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本发明公开了倾斜直写曝光机镜头倍率以及偏转角度的标定调整方法，该标定调整方法先在DMD上标记一个Mark1和Mark2，然后通过光学成像镜头在基板上形成Mark3和Mark4，计算出Mark3和Mark4之间的实际距离和偏转的角度，这样将绝...
该专利属于江苏友迪激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏友迪激光科技有限公司授权不得商用。

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