下载一种湿法栏具提升固定装置的技术资料

文档序号:20246850

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本实用新型涉及湿法设备技术领域,尤其涉及一种湿法栏具提升固定装置。该装置包括晶片基座提升机构、晶片基座固定机构和湿法栏具提升机构,其中所述晶片基座提升机构设置在浸浴槽的开口上方,所述晶片基座固定机构设置在所述晶片基座提升机构上,所述湿法栏具...
该专利属于东泰高科装备科技(北京)有限公司;奥塔装置公司所有,仅供学习研究参考,未经过东泰高科装备科技(北京)有限公司;奥塔装置公司授权不得商用。

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