【技术实现步骤摘要】
一种微流控芯片贴片结构及贴片工艺
本专利技术涉及一种微流控芯片,更具体地说,涉及一种微流控芯片贴片结构及贴片工艺。
技术介绍
微流控芯片技术(Microfluidics)是把生物、化学、医学分析过程的样品制备、反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块微米尺度的芯片上,自动完成分析全过程。由于它在生物、化学、医学等领域的巨大潜力,已经发展成为一个生物、化学、医学、流体、电子、材料、机械等学科交叉的崭新研究领域。微流控芯片的特点就是在微观尺寸下对微流体进行操作和控制,而作为操作和控制的对象的流体量又及其微小,导致微流体的流动特性与宏观有很大的不同。具体从结构上来说,微流控芯片内部具有微细的通道,通常采用两片薄片键合制得。键合将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理,在一定条件下直接结合,通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术。而两片薄片键合过程中,对于薄片的材质有较高要求,且对薄片表面的洁净程度要求很高,材质和洁净度直接影响键合强度和微流控芯片的密封性。为了保证薄片表面的洁净度,通常通过乙醇、丙酮、去离子水超声工艺以及等离子 ...
【技术保护点】
1.一种微流控芯片贴片结构,包括基片(1)和盖片(2),所述的基片(1)内表面设有通道槽(1‑1),在基片(1)和盖片(2)复合后,所述的通道槽(1‑1)与盖片(2)的内表面围合形成微流控芯片的流体通道,其特征在于:所述的基片(1)上位于通道槽(1‑1)外侧具有高度低于基片(1)内表面的打胶平面(1‑2),在基片(1)内侧形成突出于通道槽(1‑1)和打胶平面(1‑2)的通道轮廓(1‑3);在基片(1)和盖片(2)复合后,所述的打胶平面(1‑2)与盖片(2)的内表面围合形成四周开放的注胶间隙,所述的注胶间隙内注有固化胶水(3)将基片(1)和盖片(2)贴片复合于一体。
【技术特征摘要】
1.一种微流控芯片贴片结构,包括基片(1)和盖片(2),所述的基片(1)内表面设有通道槽(1-1),在基片(1)和盖片(2)复合后,所述的通道槽(1-1)与盖片(2)的内表面围合形成微流控芯片的流体通道,其特征在于:所述的基片(1)上位于通道槽(1-1)外侧具有高度低于基片(1)内表面的打胶平面(1-2),在基片(1)内侧形成突出于通道槽(1-1)和打胶平面(1-2)的通道轮廓(1-3);在基片(1)和盖片(2)复合后,所述的打胶平面(1-2)与盖片(2)的内表面围合形成四周开放的注胶间隙,所述的注胶间隙内注有固化胶水(3)将基片(1)和盖片(2)贴片复合于一体。2.根据权利要求1所述的一种微流控芯片贴片结构,其特征在于:所述的流体通道的深度大于注胶间隙的深度。3.根据权利要求2所述的一种微流控芯片贴片结构,其特征在于:所述的基片(1)上还设有连通通道槽(1-1)的进液口(4)和出液口(5)。4.根据权利要求1或2或3所述的一种微流控芯片贴片结构,其特征在于:所述的基片(1)为石英片或玻璃片,所述的基片(1)上的通道槽(1-1)和打胶平面(1-2)采用蚀刻工艺成型。5.一种微流控芯片贴片工艺,其特征在于,包括以下步骤:(a)准备微流控芯片的基片(1)和盖片(2):在基片(1)的内表面加工出通道槽(1-1),并在通道槽(1-1)外侧加工出高度低于基片(1)内表面的打胶平面(1-2),使基片(1)内侧形成突出于通道槽(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:乔奇伟,王晓东,沙俊,刘承先,李树白,薛叙明,李艳秋,孙福,周海浪,
申请(专利权)人:常州工程职业技术学院,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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