线和第二无线通信单元，所述第二无线通信单元用于通过所述第二天线接收权利要求1至4任一项所述的探针卡的测试信号或发送响应信号至所述探针卡。6.如权利要求5所述的晶圆，其特征在于，还包括与所述第二无线通信单元耦合的频率选择单元，所述频率选择单元用于为与其耦合的第二无线通信单元配置传输频率，以使该第二无线通信单元与具有相同传输频率的第一无线通信单元进行信号传输。7.如权利要求6所述的晶圆，其特征在于，所述频率选择单元设置于所述待测芯片上。8.如权利要求5所述的晶圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶定文，汪海，张鸣帆，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32