蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够提高通过蒸镀所形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。用于形成蒸镀掩模的金属板的宽度方向的各位置上的沿着金属板的长度方向的形状具有在金属板的长度方向上反复的波浪，连接波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪高度相对于波浪长度的百分率为单位陡峭度，长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，金属板的宽度方向上的中央部RC的陡峭度的最大值为0.3％以下，金属板的宽度方向上的各端部RE的陡峭度的最大值为0.6％以下，金属板的宽度方向上的两端部RE中的至少一个端部的陡峭度的最大值比金属板的宽度方向的中央部RC的陡峭度的最大值小。

Manufacturing method of base material for evaporation mask, base material for evaporation mask, manufacturing method of evaporation mask and manufacturing method of display device

The invention provides a base material for an evaporation mask, a manufacturing method for a base material for an evaporation mask, a manufacturing method for an evaporation mask and a manufacturing method for a display device, which can improve the accuracy of the pattern formed by evaporation. The shape along the length direction of the metal plate used to form the evaporation mask at each position along the width direction of the metal plate has repeated waves in the length direction of the metal plate. The length of the straight line connecting one valley to another valley of the wave is the length of the wave. The percentage of the wave height relative to the length of the wave is unit steepness, and all the waves included in the length direction. The average unit steepness of waves is steepness. The maximum steepness of the central RC in the width direction of the metal plate is less than 0.3%, the maximum steepness of RE in each end of the width direction of the metal plate is less than 0.6%. The maximum steepness of at least one end of RE in the width direction of the metal plate is higher than that of the central RC in the width direction of the metal plate. The maximum steepness is small.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法
本专利技术涉及蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。
技术介绍
蒸镀掩模具备第一表面和第二表面。第一表面与基板等对象物相向，第二表面位于与第一表面相反的一侧。从第一表面贯通至第二表面的孔具备位于第一表面的第一开口和位于第二表面的第二开口。从第二开口进入到孔中的蒸镀物质在对象物上形成追随于第一开口的位置或第一开口的形状的图案(例如参照专利文献1)。现有专利文献专利文献专利文献1：日本特开2015-055007号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题蒸镀掩模所具备的孔具有从第一开口向第二开口扩大的截面积，由此提高从第二开口进入到孔中的蒸镀物质的数量，确保到达第一开口的蒸镀物质的数量。另一方面，从第二开口进入到孔中的蒸镀物质的一部分不会到达第一开口、而是很多地附着在对孔进行划分的壁面上。附着在壁面上的蒸镀物质会妨碍其它蒸镀物质通过孔、降低图案所具有的尺寸的精度。近年来，以降低附着在壁面上的蒸镀物质的体积为目的，探讨了减薄蒸镀掩模的厚度、缩小壁面面积本身。进而，作为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模用基材，其是通过蚀刻形成多个孔而用于制造蒸镀掩模的具有带状的金属板，其中，所述金属板的宽度方向的各位置上的沿着所述金属板的长度方向的形状相互间不同，各形状具有在所述金属板的长度方向上反复的波浪，连接所述波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪的高度相对于所述波浪的长度的百分率为单位陡峭度，所述金属板的宽度方向的各位置上，所述长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，所述金属板的宽度方向上的中央部的陡峭度的最大值为0.3％以下，所述金属板的宽度方向上的各端部的陡峭度的最大值为0.6％以下，所述金属板的宽度方向上的两端部中的至少一个端部的陡峭度的最大值...

【技术特征摘要】
2017.09.08 JP 2017-1731531.一种蒸镀掩模用基材，其是通过蚀刻形成多个孔而用于制造蒸镀掩模的具有带状的金属板，其中，所述金属板的宽度方向的各位置上的沿着所述金属板的长度方向的形状相互间不同，各形状具有在所述金属板的长度方向上反复的波浪，连接所述波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪的高度相对于所述波浪的长度的百分率为单位陡峭度，所述金属板的宽度方向的各位置上，所述长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，所述金属板的宽度方向上的中央部的陡峭度的最大值为0.3％以下，所述金属板的宽度方向上的各端部的陡峭度的最大值为0.6％以下，所述金属板的宽度方向上的两端部中的至少一个端部的陡峭度的最大值比所述金属板的宽度方向的中央部的陡峭度的最大值小，一个所述端部的陡峭度的最大值和另一个所述端部的陡峭度的最大值比所述中央部的陡峭度的最大值小，所述两端部的陡峭度的最大值和所述中央部的陡峭度的最大值为0.2％以下。2.一种蒸镀掩模用基材的制造方法，所述蒸镀掩模用基材是通过蚀刻形成多个孔而用于制造蒸镀掩模的具有带状的金属板，所述制造方法包含对母料进行轧制来获得所述金属板，所述金属板的宽度方向的各位置上的沿着所述金属板的长度方向的形状相互间不同，各形状具有在所述金属板的长度方向上反复的波浪，连接所述波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪的高度相对于所述波浪的长度的百分率为单位陡峭度，所述金属板的宽度方向的各位置上，所述长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，获得所述金属板时，按照下述方式对所述母料进行轧制：所述金属板的宽度方向上的中央部的陡峭度的最大值为0.3％以下，所述金属板的宽度方向上的各端部的陡峭度的最大值为0.6％以下，所述金属板的宽度方向上的两端部中的至少一个端部的陡峭度的最大值比所述金属板的宽度方向的中央部的陡峭度的最大值小，一个所述端部的陡峭度的最大值和另一个所述端部的陡峭度的最大值比所述中央部的陡峭度的最大值小，所述两端部的陡峭度的最大值和所述中央部的陡峭度的最大值为0.2％以下。3.一种蒸镀掩模的制造方法，其为包含在具有带状的金属板上形成抗蚀剂层、以及通过以所述抗蚀剂层为掩模的蚀刻在所述金属板上形成多个孔、从而形成掩模部的蒸镀掩模的制造方法，其中，所述金属板的宽度方向的各位置上的沿着所述金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：新纳干大，寺田玲尔，西辻清明，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP