一种旋转吊装平面靶制造技术

一种旋转吊装平面靶，解决现有技术存在的靶基距大，溅射速率低，镀膜成本高，冷却效果差的问题。包括平面靶体和溅射靶材，其特征在于：平面靶体的外侧设置有一侧布置开口的固定屏蔽，平面靶体的上端与旋转轴相连，旋转轴通过转动轴承座与真空室顶壁相连，旋转轴与回转驱动机构相连；旋转轴中部设置的中心通孔内布置有中心进水管，中心进水管的上端设置进水口；中心进水管外壁与旋转轴中心通孔内壁之间设置出水通道；平面靶体磁极板的循环冷却通道的进口，与中心进水管相连，循环冷却通道的出口与出水通道相连。其设计合理，结构紧凑，能够使靶基距最小化，有效提高溅射速率，节省靶材，降低成本；靶体冷却效果好，靶材溅射功率高。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转吊装平面靶
本技术属于真空镀膜
，具体涉及一种能够使靶基距最小化，有效提高溅射速率，节省靶材，降低成本；且靶体冷却效果好，靶材溅射功率高的旋转吊装平面靶。
技术介绍
现有装饰品的颜色以黄金色、玫瑰金色为主；以往的装饰品表面是利用真空镀膜方法镀一层仿金颜色的氮化钛，而为了进一步提高装饰品的精饰效果，需要在氮化钛表面镀一层真黄金或玫瑰金，以使色彩更加艳丽，并同时提升饰品的耐摩擦、耐腐蚀性能，延长膜层的使用寿命，使首饰表面能够长时间保持靓丽光泽、且无需清洗。装饰品的掺金镀膜一般采用磁控溅射的方式，并且，需要使用纯金靶材，为了易于靶材的制备，纯金靶材通常制作成平面靶的结构形式。但是，由于整个镀膜过程中镀纯金膜层是最后一道工序，所以，在镀其他材料的膜层时，金靶表面要进行遮挡，以防止靶面污染，否则将影响成膜的质量。现有的遮挡方式是采用旋转屏蔽来遮挡靶面，然而，具有回转结构的旋转屏蔽，其回转直径要远大于平面靶的直径，故导致靶基距（靶材与工件表面的距离）增大。较大的靶基距会降低溅射的速率，从而提升镀膜成本。另外，现有靶体的冷却系统冷却效果差，严重削弱靶材的溅射功率。故有必要对现有的吊装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋转吊装平面靶，包括平面靶体（14），平面靶体（14）内部设置有磁极板（18），磁极板（18）上设置有永磁体（19），永磁体（19）前侧的平面靶体（14）上设置有溅射靶材（15），其特征在于：所述平面靶体（14）的外侧设置有筒状的固定屏蔽（17），固定屏蔽（17）的一侧设置有开口；所述平面靶体（14）的上端与旋转轴（13）相连，旋转轴（13）通过转动轴承座（12）与真空室顶壁（1）的外侧相连，且旋转轴（13）与回转驱动机构相连；所述旋转轴（13）的中部设置有沿轴线布置的中心通孔，中心通孔内设置有中心进水管（10），中心进水管（10）的上端设置有进水口（6）；中心进水管（10）的外壁与旋...

【技术特征摘要】
1.一种旋转吊装平面靶，包括平面靶体（14），平面靶体（14）内部设置有磁极板（18），磁极板（18）上设置有永磁体（19），永磁体（19）前侧的平面靶体（14）上设置有溅射靶材（15），其特征在于：所述平面靶体（14）的外侧设置有筒状的固定屏蔽（17），固定屏蔽（17）的一侧设置有开口；所述平面靶体（14）的上端与旋转轴（13）相连，旋转轴（13）通过转动轴承座（12）与真空室顶壁（1）的外侧相连，且旋转轴（13）与回转驱动机构相连；所述旋转轴（13）的中部设置有沿轴线布置的中心通孔，中心通孔内设置有中心进水管（10），中心进水管（10）的上端设置有进水口（6）；中心进水管（10）的外壁与旋转轴（13）中心通孔的内壁之间设置有出水通道（11），出水通道（11）的上端设置有出水口（7）；所述平面靶体（14）的磁极板（18）内部设置有竖直布置的循环冷却通道（16），循环冷却通道（16）的进口与旋转轴（13）中部的中心进水管（10）相连，循环冷却通道（16）的出口则与旋转轴（13）内的出水通道（11）...

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩，郭喜明，王英智，王开亮，
申请(专利权)人：沈阳乐贝真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21