新型单晶炉用中炉体卡抓结构制造技术

技术编号:20319387 阅读:37 留言:0更新日期:2019-02-13 01:54
本实用新型专利技术公开了新型单晶炉用中炉体卡抓结构,包括机架,机架上安装有立柱结构,立柱结构上端安装油缸,油缸伸缩杆连接连接板,连接板上设有转轴,转轴轴线方向为竖直方向,转轴固定连接卡抓结构,卡抓结构包括连接部以及卡爪部,卡爪部包括本体,在所述本体上至少设有三个爪部,所述的爪部呈正多边形状分布,爪部包括安装在本体的气缸以及导向销,活塞杆的伸长方向指向爪部形成的正多边形状中心处。在单晶炉作业过程中,采用新型单晶炉用中炉体卡抓结构,有效的提高了作业的简单化,降低劳动强度和成本,彻底解决了原技术作业产生的中炉体升降不稳定、易掉落的现象。新型单晶炉用中炉体卡抓结构,减少意外伤害的系数,提高控制的准确性。

New Type Grab Structure of Medium Furnace Body for Single Crystal Furnace

The utility model discloses a new type of clamping structure for the middle furnace body used in single crystal furnace, which comprises a frame, a column structure installed on the frame, an oil cylinder installed at the upper end of the column structure, a connecting plate for the expansion rod of the cylinder, a rotating shaft arranged on the connecting plate, the axis direction of the rotating shaft being vertical, a fixed connecting clamping structure for the rotating shaft, a clamping structure comprising a connecting part and a clamping part, and a clamping part comprising a body. The body is provided with at least three claws, which are positively polygonal in shape. The claws include cylinders and guide pins mounted on the body, and the elongation direction of the piston rod points to the center of the positive polygonal shape formed by the claws. In the process of single crystal furnace operation, a new type of middle furnace body clamping structure for single crystal furnace is adopted, which effectively improves the simplification of operation, reduces labor intensity and cost, and thoroughly solves the unstable and easy falling phenomenon of middle furnace body produced by original technical operation. The new type of clamping structure of medium furnace body for single crystal furnace reduces the coefficient of accidental damage and improves the accuracy of control.

