定位装置制造方法及图纸

本申请提供一种定位装置，包括机架和边角定位组件；边角定位组件包括安装在机架上的直立件，以及设置在直立件旁侧的第一定位部和第二定位部；直立件、第一定位部和第二定位部形成的三个顶角中，以直立件为顶点的顶角角度等于待定位载板的顶角角度。采用定位装置定位载板时，当第一定位部贴靠载板的第一侧壁而推动载板转动一定程度后，第二定位部贴靠载板靠近第一侧壁的第二侧壁；此时第一定位部和第二定位部配合夹紧载板，实现了载板在机架上的精确定位。

Positioning device

The application provides a positioning device, including a rack and a corner positioning component; the corner positioning component includes a vertical member mounted on the rack, and a first positioning part and a second positioning part arranged on the side of the vertical member; among the three top angles formed by the vertical member, the first positioning part and the second positioning part, a top with the vertical member as the vertex is provided. The angle is equal to the top angle of the plate to be positioned. When the positioning device is used to locate the carrier plate, when the first positioning part is close to the first side wall of the carrier plate and pushes the plate to rotate to a certain extent, the second positioning part is close to the second side wall of the first side wall; at this time, the first positioning part and the second positioning part cooperate with clamping the carrier plate to realize the accurate positioning of the carrier plate on the frame.

【技术实现步骤摘要】
定位装置
本申请涉及半导体加工设备
，具体涉及一种实现承载晶片的载具精确定位的定位装置。
技术介绍
诸如光伏芯片等半导体芯片已经采用PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVapourDeposition,等离子增强化学气相沉积)工艺进行加工。在前述工艺中，为保证产品的良品率，待加工的晶片需要在PECVD设备的加工炉中精确定位；为提高生产效率，加工光伏芯片等半导体芯片时，多个待加工的晶片以平面阵列放置在载板后,再被装载至加工炉进行批处理。为提高生产线的生产效率，PECVD设备均具有晶片上载设备；晶片上载设备包括晶片加载机和定位装置；具体的，晶片加载机精确定位的形式将待加工的晶片放置在载板上后，载板再被传输至定位装置进行精确定位，以使后续抓取设备将载板整体地转运至PECVD的加工炉中，并使各个待加工晶片在加工炉中的位置精度达到预定的公差要求。现有技术中，载板以承托轮输送的方式被传输至定位装置，再被定位装置中的定位机构进行调整定位；目前的定位机构为设置在定位装置周侧的气缸组，包括：位于载板左右侧(相对于载板传输方向)的气缸组和位于载板前后侧的气缸组。在载板传输至定位装置上并静置后，通过位于载板左右侧的气缸组和位于载板前后侧的气缸组推动载板，以进行局部平移或者偏转；因为采用四个方向的气缸组推动载板实现定位，四个气缸组的推动动作可能存在时间间隔，在后动作的气缸组会对在前动作气缸组的定位产生影响。
技术实现思路
本申请提供一种定位装置，以解决
技术介绍
中提及的至少部分技术问题。本申请提供一种定位装置，包括机架和边角定位组件；所述边角定位组件包括安装在所述机架上的直立件，以及设置在所述直立件旁侧的第一定位部和第二定位部；所述直立件、所述第一定位部和所述第二定位部形成的三个顶角中，以所述直立件为顶点的顶角角度等于待定位载板的顶角角度。可选的，所述边角定位组件还包括与所述直立件连接的支架；所述第一定位部和所述第二定位部设置在所述支架上。可选的，所述支架包括拐角部、第一支臂和第二支臂；所述第一支臂和所述第二支臂分别与所述拐角部固定连接；所述第一定位部安装在所述第一支臂上；所述第二定位部安装在所述第二支臂上。可选的，所述第一定位部为相对所述第一支臂转动设置的第一辊轮；所述第一辊轮的转动轴竖直地设置；所述第二定位部为相对所述第二支臂转动设置的第二辊轮；所述第二辊轮的转动轴竖直地设置。可选的，所述边角定位组件的数量至少为两个；所述直立件为立轴；所述支架绕所述立轴相对所述机架转动。可选的，所述边角定位组件还包括限制所述支架相对所述机架转动的弹性缓冲件。可选的，所述边角定位组件还包括限定所述支架转动极限位置的限位销。可选的，所述定位装置还包括调整所述边角定位组件位置的位置调整机构；所述位置调整机构安装在所述机架上；各个所述边角定位组件的所述立轴均安装在所述位置调整机构上，以通过所述位置调整机构安装在所述机架上。可选的，所述位置调整机构包括导轨、滑块和驱动机构；所述导轨固定安装在所述机架上；所述滑块与所述导轨卡接配合；所述驱动机构驱动所述滑块沿所述导轨移动；所述立轴安装在所述滑块上。可选的，所述驱动机构包括转动板、伸缩驱动件和导向推杆；所述转动板通过中心定位轴安装在所述机架上，相对所述机架转动；所述伸缩驱动件的一端与所述机架铰接，另一端与所述转动板铰接；所述导向推杆的一端与所述滑块铰接，另一端与所述转动板铰接；所述伸缩驱动件和所述导向推杆与所述转动板的铰接位置均相对于所述中心定位轴偏心地设置。可选的，所述位置调整机构包括两个所述滑块和两个所述导向推杆；两个所述导向推杆分别与两个所述滑块铰接；两个所述滑块均呈长条状；所述边角定位组件的数量为两个；两个所述边角定位组件的所述立轴分别安装在两个所述滑块的对角端。可选的，所述边角定位组件的数量为两个；所述位置调整机构包括一个所述滑块；并且所述滑块呈长条状；两个所述边角定位组件的所述立轴分别固定在所述滑块的两端。可选的，所述边角定位组件的数量为两个；所述定位装置还包括载板输送机构；所述载板输送机构安装在所述机架上；两个所述边角定位组件中的所述立轴均安装在所述机架上，并且均位于远离所述载板输送机构入口的一侧采用本申请提供的定位装置定位载板时，因为直立件、第一定位部和第二定位部形成的三个顶角中，以直立件为顶点的顶角角度等于待定位载板的顶角角度，当边角定位组件中的第一定位部贴靠载板的第一侧壁而推动载板转动一定程度后，第二定位部贴靠载板靠近第一侧壁的第二侧壁；此时第一定位部和第二定位部配合夹紧载板，实现了载板在机架上的精确定位。附图说明图1是实施例提供的定位装置的俯视图；图2是图1中A区域的放大示意图；图3是实施例提供的定位装置的轴侧示意图；图4是图3中的B区域的放大示意图；图5是实施例提供的定位装置中部分结构的俯视图；图6是实施例提供的定位装置中部分结构的仰视图；其中:01-载板，02-晶片，11-机架，12-边角定位组件，121-基座，120-支架，122-第一支臂，123-第二支臂，124-拐角部，125-第一辊轮，126-第二辊轮，127-弹簧，128-限位销，129-立轴，13-位置调整机构，131-固定件，132-导轨，133-滑块，134-转动板，135-气缸，136-导向推杆，14-承托轴，141-承托轮。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关专利技术相关的部分。图1是实施例提供的定位装置的俯视图，图2是图1中A区域的放大示意图，图3是实施例提供的定位装置的轴侧示意图，图4是图3中的B区域的放大示意图。为了便于后文理解本申请中定位装置的功能，以下先对本申请实施例中定位装置的功能做简要的介绍，再就本申请中具体改进之处做详细的说明。本申请实施例提供的定位装置用于将承载晶片02的载板01进行定位，以使后续抓取装置以预定的路径将载板01放置在PECVD的加工炉中。如图1和图3所示，本申请实施例提供的定位装置包括机架11和载板输送机构。其中，载板输送机构包括多根平行设置的承托轴14、驱动承托轴14转动的传动机构和设置在在各个承托轴14上的承托轮141；当晶片02以图示的阵列方式放置在载板01上后，载板01由各个承托轴14上的承托轮141托住，并被各个承托轮141驱动而转移到定位装置上侧。请继续参见图1和图3，本申请实施例提供的定位装置还包括四个边角定位组件12；四个边角定位组件12分别顶住载板01的四个顶角、移动载板01而实现载板01的精确的定位。请参见图2和图4，本申请实施例中的边角定位组件12包括基座121、支架120、第一辊轮125和第二辊轮126。基座121安装在机架11上，至少在边角定位组件12顶住载板01时相对机架11的位置固定。在基座121面向支架120的表面设置有轴孔，并且轴孔竖直地设置。支架120包括第一支臂122、第二支臂123和拐角部124；拐角部124设置在第一支臂122和第二支臂123的尾端部，与第一支臂112和第二支臂123均固定连接。在拐角部124处设置立轴129，立轴129与基座121本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种定位装置，其特征在于：包括机架和边角定位组件；所述边角定位组件包括安装在所述机架上的直立件，以及设置在所述直立件旁侧的第一定位部和第二定位部；所述直立件、所述第一定位部和所述第二定位部形成的三个顶角中，以所述直立件为顶点的顶角角度等于待定位载板的顶角角度。

