A knife tip (51) with an axisymmetric front end (51N) on the axis (AX) is prepared. The AX of the tip (51) is perpendicular to one side (SF1) of the brittle base plate (4), while the front end (51N) of the tip (51) slides on one side (SF1), thus forming a groove line without cracks. The crack line is formed by extending the crack in the brittle base plate (4) along the groove line (TL) along the thickness direction (DT). The brittle base plate (4) is broken along the crack line.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】脆性基板的分断方法
本专利技术涉及一种脆性基板的分断方法。
技术介绍
制造平板显示面板或太阳能电池面板等电气设备时，经常必须将脆性基板分断。在典型的分断方法中，首先，在脆性基板上形成裂纹线。在本说明书中，所谓“裂纹线”是指在脆性基板的厚度方向上局部地扩展的裂纹在脆性基板的表面上呈线状延伸之物。接着，进行所谓裂断工序。具体来说，通过对脆性基板施加应力，使裂纹线的裂纹在厚度方向上完全地扩展。由此，沿着裂纹线将脆性基板分断。根据专利文献1，在玻璃板的上表面刻划时会产生某个凹部。在该专利文献1中，该凹部称为“划线”。另外，与该划线的刻设同时地，产生从划线向正下方方向延伸的裂纹。从该专利文献1的技术来看，在现有的典型技术中，与形成划线同时地形成裂纹线。根据专利文献2，提出了与所述典型的分断技术明显不同的分断技术。根据该技术，首先，通过刀尖在脆性基板上滑动而产生塑性变形，由此形成该专利文献2中称为“划线”的槽形状。在本说明书中，以下将该槽形状的情况称为“沟槽线”。在形成沟槽线的时间点，未在其下方形成裂纹。此后，通过沿着沟槽线使裂纹伸展而形成裂纹线。也就是说，不同于典型技术，暂...
【技术保护点】
1.一种脆性基板的分断方法，具备工序a)，准备具有一个面、及与所述一个面垂直的厚度方向的脆性基板，还具备工序b)，准备设置着轴向上具有轴对称性的前端部的刀尖，还具备工序c)，一边使所述刀尖的所述轴向垂直于所述脆性基板的所述一个面，一边使所述刀尖的所述前端部在所述一个面上滑动，由此通过塑性变形在所述脆性基板的所述一个面上形成具有槽形状的沟槽线，所述沟槽线是以获得在所述沟槽线的下方所述脆性基板在与所述沟槽线交叉的方向上连续地连接的状态即无裂纹状态的方式形成，还具备工序d)，沿着所述沟槽线使所述厚度方向上的所述脆性基板的裂纹伸展，由此形成裂纹线，通过所述裂纹线在所述沟槽线的下方将...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.25 JP 2016-1039521.一种脆性基板的分断方法，具备工序a)，准备具有一个面、及与所述一个面垂直的厚度方向的脆性基板，还具备工序b)，准备设置着轴向上具有轴对称性的前端部的刀尖，还具备工序c)，一边使所述刀尖的所述轴向垂直于所述脆性基板的所述一个面，一边使所述刀尖的所述前端部在所述一个面上滑动，由此通过塑性变形在所述脆性基板的所述一个面上形成具有槽形状的沟槽线，所述沟槽线是以获得在所述沟槽线的下方所述脆性基板在与所述沟槽线交叉的方向上连续地连接的状态即无裂纹状态的方式形成，还具备工序d)，沿着所述沟槽线使所述厚度方向上的所述脆性基板的裂纹伸展，由此形成裂纹线，通过所述裂纹线在所述沟槽线的下方将所述脆性基板在与所述沟槽线交叉的方向上连续性的连接断开，还具备工序e)，沿着所述裂纹线将所述脆性基板分断。2.根据权利要求1所述的脆性基板的分断方法，其中所述工序c)包含：工序c1)，使所述刀尖的所述前端部朝向第1方向滑动；及工序c2)，在所述工序c1)之后，使所述刀尖的所述前端部朝向与所述第1方向不同的第2方向滑动。3.根据权利要求2所述的脆性基板的分断方法，其中所述工序c)...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾山浩，井村淳史，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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