The invention relates to a detection panel and a manufacturing method thereof. The detection panel includes: a photosensitive element configured to induce the first light incident to generate a photosensitive signal; a driving circuit configured to couple the photosensitive element to obtain the photosensitive signal from the photosensitive element; and a reflection grating arranged on the first light incident side of the driving circuit and configured to reflect the first light. The detection panel has a reflective grating to shield the driving circuit, which has a good shading effect.
【技术实现步骤摘要】
探测面板及其制作方法
本公开的实施例涉及一种探测面板及制作方法。
技术介绍
近年来，X射线检测广泛应用于医疗、安全、无损检测以及科研等各个领域。目前，比较常见的X射线检测技术是20世纪90年代末出现的X射线数字照相(DigitalRadiography，DR)检测技术。X射线数字照相检测技术中使用了平板探测器(FlatPanelDetector，FPD)，其像元尺寸可小于0.1mm，因而其成像质量及分辨率几乎可与胶片照相系统媲美，同时还克服了胶片照相系统中的缺点，也为图像的计算机处理提供了方便。
技术实现思路
本公开至少一个实施例提供一种探测面板，包括：感光元件，配置为感应入射的第一光线以产生感光信号；驱动电路，配置为与所述感光元件耦接以从所述感光元件获取所述感光信号；反射光栅，设置于所述驱动电路的所述第一光线入射的一侧，且配置为对所述第一光线进行反射。在至少一个示例中，所述反射光栅的材料为金属材料。在至少一个示例中，所述反射光栅包括亚波长反射光栅。在至少一个示例中，所述亚波长反射光栅包括基底和光栅脊，所述基底的折射率低于所述光栅脊的折射率。在至少一个示例中，所述基底...
【技术保护点】
1.一种探测面板，包括：感光元件，配置为感应入射的第一光线以产生感光信号；驱动电路，配置为与所述感光元件耦接以从所述感光元件获取所述感光信号；反射光栅，设置于所述驱动电路的所述第一光线入射的一侧，且配置为对所述第一光线进行反射。
【技术特征摘要】
1.一种探测面板，包括：感光元件，配置为感应入射的第一光线以产生感光信号；驱动电路，配置为与所述感光元件耦接以从所述感光元件获取所述感光信号；反射光栅，设置于所述驱动电路的所述第一光线入射的一侧，且配置为对所述第一光线进行反射。2.如权利要求1所述的探测面板，其中，所述反射光栅的材料为金属材料。3.如权利要求1所述的探测面板，其中，所述反射光栅包括亚波长反射光栅。4.如权利要求3所述的探测面板，其中，所述亚波长反射光栅包括基底和光栅脊，所述基底的折射率低于所述光栅脊的折射率。5.如权利要求4所述探测面板，其中，所述基底的材料为磷化铟(InP)，所述光栅脊的材料为磷化铟镓砷(InGaAsP)。6.如权利要求1-5任一所述的探测面板，还包括透射光栅，其中，所述透射光栅设置于所述感光元件的所述第一光线入射侧，且配置为透射所述第一光线。7.如权利要求6所述探测面板，其中，所述透射光栅包括亚波长抗反射光栅。8.如权利要求6所述探测面板，其中，所述反射光栅和所述透射光栅同层设置。9.如权利要求6所述的探测面板，还包括偏压线，其中，所述偏压线与所述感光元件电...
【专利技术属性】
技术研发人员：程浩，池彦菲，邱鑫茂，庄子华，王进，石常洪，周敏，吕耀朝，刘耀，陈曦，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，福州京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
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