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本发明技术方案公开一种探针卡、晶圆、无线测试系统及方法，所述无线测试系统包括：探针卡和晶圆。其中，探针卡包括第一天线和第一无线通信单元；晶圆包括第二天线和第二无线通信单元。第一无线通信单元用于通过第一天线发送测试信号至晶圆或接收晶圆的响应信...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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