【技术特征摘要】
1.一种定位装置，其特征在于：包括机架和边角定位组件；所述边角定位组件包括安装在所述机架上的直立件，以及设置在所述直立件旁侧的第一定位部和第二定位部；所述直立件、所述第一定位部和所述第二定位部形成的三个顶角中，以所述直立件为顶点的顶角角度等于待定位载板的顶角角度。2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于：所述边角定位组件还包括与所述直立件连接的支架；所述第一定位部和所述第二定位部设置在所述支架上。3.根据权利要求2所述的定位装置，其特征在于：所述支架包括拐角部、第一支臂和第二支臂；所述第一支臂和所述第二支臂分别与所述拐角部固定连接；所述第一定位部安装在所述第一支臂上；所述第二定位部安装在所述第二支臂上。4.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于：所述第一定位部为相对所述第一支臂转动设置的第一辊轮；所述第一辊轮的转动轴竖直地设置；所述第二定位部为相对所述第二支臂转动设置的第二辊轮；所述第二辊轮的转动轴竖直地设置。5.根据权利要求2-4任一项所述的定位装置，其特征在于：所述边角定位组件的数量至少为两个；所述直立件为立轴；所述支架绕所述立轴相对所述机架转动。6.根据权利要求5所述的定位装置，其特征在于：所述边角定位组件还包括限制所述支架相对所述机架转动的弹性缓冲件。7.根据权利要求5所述的定位装置，其特征在于：所述边角定位组件还包括限定所述支架转动极限位置的限位销。8.根据权利要求5所述的定位装置，其特征在于：所述定位装置还包括调整所述边角定位组件位置的位置调整机构；所述位置调整机构安装在所述机架上；各个所述边角定位...

【专利技术属性】
技术研发人员：许明现，岳晨辉，陈章端，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11