The manufacturing method of the evaporation mask device and the manufacturing device of the evaporation mask device are described. The manufacturing method of the evaporation mask device comprises the following steps: preparing the evaporation mask comprising a plurality of through holes from the first side to the second side; and welding the evaporation mask on the front side of the frame comprising the front side and the back side opposite to the front side.
【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模装置的制造方法和蒸镀掩模装置的制造装置
本公开的一个实施方式涉及具有形成有多个贯通孔的蒸镀掩模和支承蒸镀掩模的框架的蒸镀掩模装置的制造方法和蒸镀掩模装置的制造装置。
技术介绍
近年来，针对智能手机和平板PC等可携带器件中使用的显示装置，要求高精细，例如要求像素密度为500ppi以上。并且，在可携带器件中，针对与超全高清对应的需要提高，该情况下，要求显示装置的像素密度例如为800ppi以上。在显示装置中，由于响应性优良、消耗电力低、对比度高，有机EL显示装置受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，公知有使用形成有以期望图案排列的贯通孔的蒸镀掩模、以期望图案形成像素的方法。具体而言，首先，使蒸镀掩模与有机EL显示装置用的基板紧密贴合，接着，将紧密贴合的蒸镀掩模和基板一起投入蒸镀装置中，进行使有机材料蒸镀在基板上的蒸镀步骤。该情况下，为了精密地制作具有高像素密度的有机EL显示装置，要求按照设计精密地再现蒸镀掩模的贯通孔的位置和形状。进行使有机材料等蒸镀材料蒸镀在基板上的蒸镀步骤的蒸镀装置具有蒸镀掩模装置，该蒸镀掩模装置包含蒸镀掩模和支承蒸镀掩模的框架。框...
【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模装置的制造方法，具有：准备步骤，准备包含从第1面到第2面的多个贯通孔的蒸镀掩模；以及焊接步骤，在框架的正面上焊接所述蒸镀掩模，该框架包含所述正面和与所述正面对置的背面，所述蒸镀掩模具有构成一对端部的一对耳部，所述一对耳部分别包含焊接在所述框架的所述正面上的焊接部、以及位于所述焊接部与所述蒸镀掩模的所述端部之间的延伸部，所述焊接步骤具有以下步骤：对所述蒸镀掩模施加张力，使得所述焊接部的所述第2面与所述框架的所述正面接触，并且，所述延伸部的所述第2面的至少局部相比于所述框架的所述正面更靠所述框架的所述背面侧；以及在对所述蒸镀掩模施加了所述张力的状态下，使所述蒸镀...
【技术特征摘要】
2017.09.05 JP 2017-1704691.一种蒸镀掩模装置的制造方法，具有：准备步骤，准备包含从第1面到第2面的多个贯通孔的蒸镀掩模；以及焊接步骤，在框架的正面上焊接所述蒸镀掩模，该框架包含所述正面和与所述正面对置的背面，所述蒸镀掩模具有构成一对端部的一对耳部，所述一对耳部分别包含焊接在所述框架的所述正面上的焊接部、以及位于所述焊接部与所述蒸镀掩模的所述端部之间的延伸部，所述焊接步骤具有以下步骤：对所述蒸镀掩模施加张力，使得所述焊接部的所述第2面与所述框架的所述正面接触，并且，所述延伸部的所述第2面的至少局部相比于所述框架的所述正面更靠所述框架的所述背面侧；以及在对所述蒸镀掩模施加了所述张力的状态下，使所述蒸镀掩模的所述焊接部与所述框架接合。2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，在使所述焊接部与所述框架接合的步骤中，从所述第1面侧照射激光。3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述框架在所述第1面的法线方向上移动。4.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，通过夹具支承所述蒸镀掩模。5.根据权利要求4所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，所述夹具是夹钳。6.根据权利要求5所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，通过所述夹钳夹持所述蒸镀掩模的所述延伸部。7.根据权利要求6所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，所述夹钳具有夹持所述一对耳部中的一个耳部的所述延伸部的第1夹钳、以及夹持所述一对耳部中的另一个耳部的所述延伸部的第2夹钳。8.根据权利要求7所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方在所述第1面的法线方向上移动。9.根据权利要求7所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方沿着所述第1面的面方向移动。10.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，所述框架包含外侧面，该外侧面在所述正面与所述背面之间延伸，在所述正面与所述外侧面之间设置有连结所述正面和所述外侧面的连结面。11.根据权利要求10所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，在沿着所述第1面的法线方向的截面中进行观察时，所述连结面的轮廓具有至少局部向所述蒸镀掩模凸出的圆弧形状，所述圆弧形状的曲率半径为0.1mm以上。12.一种蒸镀掩模装置的制造装置，其用于制造蒸镀掩模装置，该蒸镀掩模装置具有蒸镀掩模以及框架，该蒸镀掩模包含从第1面到第2面的多个贯通孔，该框架包含面向所述蒸镀掩模的所述第2面的正面和与所述正面对置的背面，其中，所述制造装置具有：夹具，其支承所述蒸镀掩模；以及工作台，其与所述框架接触，所述蒸镀掩模具有构成一对端部的一对耳部，所述一对耳部分别包含焊接在所述框架的所述正面上的焊接部、以及位于所述焊接部与所述蒸镀掩模的所述端部之间的延伸部，所述夹具支承所述蒸镀掩模的所述延伸部，在所述夹具支承所述蒸镀掩模的状态下，所述焊接部的所述第2面与所述框架的所述正面接触，并且，所述延伸部的所述第2面的至少局部相比于所述框架的所述正面更靠所述框架的所述背面侧。13.根据权利要求12所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，所述工作台能够在所述第1面的法线方向上移动。14.根据权利要求12或13所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，所述夹具是夹持所述蒸镀掩模的所述延伸部的夹钳。15.根据权利要求14所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，所述夹钳具有夹持所述蒸镀掩模的所述一对耳部中的一个耳部的所述延伸部的第1夹钳、以及夹持所述一对耳部中的另一个耳部的所述延伸部的第2夹钳。16.根据权利要求15所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方能够在所述第1面的法线方向上移动。17.根据权利要求15所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方能够沿着所述第1面的面方向移动。18.根据权利要求12或13所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，所述框架包含外侧面，该外侧面在所述正面与所述背面之间延伸，在所述正面与所述外侧面之间设置有连结所述正面和所述外侧面的连结面。19.根据权利要求18所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中...
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