The invention provides a silicon wafer cutting and splitting process, which comprises the following steps: testing: testing the electrical characteristics of silicon wafer by means of a test device; cutting: automatically aligning silicon wafer from P plane and splitting from N plane; and splitting: automatically splitting silicon wafer. The beneficial effect of the invention is that the cutting direction adopts P-plane cutting, eliminates N-plane cutting process, saves cost, has higher automatic splitting efficiency, is convenient to adjust strength, and has less ratio of edge collapse and core connection. Needle arrangement and needle plate test are adopted to improve the test efficiency. Automatic image recognition sorting combined with belt automatic transmission improves work efficiency and reduces labor costs.
【技术实现步骤摘要】
一种硅片切割裂片工艺
本专利技术属于硅片加工
,尤其是涉及一种一种硅片切割裂片工艺。
技术介绍
在现有的技术中一种硅片切割裂片工艺过程中,切割速度和切割功率不能满足生产效率的要求,崩边连芯的比例较大,并且存在切割工序复杂,生产成本消耗大的问题,生产过程中采用人工周转和人工分选,浪费大量的人力,工作效率低。
技术实现思路
本专利技术的目的是要解决一种硅片切割裂片工艺过程中切割工序复杂,生产成本消耗大,工作效率低的问题,提供一种一种硅片切割裂片工艺。为解决上述技术问题,本专利技术采用的技术方案是:一种硅片切割裂片工艺,包括如下步骤:测试:利用测试装置测试硅片的电学特性;切割:从P面自动将硅片对准,从N面进行划片;裂片:自动对硅片进行裂片。进一步地,所述测试步骤,具体包括:根据硅片尺寸,设定电压值测试条件;利用测试装置,根据所述测试条件测试硅片的电学特性;测试装置利用脉冲信号对所述硅片进行电性测试,记录电性数据;标记不良芯粒。进一步地,所述测试装置为测试针板,所述测试针板包括测试针和固定测试针的底板,利用所述测试针板测试硅片的电学特性包括:将测试针按照硅片上印刷的图形排列成对应形状并固定在底板上;测试时将测试针通电,测试硅片的电学特性。进一步地,所述切割步骤包括:从P面自动将硅片对准,利用皮秒激光器或飞秒激光器从N面进行划片。进一步地,所述切割步骤包括:调整载片台的X,Y方向以及θ角度,利用划片机上的图像传感器从P面将硅片对准,并记录产品信息;根据所述产品信息,读取预存的划片参数,利用所述皮秒激光器或飞秒激光器从N面进行划片;进一步地,所述飞秒激光器或皮秒激光 ...
【技术保护点】
1.一种硅片切割裂片工艺,其特征在于:包括如下步骤:测试:利用测试装置测试硅片的电学特性;切割:从P面自动将硅片对准,从N面进行划片;裂片:自动对硅片进行裂片。
【技术特征摘要】
1.一种硅片切割裂片工艺,其特征在于:包括如下步骤:测试:利用测试装置测试硅片的电学特性;切割:从P面自动将硅片对准,从N面进行划片;裂片:自动对硅片进行裂片。2.根据权利要求1所述的一种硅片切割裂片工艺,其特征在于:所述测试步骤,具体包括:根据硅片尺寸,设定电压值测试条件;利用测试装置,根据所述测试条件测试硅片的电学特性;测试装置利用脉冲信号对所述硅片进行电性测试,记录电性数据;标记不良芯粒。3.根据权利要求1或2所述的一种硅片切割裂片工艺,其特征在于:所述测试装置为测试针板,所述测试针板包括测试针和固定测试针的底板,利用所述测试针板测试硅片的电学特性包括:将测试针按照硅片上印刷的图形排列成对应形状并固定在底板上;测试时将测试针通电,测试硅片的电学特性。4.根据权利要求1所述的一种硅片切割裂片工艺,其特征在于:所述切割步骤包括:从P面自动将硅片对准,利用皮秒激光器或飞秒激光器从N面进行划片。5.根据权利要求4所述的一种硅片切割裂片工艺,其特征在于:所述切割步骤包括:调整载片台的X,Y方向以及θ角度,利用划片机上的图像传感器从P面将硅片对准,并记录产品信息;根据所述产品信息,读取预存的划片参数,利用所述皮秒激光器或飞秒激光器从N面进行划片。6.根据权利要求4或5所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员:梁效峰,王彦君,孙晨光,徐长坡,陈澄,武卫,王鹏,杨玉聪,韩义胜,杨伟,张妍,
申请(专利权)人:天津环鑫科技发展有限公司,
类型:发明
国别省市:天津,12
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。