东泰高科装备科技北京有限公司专利技术

东泰高科装备科技北京有限公司共有104项专利

  • 本发明涉及一种膜层厚度检测装置、在线检测系统及方法,其中,膜层厚度检测装置包括椭偏仪、支撑台、样品定位装置和驱动装置;驱动装置设在支撑台上,驱动装置上还设置了样品台,驱动装置用于驱动样品台相对支撑台移动,样品台用于放置样品。样品定位装置...
  • 本发明涉及气体安全回路技术领域,尤其涉及一种气体安全回路控制方法。该方法至少包括:在气体安全回路上任意两个相邻气动阀之间设置至少一个质量流量计,通过所述质量流量计检测所述气动阀是否发生故障。本发明提供的气体安全回路控制方法,通过在气体安...
  • 本申请提供了一种游星轮与抛光方法。该游星轮不具有通孔且不具有凹槽,游星轮侧面具有多个周向排列的齿轮。的游星轮不具有放置晶片或者固定基板的凹槽或者通孔,将其应用在双面抛光机中,对只需要单面抛光的晶片进行抛光时,晶片的需要抛光的表面裸露,不...
  • 本发明提供了一种双面抛光机与抛光方法。该双面抛光机包括机架、上抛光盘、下抛光盘、中心齿轮、外齿轮和驱动组件,上抛光盘、下抛光盘、中心齿轮、外齿轮分别独立地设置于机架上,中心齿轮设置于外齿轮的中心位置处,中心齿轮与外齿轮之间具有容纳空间,...
  • 本发明提供了一种尾气处理设备的清理回收装置,包括:清理组件,清理组件的至少一部分活动设置在尾气处理设备的外套筒与尾气处理设备的内套筒形成的过流通道内,清理组件具有多个刀刃,朝向内套筒的刀刃与内套筒的外壁间隙配合且具有相对运动,朝向外套筒...
  • 本申请提供了一种石墨纸、石墨纸的制作方法、太阳能电池与其制作方法。该石墨纸的导热系数大于或等于1500W/mK。该石墨纸的热稳定性更好,将其应用在太阳能电池等器件中,可以提升这些器件的稳定性。
  • 本发明公开了一种柔性钙钛矿量子点薄膜‑砷化镓异质结电池及其制备方法,其中该电池包括基底,基底上依次设置有背电极层、背场层、P型砷化镓薄膜层、钙钛矿量子点薄膜层、N型透明导电窗口层和前电极层。本发明提供的柔性钙钛矿量子点薄膜‑砷化镓异质结...
  • 本发明涉及全无机无铅钙钛矿太阳能电池,其主要改进点为,所述钙钛矿光吸收层为采用无铅钛基双钙钛矿型化合物制备的层状结构,所述无铅钛基双钙钛矿型化合物的化学式为A
  • 本发明涉及太阳能组件制造技术领域,尤其涉及一种太阳能组件层压方法。该太阳能组件层压方法包括:太阳能组件在层压设备中依次经过低温抽真空阶段、组件加压阶段、组件成型阶段、冷却阶段以及解压阶段。本发明所述的太阳能组件层压方法,能够有效解决传统...
  • 本发明公开了一种液体输送管路系统及外延剥离设备。液体输送管路系统包括第一三通阀、第二三通阀、第一泵、第二泵、第一加热机构、第二加热机构、第一控制阀、第一循环支管和多阶加热装置;液体输送管路系统具有小流量供液流路、小循环流路和大流量供液流...
  • 本发明涉及太阳能薄膜加工技术领域,尤其涉及一种wafer装载系统及方法,进栏具输送装置用于将装有料盘的栏具由进栏具工位输送至料盘栏具分离工位上,第一搬运装置用于将空栏具由料盘栏具分离工位移至空栏具工位,第二搬运装置用于将栏具中装有waf...
  • 本发明提供了一种贴膜机及贴膜方法。其中,贴膜机包括:吸合结构,吸合结构包括吸盘及设置在吸盘上的至少两个相互独立的抽真空组件,吸盘通过抽真空组件吸合膜片和边框,至少一个抽真空组件用于吸合膜片,至少一个抽真空组件用于吸合边框;驱动装置,与吸...
  • 本申请提供了一种太阳能电池与其制作方法。该太阳能电池包括依次叠置设置的衬底、背场层、基层以及发射层,背场层的掺杂类型与基层的掺杂类型相同,基层与发射层形成PN结,基层为包括多个叠置且相同的周期结构的超晶格结构层;各周期结构包括叠置设置的...
  • 本申请提供了一种太阳能电池与其制作方法。该太阳能电池包括衬底和依次叠置设置在衬底表面上的多个电池单元,各电池单元包括依次叠置设置的背场层、基层与发射层,各电池单元中的基层不同,其中,背场层的掺杂类型与基层的掺杂类型相同,基层与发射层形成...
  • 本发明涉及晶片在线检测设备技术领域,尤其涉及一种晶片表面颗粒物在线检测方法、装置及晶片生产线。该装置能集成在晶片生产线上,装置包括:激光发射器用于向晶片发射原始激光束;激光转换组件设置在激光发射器和晶片之间,用于将原始激光束转变为线激光...
  • 本发明涉及太阳能电池缺陷检测设备技术领域,尤其涉及一种电池内部缺陷在线检测方法、装置及太阳能电池生产线。该在线检测装置能集成到太阳能电池生产线上;该装置中,无遮挡检测区的下方经过有行进中的待测电池片,线光源向检测区内发射线激光,线激光用...
  • 本发明提供了一种膜片分离机构及膜片分离方法。其中,膜片分离机构包括:承载装置,用于承载待分离组合件,承载装置包括第一吸附区和排斥区,其中,第一吸附区能够吸合待分离组合件的第一子部件,排斥区能够将待分离组合件的第二子部件推离承载装置;柱状...
  • 本发明提供了一种膜片分离设备及膜片分离方法。其中,膜片分离设备包括:吸合装置,吸合装置包括吸盘及设置在吸盘上的第一抽真空组件,吸盘通过第一抽真空组件吸合待分离组合件的第一子部件;驱动装置,与吸合装置相连接;承载装置,承载装置包括承载结构...
  • 本发明提供了一种自动传输装置,包括:机架;驱动机构,驱动机构设置在机架上;传动机构,传动机构设置在机架上,传动机构与驱动机构相连;调整机构,调整机构设置在机架上,传输物体偏离预定轨道时,调整机构调整传输物体回归预定轨道。本发明的技术方案...
  • 本发明涉及一种制备砷烷的方法,具体为砷化钾或砷化钠与水蒸气反应进行制备,与砷化钾或砷化钠与水反应相比,本发明可促进反应的完全进行,减少水的用量,进而极大程度减少废液排放量,进一步的,在反应的过程中,对反应体系进行超声处理,可使反应生成的...