一种晶片取片分离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及太阳能电池制造设备技术领域，尤其涉及一种晶片取片分离装置。其中，驱动组件与分离组件连接，分离组件上固定有吸附板，吸附板的一侧设有的可翻转的吸附手臂与吸附板能分别吸附在衬底的下表面和薄膜的上表面，以使晶片夹持在吸附板和吸附手臂之间，并在驱动组件的驱动作用下能同步移动，以将晶片自载具中取出；吸附手臂连接有运动控制器，驱动组件驱动吸附板接触并真空吸附在衬底的下表面时，运动控制器能驱动吸附手臂作竖向移动，以使吸附手臂接触并真空吸附薄膜，也能驱动吸附手臂作侧向翻转，以使吸附手臂带动薄膜与衬底分离，从而既能实现晶片的快速取用，又能实现衬底与薄膜的快速分离，极大的提高了产能。

【技术实现步骤摘要】
一种晶片取片分离装置
本技术涉及太阳能电池制造设备
，尤其涉及一种晶片取片分离装置。
技术介绍
薄膜太阳能电池是缓解能源危机的新型光伏器件。薄膜太阳能电池可以使用在价格低廉的陶瓷、石墨、金属片等不同材料当基板来制造，因此在同一受光面积之下可较硅衬底太阳能电池大幅减少原料的用量，其形成可产生电压的薄膜厚度仅需数微米，并具有很好的转换效率。薄膜电池太阳电池除了平面之外，也因为具有可挠性可以制作成非平面构造其应用范围大，可与建筑物结合或是变成建筑体的一部份，应用非常广泛。在薄膜太阳能电池的制造过程中，带有太阳能薄膜的方形衬底在经过刻蚀工艺后，薄膜和方形衬底(wafer)靠表面张力结合放置在载具中。为了满足后续的生产工艺需求，需要逐个将衬底自载具中取出，然后将衬底与薄膜分离。现有技术中，每次只能取出一片衬底，且在衬底取出后，需要将衬底放入另一分离组件中进行衬底与薄膜的分离，因此同样每次只能实现一组衬底与薄膜的分离工序，上述的衬底取用和分离分为先后两个工序，需要动用不同设备完成，且分离工序用时较长，极大的影响产能。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术提供了一种晶片取片分离装置，既能实现衬本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶片取片分离装置，其特征在于，包括分离组件和驱动组件，晶片包括衬底和设在所述衬底上的薄膜，所述驱动组件与分离组件连接，所述分离组件上固定有吸附板，所述吸附板用于吸附固定所述衬底，所述吸附板的一侧设有可翻转的吸附手臂，所述吸附板和所述吸附手臂能分别吸附在所述衬底的下表面和所述薄膜的上表面，以使所述晶片夹持在所述吸附板和所述吸附手臂之间，在所述驱动组件的驱动作用下，所述吸附手臂和所述吸附板能同步移动，以将所述晶片自载具中取出；所述吸附手臂连接有运动控制器，所述驱动组件驱动所述吸附板接触并真空吸附在所述衬底的下表面时，所述运动控制器能驱动所述吸附手臂作竖向移动，以使所述吸附手臂接触并真空吸附...

【技术特征摘要】
1.一种晶片取片分离装置，其特征在于，包括分离组件和驱动组件，晶片包括衬底和设在所述衬底上的薄膜，所述驱动组件与分离组件连接，所述分离组件上固定有吸附板，所述吸附板用于吸附固定所述衬底，所述吸附板的一侧设有可翻转的吸附手臂，所述吸附板和所述吸附手臂能分别吸附在所述衬底的下表面和所述薄膜的上表面，以使所述晶片夹持在所述吸附板和所述吸附手臂之间，在所述驱动组件的驱动作用下，所述吸附手臂和所述吸附板能同步移动，以将所述晶片自载具中取出；所述吸附手臂连接有运动控制器，所述驱动组件驱动所述吸附板接触并真空吸附在所述衬底的下表面时，所述运动控制器能驱动所述吸附手臂作竖向移动，以使所述吸附手臂接触并真空吸附所述薄膜；所述运动控制器还能驱动所述吸附手臂作侧向翻转，以使所述吸附手臂带动所述薄膜与所述衬底分离。2.根据权利要求1所述的晶片取片分离装置，其特征在于，所述运动控制器包括旋转机构和滑动控制机构，所述滑动控制机构通过所述旋转机构与所述吸附手臂连接，在所述滑动控制机构的驱动作用下，所述旋转机构和所述吸附手臂能同步的作竖向滑动，所述旋转机构能驱动所述吸附手臂作侧向翻转。3.根据权利要求2所述的晶片取片分离装置，其特征在于，所述旋转机构包括皮带传动机构，所述皮带传动机构的主动轮通过旋转联轴器连接有伺服电机，所述皮带传动机构的任一从动轮通过转轴与所述吸附手臂连接；所述旋转联轴器和所述转轴分别与所述滑动控制机构连接。4.根据权利要求3所述的晶片取片分离装置，其特征在于，所述滑动控制机构包括：旋转滑板，通过滑块连接有导轨，所述滑块用于带动所述旋转滑板沿所述导轨竖直滑动，所述旋转联轴器和所述转轴分别固定在所述旋转滑板上；气缸，竖直连接在所述旋转滑板上，在所述气缸伸缩时能带动所述旋转滑板滑动；限位单元，安装在所述旋转滑板上，分别对所述旋转滑板的滑动行程最高点和最低点进行限位。5.根据权利要求4所述的晶片取片分离装置，其特征在于，所述限位单元包括限位固定块和限位套件，在所述旋转滑板的滑动行程最高处和最低处各设有所述限位固定块，并在所述旋转滑板的两侧分别设置有限位台，其中一个所述限位台与设置在最高处的所述限位固定块相对设置，另一个所述限位台与设置在最低处的所述限位固定块相对设置；所述限位套件设置在任一对所述限位台和限位固定块上。6.根据权利要求5所述的晶片取片分离装置，其特征在于，所述限位套件包括配套设置的限位螺栓和限位螺母。7.根据权利要求4所述的晶片取片分离装置，其特征在于，所述转轴的两端分别通过轴承固定座与所述旋转滑板连接。8.根据权利要求2所述的晶片取片分离装置，其特征在于，所述吸附手臂包括中心轴和真空吸附片，所述旋转机构和真空吸附片分别连接在所述中心轴的两端，且所述中心轴与真空吸附片之间非同轴设置，在所述滑动控制机构的带动下，所述中心轴能带动所述真空吸附片竖向滑动、以及驱动所述真空吸附片围绕所述中心轴作侧向翻转。9.根据权利要求8所述的晶片取片分离装置，其特征在于，所述吸附手臂还包括阶梯轴，所述阶梯轴的一端与所述中心轴连接，另一端设有连接臂，所述阶梯轴通过所述连接臂与所述真空吸附片连接，所述连接臂与所述中心轴之间非同轴设置，所述中心轴在旋转时，所述连接臂在所述阶梯轴的转动作用下，能带动所述真空吸附片由所述中心轴的一侧向另一侧翻转，以使所述真空吸附片围绕所述中心轴作侧向翻转。10.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹金成，魏民，申兵兵，库石特·索拉布吉，埃里克·桑福德，史蒂文·尤时达，拉杰·维尔卡，何甘，美利莎·艾契尔，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技北京有限公司，奥塔装置公司，
类型：新型
国别省市：北京,11