石英晶片镀膜治具制造技术

本发明专利技术涉及石英产品制造领域，具体公开了一种石英晶片镀膜治具，包括托架和镀膜夹具；所述托架整体呈板状，包括底座，所述底座上设有若干条均匀设置的安装条，所述安装条两两在其相对的面设有开槽；所述镀膜夹具包括若干石英晶片镀膜工位，所述石英晶片镀膜工位呈阵列分布；所述镀膜夹具沿着所述开槽安装到所述托架上。本方案所提供的结构简单，制造及应用成本低；托架采用滑槽安装的方式，镀膜夹具装卸方便，能同时装卸多个镀膜夹具，明显提升镀膜效率。同时，托架的设计使得镀膜夹具既能用于蒸镀镀膜，又能用于溅射镀膜，降低了生产成本；镀膜夹具的镀膜工位设计紧凑，夹具各层贴合紧密，所以晶片固定效果好，镀膜频率的散差更小，镀膜质量高。

Quartz wafer coating fixture

The invention relates to the field of quartz product manufacturing, and specifically discloses a quartz wafer coating fixture, including a bracket and a coating fixture; the bracket is plate-shaped as a whole, including a base, on which there are several uniformly arranged installation strips, two of which are slotted on their opposite faces; the coating fixture includes several quartz wafer coating positions, and the quartz crystal. The film plating positions are arranged in an array, and the film plating fixture is mounted on the bracket along the slot. The scheme has the advantages of simple structure, low manufacturing and application cost; the bracket adopts sliding groove installation mode, and the coating fixture is easy to load and unload, and can simultaneously load and unload multiple coating fixtures, thus significantly improving the coating efficiency. At the same time, the design of the bracket makes the plating fixture not only be used for evaporation plating, but also for sputtering plating, which reduces the production cost; the plating position of the plating fixture is compact, and the fixture layers are close, so the fixing effect of the wafer is good, the dispersion of the plating frequency is smaller, and the quality of the coating is high.

【技术实现步骤摘要】
石英晶片镀膜治具
本专利技术涉及石英产品制造领域，特别是涉及一种石英晶片镀膜治具。
技术介绍
近几年来，石英产品在全球每年销售量按15％左右的速度增长。随着信息产业的飞速发展，压电石英器件因其体积小、重量轻、可靠性高以及频率稳定度高的特点，广泛应用于各种工业设备、通信设备、游戏设备、家用设备等各种智能设备中。石英晶体谐振器是利用石英晶体（二氧化硅的结晶体）的压电效应制成的一种谐振器件，它的基本结构大致是从一块石英晶体上按一定方位角切下薄片（简称为晶片，它可以是正方形、矩形或圆形等），在它的两个对应面上镀敷金属层作为电极，然后将镀有电极的晶片通过点胶夹具用绝缘胶、导电银胶粘贴在支架上，让镀金属晶片固定在支架两引线之间，使其两面电极分别与支架两引线连接，再加上封装外壳就构成了石英晶体谐振器，简称为石英晶体或晶体、晶振。其产品一般用金属外壳封装，也可以用陶瓷封装。镀膜是石英晶体谐振器生产的重要工序之一，也是自动化较低的工序。其作用为在晶片两面镀上Cr、Ag等金属，形成电极。由于此处人工操作内容较多，因此在晶振行业镀膜产能一直是生产线的瓶颈产能。目前压电石英谐振器生产厂家基本使用两种外形的镀本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英晶片镀膜治具，其特征在于，包括托架（10）和镀膜夹具（20）；所述托架（10）包括底座（101），所述底座（101）上设有若干条均匀设置的安装条（102），所述安装条（102）两两在其相对的面设有开槽（1021）；所述镀膜夹具（20）包括若干石英晶片镀膜工位，所述石英晶片镀膜工位呈阵列分布；所述镀膜夹具（20）沿着所述开槽（1021）安装到所述托架（10）上。

【技术特征摘要】
1.一种石英晶片镀膜治具，其特征在于，包括托架（10）和镀膜夹具（20）；所述托架（10）包括底座（101），所述底座（101）上设有若干条均匀设置的安装条（102），所述安装条（102）两两在其相对的面设有开槽（1021）；所述镀膜夹具（20）包括若干石英晶片镀膜工位，所述石英晶片镀膜工位呈阵列分布；所述镀膜夹具（20）沿着所述开槽（1021）安装到所述托架（10）上。2.根据权利要求1所述的石英晶片镀膜治具，其特征在于，所述镀膜夹具（20）包括固定板（201）和面盖板（205），所述固定板（201）和所述面盖板（205）之间自下而上依次贴合有下电极板（202）、晶片限位板（203）和上电极板（204）；所述晶片限位板（203）上开设有多个晶片限位孔（208），所述上电极板（204）和所述下电极板（202）在与所述晶片开槽对应处设有电极孔（207）；所述固定板（201）包括第一边框，所述面盖板（205）包括与第一边框相对应的第二边框；所述第一边框/所述第二边框上设有磁石孔（206），磁石孔（206）中安装于磁石，所述第二边框/所述第一边框能吸附于磁石；所述下电极板（202）、晶片限位板（203）和上电极板（204）在与所述磁石孔（206）对应的位置处设有通孔或镂空结构。3.根据权利要求2所述的石英晶片镀膜治具，其特征在于，所述晶片限位孔（208）和所述电极孔（207）分多个区域分布；所述固定板（201）还包括设于所述第一边框内、用于分隔所述区域的第一增强筋，所述面盖板（205）还包括与所述第一增强筋相对应的第二增强筋；所述第一增强筋/所述第二增强筋上设于磁石...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳林，欧阳晟，
申请(专利权)人：广州晶优电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44