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本实用新型涉及基板处理系统，其包括：研磨单元，其以使位于研磨头下侧的基板与研磨垫接触的状态进行研磨工序；监视单元，其监视所述研磨单元；判别处理单元，其根据接收自所述监视单元的监视信号，检测错误。由此，本实用新型监视用于基板研磨工序的多个运转...
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