一种湿法栏具提升固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及湿法设备技术领域，尤其涉及一种湿法栏具提升固定装置。该装置包括晶片基座提升机构、晶片基座固定机构和湿法栏具提升机构，其中所述晶片基座提升机构设置在浸浴槽的开口上方，所述晶片基座固定机构设置在所述晶片基座提升机构上，所述湿法栏具提升机构与湿法栏具相连。本实用新型专利技术通过湿法栏具提升机构对湿法栏具进行整体提升操作，通过晶片基座提升机构和晶片基座固定机构分别对湿法栏具中的晶片基座进行提升和固定操作，不仅操作方便，而且能够实现多片晶片基座的同时提升和固定，提高了工作效率，保证了操作精度以及工作质量。

【技术实现步骤摘要】
一种湿法栏具提升固定装置
本技术涉及湿法设备
，尤其涉及一种湿法栏具提升固定装置。
技术介绍
在太阳能薄膜电池的生产过程中，晶片需要放入湿法设备的栏具内，经过湿法工艺处理之后，还需要把晶片从湿法栏具中取出。湿法栏具内部是一层层的晶片基座堆叠而成，在放入和取出晶片时，需把上层的晶片基座提起，才能完成晶片的取放动作。然而现有的晶片取放操作方式存在操作不便，工作效率低的问题。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术的目的是提供一种湿法栏具提升固定装置，解决现有晶片取放方式存在的操作不便，工作效率低的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种湿法栏具提升固定装置，用于将湿法栏具和晶片基座从浸浴槽提升、固定，该装置包括晶片基座提升机构、晶片基座固定机构和湿法栏具提升机构，其中所述晶片基座提升机构设置在所述浸浴槽的开口上方，所述晶片基座固定机构设置在所述晶片基座提升机构上，所述湿法栏具提升机构与所述湿法栏具相连。进一步地，所述湿法栏具提升机构包括固定支架、设置在所述固定支架上的第一驱动控制机构、以及与所述第一驱动控制机构相连的升降托板，其中所述第一驱动控制机构控制所述升降托板进行上下运动，所述升降托板与所述湿法栏具相连。具体地，所述升降托板包括L形连接板以及分别设置在所述L形连接板左右两侧的卡接板，在所述卡接板上设有卡槽；在所述湿法栏具的上端左右两侧分别设有卡柱，两个所述卡柱对应卡装在两个所述卡槽中。进一步地，所述晶片基座提升机构包括两个侧板、设置在两个所述侧板之间的两个提升杆、控制两个所述提升杆进行上下运动的第二驱动控制机构、以及控制两个所述提升杆沿水平向进行开合运动的第三驱动控制机构。进一步地，所述晶片基座固定机构包括设置在两个所述侧板之间的两个固定杆、以及控制两个所述固定杆沿水平向进行开合运动的第四驱动控制机构。具体地，所述第二驱动控制机构包括Z轴导轨以及驱动所述提升杆沿所述Z轴导轨进行运动的第二驱动装置；所述第三驱动控制机构包括第一Y轴导轨以及驱动所述提升杆沿所述第一Y轴导轨进行运动的第三驱动装置；所述第四驱动控制机构包括第二Y轴导轨以及驱动所述固定杆沿所述第二Y轴导轨进行运动的第四驱动装置。具体地，所述侧板上设有与所述Z轴导轨滑动配合的活动连接板，所述第一驱动装置与所述活动连接板驱动连接；所述第一Y轴导轨和所述第三驱动装置分别设置在所述活动连接板上，所述提升杆与所述第一Y轴导轨滑动配合；在所述侧板上设有固定连接板，所述第二Y轴导轨设置在所述固定连接板上。具体地，在两个所述提升杆上分别设有用于抓取所述晶片基座的提升爪，两个所述提升杆上的所述提升爪相对设置。具体地，在两个所述固定杆上分别设有用于抓取所述晶片基座的固定爪，两个所述固定杆上的所述固定爪相对设置，其中所述固定爪为L形结构，所述固定爪悬挂连接在所述固定杆上。进一步地，还包括设置在所述浸浴槽开口处的第一传感器、用于检测所述湿法栏具提升位置的第二传感器和用于检测所述晶片基座提升位置的第三传感器；其中所述的第二传感器和第三传感器分别设置在所述侧板上；或在所述浸浴槽上设有安装板，所述的第二传感器和第三传感器分别设置在所述安装板上。(三)有益效果本技术的上述技术方案具有如下优点：本技术提供的湿法栏具提升固定装置，通过湿法栏具提升机构对湿法栏具进行整体提升操作，通过晶片基座提升机构和晶片基座固定机构分别对湿法栏具中的晶片基座进行提升和固定操作，不仅操作方便，而且能够实现多片晶片基座的同时提升和固定，提高了工作效率。本技术提供的湿法栏具提升固定装置，通过在浸浴槽上设置第一传感器，用于检测湿法栏具中的同一层晶片基座的高度误差是否在预设范围内，通过设置第二传感器和第三传感器，能够分别检测湿法栏具的提升位置和晶片基座的提升位置，从而保证操作精度以及工作质量。附图说明图1是本技术实施例湿法栏具提升固定装置的结构示意图；图2是本技术实施例湿法栏具提升固定装置中晶片基座提升机构和晶片基座固定机构的结构示意图；图3是本技术实施例湿法栏具提升固定装置中湿法栏具提升机构的结构示意图；图4是本技术实施例湿法栏具提升固定装置中湿法栏具的结构示意图；图5是本技术实施例湿法栏具提升固定装置中浸浴槽的结构示意图。