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脆性基板的分断方法技术
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文档序号:20121950
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准备设置着轴向(AX)上具有轴对称性的前端部(51N)的刀尖(51)。一边使刀尖(51)的轴向(AX)垂直于脆性基板(4)的一个面(SF1),一边使刀尖(51)的前端部(51N)在一个面(SF1)上滑动,由此形成无裂纹状态的沟槽线。通过沿着...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。
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