下载脆性基板的分断方法的技术资料

文档序号:20121950

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准备设置着轴向(AX)上具有轴对称性的前端部(51N)的刀尖(51)。一边使刀尖(51)的轴向(AX)垂直于脆性基板(4)的一个面(SF1),一边使刀尖(51)的前端部(51N)在一个面(SF1)上滑动,由此形成无裂纹状态的沟槽线。通过沿着...
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