传送盒及使用其的传送方法技术

本发明专利技术提供一种用于承载容置盒的传送盒，该传送盒内设有连杆，可将容置盒稳固地固定于该传送盒中，且可再利用配置于传送盒上方的头顶式升降搬运系统以自动化运输传送盒。

【技术实现步骤摘要】
传送盒及使用其的传送方法
本专利技术有关于一种传送盒，尤指一种用于承载光罩盒的传送盒。
技术介绍
在半导体产业中，光刻技术(Lithography)为重要的工艺之一，其原理主要是将默认好的图形制作成对应的光罩，再利用曝光原理，将光源通过光罩而投射于硅晶圆上以曝光显影该默认的图形。随着半导体技术的发展与创新，其不断地朝微细化发展，也因此，任何附着于光罩上的尘埃颗粒都会造成投影成像的质量劣化，因此，光罩必须随时保持洁净并避免污染，因此，一般是在无尘室的环境下操作相关的制备程序。然而，一般在储存光罩时，是将光罩放置于有气密功能的光罩盒中，以避免光罩受到尘埃颗粒的污染，而在搬运光罩盒时，通常是以人力进行搬运以传送至下一阶段的制程，但因现今半导体的制程中，由于晶圆尺寸已达到12吋以上，故光罩的体积及重量亦随着晶圆尺寸增加，若依传统以人力进行搬运，可能会发生掉落的危险，造成搬运人员安全上的疑虑，或因光罩损坏而造成成本的损失。因此，目前常藉由晶圆厂的计算机整合自动化传输运送系统，利用机械手臂来传送光罩盒，以解决人工搬运光罩盒所产生的问题。中国台湾专利号I579215提供了一种垂直固定机构传送盒，可配合自动化传输系统，自动化地传送光罩盒，其包括主要一承载底座以及一弹性件，该承载底座用以承载该光罩盒，而该弹性件可于一固定状态或一开启状态之间变换，以将该光罩盒固定于该承载底座上，或自该承载底座上移除。然而，此前案所揭示的传送盒中，需要由工作人员手动调整该传送盒中的弹性件，以变换其固定状态或开启状态，而手动调整弹性件时容易发生人为操作疏失，增加光罩盒内光罩损坏的风险。为了解决以上问题，目前急需一种新颖的传送盒以安全传送光罩盒，使得运送过程安全迅速，并大幅降低人为操作的误差，进而降低无尘室的建置及维护成本，更可确保光罩的洁净，达到高生产良率以进行有效的工厂管理。
技术实现思路
为达到上述的目的，本专利技术提供一种用于承载光罩盒的传送盒，该传送盒内设有连杆，可将光罩盒稳固地固定于该传送盒中，且可再利用配置于传送盒上方的头顶式升降搬运系统，配合自动化运输传送系统，以机械化运输传送盒。本专利技术所揭露的传送盒用于乘载一容置盒，该传送盒包括：一前开式盒体，具有一开口、一顶部、相对该顶部的一底部、一右侧部、一左侧部、相对该开口的一后侧部、以及由该顶部、该底部、该右侧部、该左侧部、该后侧部所围绕形成的一内部空间；一门体，用以封闭该开口；一承载底座，设置于该内部空间中，用以承载该容置盒；至少一连杆，设置于该内部空间中；以及至少一感测单元，设置于该顶部、该底部、该右侧部、该左侧部、及该后侧部中的至少一者。其中，当该门体封闭该开口时，该门体抵靠该连杆，使得该连杆提供一下压力于该容置盒上，以抵掣该容置盒；该感测单元侦测该传送盒中是否放置有一容置盒。于一实施方式中，该连杆包含：一第一悬臂，具有一枢接端，该枢接端枢接于该承载底座或该前开式盒体上；一第二悬臂，与该第一悬臂连接，并与该第一悬臂呈一夹角；一弹性件，具有一第一端以及一第二端，其该第一端设置于该前开式盒体上，该第二端设置于该第二悬臂上；一抵靠端，设置于该第一悬臂或该第二悬臂上靠近该开口的一端；以及一下压端，设置于该第二悬臂上远离该开口的一端；其中，当该门体封闭该开口时，该门体抵靠并推动该抵靠端，使得该第一悬臂及该第二悬臂以该枢接端为轴心向该前开式盒体内部转动，而该下压端自上方提供该下压力该容置盒上，以抵掣该容置盒。该第一悬臂与该第二悬臂间的夹角以及其长度可视容置盒的尺寸及大小而设计，以有效地于门体封闭时抵掣该容置盒，举例而言，该第一悬臂与该第二悬臂间的夹角可为小于180度的角度。于一优选实施方式中，该下压端上可还包括一软件，于抵掣该容置盒时，可提供缓冲的功能。于本专利技术中，该感测单元的设置位置以及感测单元的种类并无特别的限制，只要能感测该传送盒中有无容置盒即可，而于一优选实施方式中，该感测单元可设置于该前开式盒体的后侧部，且该感测单元为一光学感测单元。于一优选实施方式中，该连杆的数量为二，该弹性件的该第一端分别设置于该前开式盒体的右侧部及左侧部。于一优选实施方式中，该连杆设置于该承载底座的两侧，且该弹性件的该第二端设置于该第二悬臂上，当该门体封闭该开口，该连杆以该第一悬臂的枢接端为轴心向该前开式盒体内部转动时，该弹性件被拉伸，且该下压端自上方提供该下压力于该容置盒上；而当移除该门体时，该弹性件收缩使得该连杆上抬，该下压端离开该容置盒。于一优选实施方式中，该传送盒可还包括一避震器，设置于该底部与该承载底座之间。于一优选实施方式中，该传送盒可还包括一头顶式升降搬运系统接头(OverheadHostTransfer,以下称OHT接头)，设置于该前开式盒体的上方。此外，本专利技术提供了一种传送容置盒的方法，特征在于使用上文所述的传送盒，其步骤包括：将该容置盒置于该传送盒的该承载底座上；关闭该门体以封闭该容置盒的该开口，当该门体封闭该开口时，该门体抵靠该连杆，使得该连杆提供一下压力于该容置盒上，以抵掣该容置盒；以及利用一自动化运输传送系统移动该传送盒。于一优选实施方式中，该传送盒还包括一头顶式升降搬运系统接头(OHT)，设置于该前开式盒体的上方，其中，利用一自动化运输传送系统移动该传送盒的步骤包括：利用一机械手臂抓取该OHT接头以移动该传送盒。本专利技术所提供的传送盒可承载装有光罩的容置盒，并配合晶圆厂中既有的自动化运输传送系统来传送容置盒，可避免人工搬运的缺点，并可提高生产良率及有利于工厂管理。上述的实施例仅用来例举本专利技术的实施方式，以及阐释本专利技术的技术特征，并非用来限制本专利技术的保护范畴。任何本领域技术人员可轻易完成的改变或均等性的安排均属于本专利技术所主张的范围，本专利技术的权利保护范围应以权利要求为准。附图说明图1为本专利技术一实施方式中，容置盒容置于传送盒的立体示意图。图2为本专利技术一实施方式的传送盒的立体示意图。图3为本专利技术一实施方式的传送盒的动作侧视图。图4为本专利技术一实施方式的传送盒的动作侧视图。【符号说明】1000传送盒100容置盒1前开式盒体11开口12顶部13底部14右侧部15左侧部16后侧部17内部空间2门体3承载底座4连杆41第一悬臂411第一枢接端42第二悬臂421抵靠端422下压端43弹性件431第一端432第二端5感测单元6避震器7OHT接头具体实施方式以下藉由特定的具体实施例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。只是需注意的是，以下图式均为简化的示意图，图式中的组件数目、形状及尺寸可依实际实施状况而随意变更，且组件布局状态可更为复杂。本专利技术亦可藉由其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不悖离本专利技术的精神下进行各种修饰与变更。首先，请同时参照图1及图2为本专利技术传送盒1000的立体示意图，其中，图1为该传送盒1000中容置有容置盒100的示意图，而图2为该传送盒1000的示意图。如图所示，该传送盒1000主要包括：一前开式盒体1、一门体2、一承载底座3、两个连杆4、一感测单元5、以及一避震器6。其中，该前开式盒体1具有一开口11、一顶部12、相对该顶部12的一底部13、一右侧部14、一左侧部15、相对该本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送盒，用于传送一容置盒，该传送盒包括：一前开式盒体，具有一开口、一顶部、相对该顶部的一底部、一右侧部、一左侧部、相对该开口的一后侧部、以及由该顶部、该底部、该右侧部、该左侧部、该后侧部所围绕形成的一内部空间；一门体，用以封闭该开口；一承载底座，设置于该内部空间中，用以承载该容置盒；至少一连杆，设置于该内部空间中；以及至少一感测单元，设置于该顶部、该底部、该右侧部、该左侧部、及该后侧部中的至少一者；其中，当该门体封闭该开口时，该门体抵靠该连杆，使得该连杆提供一下压力于该容置盒上，以抵掣该容置盒；该感测单元侦测该传送盒中是否放置有一容置盒。

