【技术实现步骤摘要】
一种自动整理硅片的装置
本专利技术涉及自动化
,尤其涉及一种自动整理硅片的装置。
技术介绍
科学技术的发展不断推动着半导体的发展,在半导体工业生产过程中,许多步骤中需要用到硅片,使用过后的硅片要经过整理后送去清洗,而由于硅片很脆弱,人员在整理硅片过程中,用手拿取或用镊子夹取硅片都极易造成硅片的破损,因此,解决这一问题就显的十分必要了。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种自动整理硅片的装置,解决了人员在整理硅片过程中极易造成硅片破损的问题,本专利技术为解决技术问题而采用如下技术方案:包括基座,基座左上方设有入料斗,入料斗底部连接有震动电机,基座顶部左端设有旋转台,旋转台上连接有转盘,转盘的左端位于入料斗的正下方,基座顶部中间设有气泵与支撑杆,气泵位于支撑杆左方,支撑杆顶部连接有联轴器,联轴器的另一端连接有伸缩杆,伸缩杆下方设有吸嘴,吸嘴顶部连接有气管,吸嘴通过气管与气泵相连通,支撑杆与伸缩杆上均套有扎带,扎带的长度超过支撑杆高度与伸缩杆长度之和,气管通过扎带绑缚在支撑杆与伸缩杆上,基座顶部右端设有放置区,放置区上放置卡塞。进一步改进在于:所述基座上设有槽体,槽体位于旋转台与放置区之间,气泵与支撑杆的底部均穿过槽体底部,转盘底部与槽体底部均铺设有泡沫垫,当吸嘴吸附的是破碎硅片或吸嘴吸附力不够导致硅片掉落时,硅片掉入槽体内,避免加剧硅片的损坏。进一步改进在于:转盘的圆弧边上设有阻挡环,防止转盘转动时将硅片甩出去。进一步改进在于:所述入料斗的左上方为倾斜设置,震动电机与入料斗的左上方底部相连,将散装的硅片倒入入料斗后,通过震动电机带动入料斗震 ...
【技术保护点】
1.一种自动整理硅片的装置,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)左上方设有入料斗(2),所述入料斗(2)底部连接有震动电机(3),所述基座(1)顶部左端设有旋转台(4),所述旋转台(4)上连接有转盘(5),所述转盘(5)的左端位于入料斗(2)的正下方,所述基座(1)顶部中间设有气泵(6)与支撑杆(7),所述气泵(6)位于支撑杆(7)左方,所述支撑杆(7)顶部连接有联轴器(8),所述联轴器(8)的另一端连接有伸缩杆(9),所述伸缩杆(9)下方设有吸嘴(10),所述吸嘴(10)顶部连接有气管(11),所述吸嘴(10)通过气管(11)与气泵(6)相连通,所述支撑杆(7)与伸缩杆(9)上均套有扎带(12),所述气管(11)通过扎带(12)绑缚在支撑杆(7)与伸缩杆(9)上,所述基座(1)顶部右端设有放置区(13)。
【技术特征摘要】
1.一种自动整理硅片的装置,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)左上方设有入料斗(2),所述入料斗(2)底部连接有震动电机(3),所述基座(1)顶部左端设有旋转台(4),所述旋转台(4)上连接有转盘(5),所述转盘(5)的左端位于入料斗(2)的正下方,所述基座(1)顶部中间设有气泵(6)与支撑杆(7),所述气泵(6)位于支撑杆(7)左方,所述支撑杆(7)顶部连接有联轴器(8),所述联轴器(8)的另一端连接有伸缩杆(9),所述伸缩杆(9)下方设有吸嘴(10),所述吸嘴(10)顶部连接有气管(11),所述吸嘴(10)通过气管(11)与气泵(6)相连通,所述支撑杆(7)与伸缩杆(9)上均套有扎带(12),所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡世珍,
申请(专利权)人:芜湖源码自动化设备有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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