一种掩膜板及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种掩膜板及其制备方法，涉及掩膜板技术领域，为解决相关技术中的掩膜板厚度较大的技术问题而发明专利技术。该掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上开设有图案开口，所述掩膜板本体上还分散开设有多个容纳孔，每个所述容纳孔内均填充有磁性吸附件。本发明专利技术可用于OLED显示面板中有机发光材料的蒸镀工艺中。

A mask plate and its preparation method

The invention discloses a mask plate and a preparation method thereof, which relates to the technical field of the mask plate, and is invented to solve the technical problem of larger thickness of the mask plate in the related technology. The mask comprises a mask body, which is provided with a pattern opening, and a plurality of accommodation holes are dispersedly arranged on the mask body, each of which is filled with a magnetic adsorbent. The invention can be used in the evaporation plating process of organic light-emitting materials in OLED display panel.

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板及其制备方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种掩膜板及其制备方法。
技术介绍
目前，在制作OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)显示屏的有机发光层的过程中，利用具有图案的蒸镀掩膜板掩膜，并通过真空蒸镀方式在待蒸镀基板上形成R、G、B三个子像素的有机发光层。在蒸镀工艺中掩膜板需要和蒸镀基板紧密贴合，这样才保证蒸镀效果。如果掩膜板和蒸镀基板贴合不紧密，掩膜板和蒸镀基板之间留有空隙，就会产生蒸镀阴影(shadow)，从而引起混色，降低蒸镀工艺的良率。因此，如何将掩膜板和蒸镀基板紧密贴合成具体十分重要的意义。相关技术中的一种掩膜板，包括掩膜板本体，掩膜板本体上开设有图案开口，掩膜板本体采用的是玻璃材质。为了使玻璃材质的掩膜板本体和蒸镀基板贴合，是在掩膜板本体上镀一层磁性材料。然而，在掩膜板本体上镀一层磁性材料，会增加掩膜板的厚度，不利于掩膜板的轻薄化。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种掩膜板及其制备方法，用于解决相关技术中的掩膜板厚度较大的技术问题。为达到上述目的，第一方面，本专利技术实施例提供了一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上开设有图案开口，所述掩膜板本体上还分散开设有多个容纳孔，每个所述容纳孔内均填充有磁性吸附件。进一步地，多个所述容纳孔按预设规律分散排布。进一步地，所述图案开口包括多个按预设规律分散排布的开孔，每个所述开孔的周围至少分布有一个所述容纳孔。更进一步地，多个所述开孔与多个所述容纳孔在所述掩膜板本体上排布成阵列；在所述阵列中，每行或者每列均包括多个所述开孔和多个所述容纳孔，并且多个所述开孔与多个所述容纳孔交错设置。更进一步地，所述开孔为锥孔；所述容纳孔为盲孔，并且所述容纳孔的孔口与所述开孔的小端孔口位于所述掩膜板本体的同一侧表面上。进一步地，所述磁性吸附件为磁性材料层。进一步地，所述掩膜板本体的材料为玻璃。第二方面，本专利技术实施例提供了一种掩膜板的制备方法，包括以下步骤：提供掩膜板本体；在所述掩膜板本体上开设图案开口；在所述掩膜板本体上分散开设多个容纳孔；在每个所述容纳孔内均填充磁性吸附件。进一步地，在每个所述容纳孔内设置磁性吸附件包括：向每个所述容纳孔内注入磁性材料，以形成磁性材料层；其中，所述磁性材料层为所述磁性吸附件。更进一步地，所述容纳孔通过激光刻蚀或者等离子刻蚀的方式在所述掩膜板本体上开设。本专利技术实施例提供的掩膜板及其制备方法，由于掩膜板本体上还分散开设有多个容纳孔，每个容纳孔内均填充有磁性吸附件，这样当掩膜板与蒸镀基板相贴合时，每个容纳孔内填充的磁性吸附件就可以将蒸镀基板吸附，从而保证两者贴合在一起。