【技术特征摘要】
1.一种传送盒，用于传送一容置盒，该传送盒包括：一前开式盒体，具有一开口、一顶部、相对该顶部的一底部、一右侧部、一左侧部、相对该开口的一后侧部、以及由该顶部、该底部、该右侧部、该左侧部、该后侧部所围绕形成的一内部空间；一门体，用以封闭该开口；一承载底座，设置于该内部空间中，用以承载该容置盒；至少一连杆，设置于该内部空间中；以及至少一感测单元，设置于该顶部、该底部、该右侧部、该左侧部、及该后侧部中的至少一者；其中，当该门体封闭该开口时，该门体抵靠该连杆，使得该连杆提供一下压力于该容置盒上，以抵掣该容置盒；该感测单元侦测该传送盒中是否放置有一容置盒。2.如权利要求1所述的传送盒，其中，该连杆包含：一第一悬臂，具有一枢接端，该枢接端枢接于该承载底座或该前开式盒体上；一第二悬臂，与该第一悬臂连接；一弹性件，具有一第一端以及一第二端，其该第一端设置于该前开式盒体上，该第二端设置于该第二悬臂上；一抵靠端，设置于该第一悬臂或该第二悬臂上靠近该开口的一端；以及一下压端，设置于该第二悬臂上远离该开口的一端；其中，当该门体封闭该开口时，该门体抵靠并推动该抵靠端，使得该第一悬臂及该第二悬臂以该枢接端为轴心向该前开式盒体内部转动，而该下压端自上方提供该下压力于该容置盒上，以抵掣该容置盒。3.如权利要求1所述的传送盒，其中，该感测单元设置于该前开式盒体的后侧部。4.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘咏晋，刘维虔，林志铭，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71