【技术实现步骤摘要】
新型单晶炉用中炉体卡抓结构
本技术涉及单晶炉,具体涉及新型单晶炉用中炉体卡抓结构。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。新型单晶炉用中炉体卡抓结构的作用如下:在单晶硅拉晶准备阶段,需要将中保温筒和中保温毡等取出,通过中炉体卡抓机构将中炉体提出来,方便清理热场杂质,减少作业劳动强度,防止因人工搬运造成石墨件损坏等问题。一般的单晶炉没有这个机构,都是采用蜗轮蜗杆升降机直接将中炉体升起来,容易造成丝杆卡死,不能取出保温筒及保温毡或石墨件易损坏等现象。
技术实现思路
针对上述技术问题,本技术提供了新型单晶炉用中炉体卡抓结构,其投入少,利用率高,便于推广。为解决上述技术问题,本技术采用的一个技术方案是:新型单晶炉用中炉体卡抓结构,包括机架,机架上安装有立柱结构,立柱结构上端安装油缸,油缸伸缩杆连接安装在立柱结构上并可沿立柱结构在竖直方向滑动的连接板,连接板上设有转轴,转轴轴线方向为竖直方向,转轴固定连接卡抓结构,卡抓结构包括与转轴固定连接的连接部以及与所述连接部相连接的卡爪部,卡爪部包括本体,在所述本体上至少设有三个爪部,所述的爪部呈正多边形状分布,爪部包括安装在本体的气缸以及与所述气缸的活塞杆相连接的导向销,活塞杆的伸长方向指向爪部形成的正多边形状中心处。作为上述方案的优选,爪部包括与本体固定连接的气缸座,气缸座外端面安装气缸,气缸伸缩杆连接滑动块,滑动块上设有导向销,导向销的轴线方向为竖直方向。作为上述方案的优选,所述的爪部有三个,并以本体中心为圆心,呈正三角形状分布,活塞杆伸长方向指向圆心。作为上述方案的优选,立柱结构包括立柱以及设置在该立柱上的立向的导轨,连接板与所述的导轨滑动配合。作为上述方案的优选,连接板上端设有连接块,连接块与所述油缸伸缩杆固定连接,转轴位于连接块正下方,转轴下端连接驱动该转轴转动的旋转电机。本技术的有益效果是:在单晶炉作业过程中,采用新型单晶炉用中炉体卡抓结构,有效的提高了作业的简单化,降低劳动强度和成本,彻底解决了原技术作业产生的中炉体升降不稳定、易掉落的现象。新型单晶炉用中炉体卡抓结构,减少意外伤害的系数,提高控制的准确性。新型单晶炉用中炉体卡抓结构,利用油缸实现中炉体的升降,同时,因为其投入少,利用率高,便于推广。附图说明图1是本技术的结构示意图;图2是本技术未安装机架和中炉体的立体图;图3是本技术未安装机架和中炉体的结构示意图;图4是图3是左视图;图5是图3的后视图。具体实施方式下面结合实施例,对本技术的具体实施方式作进一步描述。如图1-5所示,新型单晶炉用中炉体卡抓结构,包括机架3,机架上安装有立柱结构,立柱结构上端安装油缸11,油缸11伸缩杆7连接安装在立柱结构上并可沿立柱结构在竖直方向滑动的连接板8,连接板上设有转轴9,转轴轴线方向为竖直方向,转轴固定连接卡抓结构。卡抓结构包括与转轴固定连接的连接部4以及与所述连接部相连接的卡爪部5,卡爪部包括本体,在所述本体上至少设有三个爪部,所述的爪部呈正多边形状分布,爪部包括安装在本体的气缸14以及与所述气缸的活塞杆相连接的导向销17,活塞杆的伸长方向指向爪部形成的正多边形状中心处。爪部包括与本体固定连接的气缸座15,气缸座外端面安装气缸14,气缸伸缩杆连接滑动块16,滑动块上设有导向销17,导向销的轴线方向为竖直方向。所述的爪部有三个,并以本体中心为圆心,呈正三角形状分布,活塞杆伸长方向指向圆心。立柱结构包括立柱2以及设置在该立柱上的立向的导轨6,连接板与所述的导轨滑动配合。连接板上端设有连接块10,连接块与所述油缸伸缩杆固定连接,转轴位于连接块正下方,转轴下端连接驱动该转轴转动的旋转电机18。在本实施例中,卡抓结构为固定卡抓,立柱为方立柱。中炉体1开口处的边缘设置三个孔,孔的轴线方向与导向销轴线方向一致,同为竖直或水平。更具体的说,方立柱2固定在机架3上;导轨6固定在方立柱2上;导轨6与连接板8滑动配合;支座20安装在连接板8上,连接块10安装在连接板5的上部,安装支架19安装在连接板8的下部;转轴9将支座20和固定卡抓套在一起,下端安装在旋转电机18的孔内;旋转电机18固定在安装支架19上;连接块10的上端与T型接头21连接;T型接头21旋在油缸11伸缩杆上;油缸11安装在安装板12上;安装板12固定在固定座13上;固定座13固定在方立柱2上。在作业过程中,固定卡抓上的三个爪部的气缸同时动作,气缸动作,使得滑动块向外运动,直至导向销轴线与孔的轴线重合,油缸向上运动,导向销插入孔中,使中炉体套在导向销上;油缸继续运动,连接板向上运动,带动固定卡抓和中炉体一起升起,到达一定位置后;旋转电机开始动作,在转轴的作用下,使得固定卡抓和中炉体一起旋转。中炉体上升的高度与旋转角度的大小可根据具体情况,由设计者自定。对于本领域的技术人员来说,依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.新型单晶炉用中炉体卡抓结构,其特征在于,包括机架,机架上安装有立柱结构,立柱结构上端安装油缸,油缸伸缩杆连接安装在立柱结构上并可沿立柱结构在竖直方向滑动的连接板,连接板上设有转轴,转轴轴线方向为竖直方向,转轴固定连接卡抓结构,卡抓结构包括与转轴固定连接的连接部以及与所述连接部相连接的卡爪部,卡爪部包括本体,在所述本体上至少设有三个爪部,所述的爪部呈正多边形状分布,爪部包括安装在本体的气缸以及与所述气缸的活塞杆相连接的导向销,活塞杆的伸长方向指向爪部形成的正多边形状中心处。

【技术特征摘要】
1.新型单晶炉用中炉体卡抓结构,其特征在于,包括机架,机架上安装有立柱结构,立柱结构上端安装油缸,油缸伸缩杆连接安装在立柱结构上并可沿立柱结构在竖直方向滑动的连接板,连接板上设有转轴,转轴轴线方向为竖直方向,转轴固定连接卡抓结构,卡抓结构包括与转轴固定连接的连接部以及与所述连接部相连接的卡爪部,卡爪部包括本体,在所述本体上至少设有三个爪部,所述的爪部呈正多边形状分布,爪部包括安装在本体的气缸以及与所述气缸的活塞杆相连接的导向销,活塞杆的伸长方向指向爪部形成的正多边形状中心处。2.如权利要求1所述的新型单晶炉用中炉体卡抓结构,其特征在于,爪部包括与本体固定...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐凌翔
申请(专利权)人:浙江晶阳机电有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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