图中：1：晶片基座提升机构；101：侧板；102：提升杆；103：Z轴导轨；104：第二驱动装置；105：第一Y轴导轨；106：第三驱动装置；107：活动连接板；108：提升爪；109：固定连接板；2：湿法栏具；201：卡柱；3：湿法栏具提升机构；301：固定支架；302：升降托板；303：第一驱动控制机构；304：卡槽；4：浸浴槽；5：晶片基座；6：第一传感器；7：晶片基座固定机构；701：固定杆；702：第二Y轴导轨；703：第四驱动装置；704：固定爪。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-5所示，本技术实施例提供一种湿法栏具提升固定装置，用于将湿法栏具2和晶片基座5从浸浴槽4提升、固定。该装置包括晶片基座提升机构1、晶片基座固定机构7和湿法栏具提升机构3，其中所述晶片基座提升机构1设置在所述浸浴槽4的开口上方，所述晶片基座固定机构7设置在所述晶片基座提升机构1上，所述湿法栏具提升机构3与所述湿法栏具3相连。所述湿法栏具提升机构3包括固定支架301、设置在所述固定支架301上的第一驱动控制机构303、以及与所述第一驱动控制机构303相连的升降托板302，其中所述第一驱动控制机构303控制所述升降托板302进行上下运动，所述升降托板302与所述湿法栏具2的上端相连。其中，所述第一驱动控制机构303包括直线导轨以及驱动所述升降托板302沿所述直线导轨进行升降运动的第一驱动装置，由于所述升降托板302与所述湿法栏具2相连，在所述第一驱动装置驱动所述升降托板302进行升降运动时，带动所述湿法栏具2随之进行升降运动。其中，所述升降托板302包括L形连接板以及分别设置在所述L形连接板左右两侧的卡接板，在所述卡接板上设有卡槽304，在所述湿法栏具2的上端左右两侧分别设有卡柱201，两个所述卡柱201能够对应卡装在两个所述卡槽304中。所述晶片基座提升机构1包括两个侧板101、设置在两个所述侧板101之间的两个提升杆102、控制两个所述提升杆102进行上下运动的第二驱动控制机构、以及控制两个所述提升杆102沿水平向进行开合运动的第三驱动控制机构。其中，所述第二驱动控制机构包括Z轴导轨103以及驱动所述提升杆102沿所述Z轴导轨103进行升降运动的第二驱动装置104。所述第三驱动控制机构包括第一Y轴导轨105以及驱动所述提升杆102沿所述第一Y轴导轨105进行开合运动的第三驱动装置106，通过两个所述提升杆102之间的开合运动来实现对所述晶片基座5的抓取和松开动作。在本实施例中，所述第二驱动装置10本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种湿法栏具提升固定装置，用于将湿法栏具和晶片基座从浸浴槽提升、固定，其特征在于：包括晶片基座提升机构、晶片基座固定机构和湿法栏具提升机构，其中所述晶片基座提升机构设置在所述浸浴槽的开口上方，所述晶片基座固定机构设置在所述晶片基座提升机构上，所述湿法栏具提升机构与所述湿法栏具相连。

【技术特征摘要】
1.一种湿法栏具提升固定装置，用于将湿法栏具和晶片基座从浸浴槽提升、固定，其特征在于：包括晶片基座提升机构、晶片基座固定机构和湿法栏具提升机构，其中所述晶片基座提升机构设置在所述浸浴槽的开口上方，所述晶片基座固定机构设置在所述晶片基座提升机构上，所述湿法栏具提升机构与所述湿法栏具相连。2.根据权利要求1所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：所述湿法栏具提升机构包括固定支架、设置在所述固定支架上的第一驱动控制机构、以及与所述第一驱动控制机构相连的升降托板，其中所述第一驱动控制机构控制所述升降托板进行上下运动，所述升降托板与所述湿法栏具相连。3.根据权利要求2所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：所述升降托板包括L形连接板以及分别设置在所述L形连接板左右两侧的卡接板，在所述卡接板上设有卡槽；在所述湿法栏具的上端左右两侧分别设有卡柱，两个所述卡柱对应卡装在两个所述卡槽中。4.根据权利要求1-3任一项所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：所述晶片基座提升机构包括两个侧板、设置在两个所述侧板之间的两个提升杆、控制两个所述提升杆进行上下运动的第二驱动控制机构、以及控制两个所述提升杆沿水平向进行开合运动的第三驱动控制机构。5.根据权利要求4所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：所述晶片基座固定机构包括设置在两个所述侧板之间的两个固定杆、以及控制两个所述固定杆沿水平向进行开合运动的第四驱动控制机构。6.根据权利要求5所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：申兵兵，邹金成，王敬苗，魏民，埃里克·桑福德，库石特·索拉布吉，阮明，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技北京有限公司，奥塔装置公司，
类型：新型
国别省市：北京,11