一种无线缆式双向扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种无线缆式双向扫描装置；通过串行线圈驱动阵列磁钢模块进行往复直线运动，消除了现有技术中线缆力对运动及定位精度的影响，同时通过设置相应气浮结构对直线运动进行支承和导向，并最终通过结合反馈控制，达到双向扫描的目的。本发明专利技术可建立一种高速、高频、高精度的双向扫描装置。

【技术实现步骤摘要】
一种无线缆式双向扫描装置
本专利技术属于精密仪器及机械
，特别涉及一种无线缆式双向扫描装置。
技术介绍
近年来，随着先进芯片制造业逐渐朝向功能集成化和体积微小化发展，气体静压直线运动基准以其高速度和高精度等显著优点而成为尖端光刻机中的关键部件之一；光刻机曝光系统中光阑片的高速、高加速以及高运动精度需求，对气体静压直线运动基准中的气体静压导轨提出了高承载能力、高转动刚度的要求；为避免直线运动机构遮挡光路或触碰光学器件，光阑片安装在直线运动基准的悬臂端，因此需要提高气体静压导轨的转动刚度，来抵抗光阑片高加速运动时产生的转动力矩；而光刻机曝光系统复杂而精密，其气体静压直线运动机构需要小型化，因此提高单位面积上的转动刚度，成为制约气体静压导轨在光刻机曝光系统中应用的主要技术难题。2008年，荷兰ASML公司所研发的TwinscanXT1950i型光刻机，可以实现38nm芯片激光刻蚀。其曝光系统中的直线运动基准采用机械导轨结构，并达到了40m/s2的加速度运动(Y.B.PatrickKwan,ErikL.Loopstra.NullifyingAccelerationForcesinNan本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无线缆式双向扫描装置，包括基座(1)、扫描运动部件(2)和上盖(3)；其特征在于：所述基座(1)包括外壳(5)、串行线圈(6)和气浮工作台(7)，外壳(5)上加工有卡槽(9)，串行线圈(6)安装在卡槽(9)的两侧，气浮工作台(7)安装外壳(5)上，在气浮工作台(7)上安装有若干枚孔形节流器(8)，各孔形节流器(8)间加工有微型直槽(10)；所述扫描运动部件(2)包括扫描板(11)、L型桥架(12)和阵列磁钢模块(13)，扫描板(11)和阵列磁钢模块(13)均固连在L型桥架(12)上，阵列磁钢模块(13)安装有光栅尺(14)和阻尼器(15)，L型桥架(12)上安装有气浮滑板(16)；所述...

【技术特征摘要】
1.一种无线缆式双向扫描装置，包括基座(1)、扫描运动部件(2)和上盖(3)；其特征在于：所述基座(1)包括外壳(5)、串行线圈(6)和气浮工作台(7)，外壳(5)上加工有卡槽(9)，串行线圈(6)安装在卡槽(9)的两侧，气浮工作台(7)安装外壳(5)上，在气浮工作台(7)上安装有若干枚孔形节流器(8)，各孔形节流器(8)间加工有微型直槽(10)；所述扫描运动部件(2)包括扫描板(11)、L型桥架(12)和阵列磁钢模块(13)，扫描板(11)和阵列磁钢模块(13)均固连在L型桥架(12)上，阵列磁钢模块(13)安装有光栅尺(14)和阻尼器(15)，L型桥架(12)上安装有气浮滑板(16)；所述上盖(3)上安装有读数头(4)，读数头(4)的安装位置与光栅尺(14)对应；所述扫描运动部件(2)可移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴剑威，温众普，崔继文，谭久彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23