基板处理系统技术方案

本实用新型专利技术涉及基板处理系统，其包括：研磨单元，其以使位于研磨头下侧的基板与研磨垫接触的状态进行研磨工序；监视单元，其监视所述研磨单元；判别处理单元，其根据接收自所述监视单元的监视信号，检测错误。由此，本实用新型专利技术监视用于基板研磨工序的多个运转机构的状态和运转，以实时检测错误，从而能够提高基板处理工序的稳定性及可靠性。

Substrate Processing System

The utility model relates to a substrate processing system, which comprises: a grinding unit, which enables the grinding process to be carried out in the contact state between the substrate and the grinding pad at the lower side of the grinding head; a monitoring unit, which monitors the grinding unit; and a discrimination processing unit, which detects errors according to the monitoring signals received from the monitoring unit. Thus, the utility model monitors the state and operation of multiple operating mechanisms used in the substrate grinding process to detect errors in real time, thereby improving the stability and reliability of the substrate processing process.

【技术实现步骤摘要】
基板处理系统
本技术涉及基板处理系统，更具体而言，涉及一种监视执行包括基板研磨在内的基板处理工序的多个处理单元，检测各处理单元中的运转及状态错误的基板处理系统。
技术介绍
半导体元件由细微的电路线高密度集成制造，因而在晶片表面进行与之相应的精密研磨。为了更精密地进行晶片的研磨，进行机械式研磨与化学式研磨并行的化学机械式研磨工序(CMP工序)。最近，为了更精巧的研磨工序，一个基板在多个研磨盘中依次进行，为了更高效进行多段研磨工序，提出了一个研磨头以安装了基板的状态，在多个研磨盘间移动并进行的结构。但是，为了基板的平坦研磨工序更精巧，需要更多的处理单元，当处理单元中的某一个发生错误时，发生基板研磨品质下降的问题。可是，以往在进行包括基板研磨工序的处理工序中，由于错误发现得晚，导致昂贵的基板研磨工序品质下降。因此，迫切需要在基板的处理工序中，实时监视多个处理单元的部件错误或寿命到期等，以提高基板处理工序的可靠性。
技术实现思路
所要解决的技术问题本技术目的在于，提供一种基板处理系统，监视用于基板研磨工序的多个运转机构的状态和运转，以实时检测错误。由此，本技术目的在于，能够提高基板处理工序的稳定性及本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板处理系统，其特征在于，包括：研磨单元，其以使位于研磨头下侧的基板与研磨垫接触的状态进行研磨工序；监视单元，其监视所述研磨单元；判别处理单元，其根据接收自所述监视单元的监视信号，检测错误。

【技术特征摘要】
2018.01.30 KR 10-2018-00116531.一种基板处理系统，其特征在于，包括：研磨单元，其以使位于研磨头下侧的基板与研磨垫接触的状态进行研磨工序；监视单元，其监视所述研磨单元；判别处理单元，其根据接收自所述监视单元的监视信号，检测错误。2.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，还包括存储器，其存储所述研磨单元正常运转状态下的基准数据，所述判别处理单元将所述监视信号与所述基准数据作对比，从而检测所述研磨单元的错误。3.根据权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于，所述判别处理单元实时接收所述监视信号，从而实时检测所述研磨单元的错误。4.根据权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，在所述研磨工序中，所述判别处理单元实时传输用于消除被检测的错误的处理信号。5.根据权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于，在所述存储器中，存储接收自所述监视单元的所述监视信号，所述判别处理单元根据所述存储器中存储的所述监视信号，检测所述研磨单元的错误。6.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，还包括显示装置，其显示由所述判别处理单元检测为错误的运转机构的错误数据。7.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，对于根据接收自所述监视单元的多个所述监视信号检测到的错误中的一部分，所述判别处理单元进行相互关联，并进行整合处理。8.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，对于根据接收自所述监视单元的多个所述监视信号检测到的错误中的一部分，所述判别处理单元相互独立地进行处理。9.根据权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔东圭，林钟逸，赵珳技，
申请(专利权)人：凯斯科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国,KR