由于磁性吸附件是位于掩膜板本体的容纳孔内，并不占用掩膜板本体厚度上的空间，该掩膜板本体的厚度就可以大大地减小，从而有利于掩膜板的轻薄化。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例中掩膜板中开孔与容纳孔的一种排布示意图；图2为本专利技术实施例中不同厚度的掩膜板本体上开孔间距对比示意图；图3为本专利技术实施例中掩膜板的开孔与容纳孔的另一种排布示意图；图4为本专利技术实施例中掩膜板的开孔形状为六边形时的结构示意图；图5为本专利技术实施例中容纳孔为盲孔时掩膜板本体正面视图；图6为本专利技术实施例中容纳孔为盲孔时掩膜板本体剖面视图；图7为本专利技术实施例中掩膜板的制备过程示意图；图8为本专利技术实施例中掩膜板的制备过程流程图；图9为本专利技术实施例中掩膜板在磁场下的变形云图；图10为本专利技术实施例中掩膜板在磁场下的应力云图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。第一方面，本专利技术实施例提供了一种掩膜板，如图1所示，包括掩膜板本体1，掩膜板本体1上开设有图案开口2，掩膜板本体1上还分散开设有多个容纳孔3，每个容纳孔3内均填充有磁性吸附件4。本专利技术实施例提供的掩膜板，如图1所示，由于掩膜板本体1上还分散开设有多个容纳孔3，每个容纳孔3内均填充有磁性吸附件4，这样当掩膜板与蒸镀基板相贴合时，每个容纳孔3内填充的磁性吸附件4就可以将蒸镀基板吸附，从而保证两者贴合在一起。由于磁性吸附件4是位于掩膜板本体1的容纳孔3内，并不占用掩膜板本体1厚度上的空间，该掩膜板本体1的厚度就可以大大地减小，从而有利于掩膜板的轻薄化。另外，当图案开口2包括多个开孔21(蒸镀孔)，并且开孔21为锥形孔时，如图2中(a)所示，掩膜板本体1的厚度为30微米，开孔2的小口端的尺寸为10微米，相邻两个开孔2之间的最小间距为42微米；如图2中(b)所示，掩膜板本体1的厚度为40微米，开孔2的小口端的尺寸为10微米，相邻两个开孔2之间的最小间距为56微米；对比如图2中(a)和(b)可知：较薄的掩膜板本体1上相邻两个锥形孔之间的距离更小。由于本专利技术实施例中的掩膜板的厚度可以做的更小，因此，相邻两个锥形孔之间的距离可以做的更小，当掩膜板本体1的面积一定时，掩膜板本体1上可以开设更多的开孔21，从而能够使该掩膜板能够制作出高分辨率的显示面板。本专利技术实施例提供的掩膜板除了可以应用于蒸镀工艺中，也可以应用于其它需要将掩膜板与基板通过磁力贴合在一起的工艺中，也能够达到减小掩膜板厚度的效果。为了保证掩膜板本体1与基板贴合的更紧密，多个容纳孔3按预设规律分散排布。例如图3所示，图案开口2包括多个按预设规律分散排布的开孔21，每个开孔21的两侧均分布有容纳孔3。多个容纳孔3通过按预设规律分散排布，这样可以保证掩膜板本体1受到的磁力更加均匀，使掩膜板本体1与基板贴合的更紧密，从而可以大大减小产生蒸镀阴影的概率，进而可以提高工艺的良率。本专利技术实施例提供的掩膜板，图案开口2的结构并不唯一，比如，如图1所示，图案开口2可以包括多个按预设规律分散排布的开孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上开设有图案开口，其特征在于，所述掩膜板本体上还分散开设有多个容纳孔，每个所述容纳孔内均填充有磁性吸附件。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上开设有图案开口，其特征在于，所述掩膜板本体上还分散开设有多个容纳孔，每个所述容纳孔内均填充有磁性吸附件。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，多个所述容纳孔按预设规律分散排布。3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述图案开口包括多个按预设规律分散排布的开孔，每个所述开孔的周围至少分布有一个所述容纳孔。4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，多个所述开孔与多个所述容纳孔在所述掩膜板本体上排布成阵列；在所述阵列中，每行或者每列均包括多个所述开孔和多个所述容纳孔，并且多个所述开孔与多个所述容纳孔交错设置。5.根据权利要求3或4所述的掩膜板，其特征在于，所述开孔为锥孔；所述容纳孔为盲孔，并且所述容纳孔的孔口与所述开孔的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张峰杰，王伟杰，朱海彬，金鑫，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11