一种多版并列光刻的排版系统技术方案

本发明专利技术公开了一种多版并列光刻的排版系统，该系统包括：阵列光源，所述阵列光源设置在竖直板上；排版装置，所述排版装置包括排架、安装在所属排架上的与所述阵列光源一一对应的反射单元，所述反射单元中设置有反射镜、开闭装置，所述排架上连接有滑轨，所述滑轨中设置有用来滑动所述排架的驱动机构，所述反射单元在竖直高度上错开排放，使得每个所述反射单元能够得到对应所述阵列光源的照射；若干光学图像缩小装置，所述光学图像缩小装置排放在所述滑轨的移动方向的下方；若干待印刷板；以及控制器。本发明专利技术的有益效果为提高生产效率，且排版变化影响小，足以满足个性化生产。

【技术实现步骤摘要】
一种多版并列光刻的排版系统
本专利技术属于光刻领域，具体涉及一种多版并列光刻的排版系统。
技术介绍
光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂（又名光刻胶）将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其主要过程为：首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面，引起曝光区域的光刻胶发生化学反应；再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶（前者称正性光刻胶，后者称负性光刻胶），使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上；最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。传统的光刻技术只能应对大批量生产，个性化生产的成本是巨大的。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本专利技术提供一种多版并列光刻的排版系统，本专利技术能够通过一组光源以及一组排版装置实现多版并列光刻，高效率，且排版变化影响小，足以满足个性化生产。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种多版并列光刻的排版系统，该系统包括：阵列光源，所述阵列光源设置在竖直板上；排版装置，所述排版装置包括排架、安装在所属排架上的与所述阵列光源一一对应的反射单元，所述反射单元中设置有反射镜、开闭装置，所述排架上连接有滑轨，所述滑轨中设置有用来滑动所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多版并列光刻的排版系统，其特征在于，该系统包括：阵列光源（100），所述阵列光源（100）设置在竖直板（200）上；排版装置（300），所述排版装置（300）包括排架（310）、安装在所属排架（310）上的与所述阵列光源（100）一一对应的反射单元（320），所述反射单元（320）中设置有反射镜（1）、开闭装置，所述排架（310）上连接有滑轨（330），所述滑轨（330）中设置有用来滑动所述排架（310）的驱动机构，所述反射单元（320）在竖直高度上错开排放，使得每个所述反射单元（320）能够得到对应所述阵列光源（100）的照射；若干光学图像缩小装置（400），所述光学图像缩小装置（4...

【技术特征摘要】
1.一种多版并列光刻的排版系统，其特征在于，该系统包括：阵列光源（100），所述阵列光源（100）设置在竖直板（200）上；排版装置（300），所述排版装置（300）包括排架（310）、安装在所属排架（310）上的与所述阵列光源（100）一一对应的反射单元（320），所述反射单元（320）中设置有反射镜（1）、开闭装置，所述排架（310）上连接有滑轨（330），所述滑轨（330）中设置有用来滑动所述排架（310）的驱动机构，所述反射单元（320）在竖直高度上错开排放，使得每个所述反射单元（320）能够得到对应所述阵列光源（100）的照射；若干光学图像缩小装置（400），所述光学图像缩小装置（400）排放在所述滑轨（330）的移动方向的下方，所述光学图像缩小装置（400）包括接收端、输出端，所述接收端用来接收所述排版装置（300）的反射光；若干待印刷板（500），所述待印刷板（500）与所述光学图像缩小装置（400）一一对应，所述待印刷板（500）与所述输出端相对设置，所述待印刷板（500）的上表面设置有能被所述阵列光源（100）中光线分解的胶剂；以及控制器，所述控制器与所述驱动机构、所述开闭装置电连接；其中，所述阵列光源（100）中的光线经过所述反射镜（1）照射向所述接收端形成光路径，所述开闭装置用来切断或者连通所述光路径。2.根据权利要求1所述的多版并列光刻的排版系统，其特征在于，所述系统还包括机械臂，用来取送所述待印刷板（500）。3.根据权利要求1所述的多版并列光刻的排版系统，其特征在于，所述系统还包括定位装置，用来定位所述待印刷板（500）。4.根据权利要求3所述的多版并列光刻的排版系统，其特征在于，所述定位装置上设有感应器，所述感应器与所述控制器电连接。5.根据权利要求1所述的多版...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈莹，常敏，孟庆涛，邢国军，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：上海,31