The utility model discloses a new type of clamping structure for the middle furnace body used in single crystal furnace, which comprises a frame, a column structure installed on the frame, an oil cylinder installed at the upper end of the column structure, a connecting plate for the expansion rod of the cylinder, a rotating shaft arranged on the connecting plate, the axis direction of the rotating shaft being vertical, a fixed connecting clamping structure for the rotating shaft, a clamping structure comprising a connecting part and a clamping part, and a clamping part comprising a body. The body is provided with at least three claws, which are positively polygonal in shape. The claws include cylinders and guide pins mounted on the body, and the elongation direction of the piston rod points to the center of the positive polygonal shape formed by the claws. In the process of single crystal furnace operation, a new type of middle furnace body clamping structure for single crystal furnace is adopted, which effectively improves the simplification of operation, reduces labor intensity and cost, and thoroughly solves the unstable and easy falling phenomenon of middle furnace body produced by original technical operation. The new type of clamping structure of medium furnace body for single crystal furnace reduces the coefficient of accidental damage and improves the accuracy of control.
【技术实现步骤摘要】
新型单晶炉用中炉体卡抓结构
本技术涉及单晶炉,具体涉及新型单晶炉用中炉体卡抓结构。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。新型单晶炉用中炉体卡抓结构的作用如下:在单晶硅拉晶准备阶段,需要将中保温筒和中保温毡等取出,通过中炉体卡抓机构将中炉体提出来,方便清理热场杂质,减少作业劳动强度,防止因人工搬运造成石墨件损坏等问题。一般的单晶炉没有这个机构,都是采用蜗轮蜗杆升降机直接将中炉体升起来,容易造成丝杆卡死,不能取出保温筒及保温毡或石墨件易损坏等现象。
技术实现思路
针对上述技术问题,本技术提供了新型单晶炉用中炉体卡抓结构,其投入少,利用率高,便于推广。为解决上述技术问题,本技术采用的一个技术方案是:新型单晶炉用中炉体卡抓结构,包括机架,机架上安装有立柱结构,立柱结构上端安装油缸,油缸伸缩杆连接安装在立柱结构上并可沿立柱结构在竖直方向滑动的连接板,连接板上设有转轴,转轴轴线方向为竖直方向,转轴固定连接卡抓结构,卡抓结构包括与转轴固定连接的连接部以及与所述连接部相连接的卡爪部,卡爪部包括本体,在所述本体上至少设有三个爪部,所述的爪部呈正多边形状分布,爪部包括安装在本体的气缸以及与所述气缸的活塞杆相连接的导向销,活塞杆的伸长方向指向爪部形成的正多边形状中心处。作为上述方案的优选,爪部包括与本体固定连接的气缸座,气缸座外端面安装气缸,气缸伸缩杆连接滑动块, ...
【技术保护点】
1.新型单晶炉用中炉体卡抓结构,其特征在于,包括机架,机架上安装有立柱结构,立柱结构上端安装油缸,油缸伸缩杆连接安装在立柱结构上并可沿立柱结构在竖直方向滑动的连接板,连接板上设有转轴,转轴轴线方向为竖直方向,转轴固定连接卡抓结构,卡抓结构包括与转轴固定连接的连接部以及与所述连接部相连接的卡爪部,卡爪部包括本体,在所述本体上至少设有三个爪部,所述的爪部呈正多边形状分布,爪部包括安装在本体的气缸以及与所述气缸的活塞杆相连接的导向销,活塞杆的伸长方向指向爪部形成的正多边形状中心处。
【技术特征摘要】
1.新型单晶炉用中炉体卡抓结构,其特征在于,包括机架,机架上安装有立柱结构,立柱结构上端安装油缸,油缸伸缩杆连接安装在立柱结构上并可沿立柱结构在竖直方向滑动的连接板,连接板上设有转轴,转轴轴线方向为竖直方向,转轴固定连接卡抓结构,卡抓结构包括与转轴固定连接的连接部以及与所述连接部相连接的卡爪部,卡爪部包括本体,在所述本体上至少设有三个爪部,所述的爪部呈正多边形状分布,爪部包括安装在本体的气缸以及与所述气缸的活塞杆相连接的导向销,活塞杆的伸长方向指向爪部形成的正多边形状中心处。2.如权利要求1所述的新型单晶炉用中炉体卡抓结构,其特征在于,爪部包括与本体固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐凌翔,
申请(专利权)人:浙江晶阳机电有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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