下载一种硅片切割裂片工艺的技术资料

文档序号:20281762

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本发明提供一种硅片切割裂片工艺,包括如下步骤:测试:利用测试装置测试硅片的电学特性;切割:从P面自动将硅片对准,从N面进行划片;裂片:自动对硅片进行裂片。本发明的有益效果是切割方向采用P面切割,省去了N面做切割道工序,节约成本,自动裂片效率...
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