倾斜直写曝光机镜头倍率以及偏转角度的标定调整方法技术

本发明专利技术公开了倾斜直写曝光机镜头倍率以及偏转角度的标定调整方法，该标定调整方法先在DMD上标记一个Mark1和Mark2，然后通过光学成像镜头在基板上形成Mark3和Mark4，计算出Mark3和Mark4之间的实际距离和偏转的角度，这样将绝对距离M与标准距离L’进行对比验证，通过调整镜头倍率和光学镜头的偏转角度使M与L’的差值处于可接受范围，从而实现成像倍率和偏转角度的标定和调整，整个方法可以标定光学成像镜头的角度，同时也可克服光学成像镜头和DMD在安装过程中的安装误差，提高曝光精度。

【技术实现步骤摘要】
倾斜直写曝光机镜头倍率以及偏转角度的标定调整方法
本专利技术涉及一种标定调整方法，尤其涉及一种倾斜直写曝光机镜头倍率以及偏转角度的标定调整方法。
技术介绍
在半导体、PCB等相关行业的制程中，倾斜直写曝光机负责的图形转移制程是最为关键的步骤之一。光学成像镜头是直写曝光机的核心组件之一，光学成像镜头对直写曝光机最终的成像效果起着决定性的作用。DMD(DigitalMicromirrorDevice)是倾斜直写曝光机中使用的器件，激光经过反射镜片反射到DMD中，再经过DMD的反射后穿过光学成像镜头在基板上曝光形成系统中图形文件的图案。这种倾斜的曝光机的DMD和光学成像镜头都安装在一个运动平台上，DMD安装时需要与光写成像镜头平行，这样才能在曝光的时候图形不发生畸变。同时光学成像镜头与运动平台之间的夹角也需要调整，然由于机械配合的误差，还有人工安装的误差，导致DMD和光写成像镜片之间不一定完全平行，光写成像镜片与运动平台之间的夹角也有误差，最终影响了曝光成像的质量。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种倾斜直写曝光机镜头倍率以及偏转角度的标定调整方法，该标定调整方法通过Mar本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.倾斜直写曝光机镜头倍率以及偏转角度的标定调整方法，其包括以下步骤：S1、光学成像镜头倾斜设置在曝光机运动平台上，在光学成像镜头上安装DMD装置，光学成像镜头的下方设置一块基板；S2、在曝光机的图形文件上标记两个标准标记点Mark1’和Mark2’，并测量Mark1’和Mark2’之间的距离设定为标准距离L’；S3、在DMD装置上构建形成DMD坐标系，在DMD上对应形成两个与Mark1’和Mark2’一一对应的对照标记点Mark1和Mark2，其中Mark1和Mark2在DMD坐标系内的坐标分别为(X1,Y1,)和(X2,Y2)，其中Y1＝Y2；S4、设定Mark1和Mark2之间的距离L，...

【技术特征摘要】
1.倾斜直写曝光机镜头倍率以及偏转角度的标定调整方法，其包括以下步骤：S1、光学成像镜头倾斜设置在曝光机运动平台上，在光学成像镜头上安装DMD装置，光学成像镜头的下方设置一块基板；S2、在曝光机的图形文件上标记两个标准标记点Mark1’和Mark2’，并测量Mark1’和Mark2’之间的距离设定为标准距离L’；S3、在DMD装置上构建形成DMD坐标系，在DMD上对应形成两个与Mark1’和Mark2’一一对应的对照标记点Mark1和Mark2，其中Mark1和Mark2在DMD坐标系内的坐标分别为(X1,Y1,)和(X2,Y2)，其中Y1＝Y2；S4、设定Mark1和Mark2之间的距离L，DMD像素点大小为p，Mark1和Mark2之间的距离L为N个DMD像素点，则L＝|X2-X1|＝N×P；S5、Mark1和Mark2通过光学成像镜头放大或缩小之后，在基板表面形成了两个新的标记点Mark3和Mark4；S6、通过使用直写曝光设备上的高精度CCD组件，提取Mark3和Mark4的坐标，在CCD坐标系内分别记为(X3,Y3)和(X4,Y4)；S7、Mark3和Mark4在X方向差值Δ...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国军，吴景舟，马迪，
申请(专利权)人：江苏友迪激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32