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一种旋转吊装平面靶，解决现有技术存在的靶基距大，溅射速率低，镀膜成本高，冷却效果差的问题。包括平面靶体和溅射靶材，其特征在于：平面靶体的外侧设置有一侧布置开口的固定屏蔽，平面靶体的上端与旋转轴相连，旋转轴通过转动轴承座与真空室顶壁相连，旋转...
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