The invention discloses a vacuum coating machine, which comprises a coating cylinder body, a vacuum pumping device and a material supply device for conveying coating materials to the coating cylinder body. The plating barrel is surrounded by a holding chamber for holding the workpiece to be plated, and a rotating frame for carrying and driving the workpiece to be plated is installed in the holding chamber. The rotating frame includes a large turntable and a small turntable located at the outer edge of the large turntable. The outer ring of the large turntable is provided with a first tooth tooth. The small turntable is installed on the oblique top of the large turntable through a fixed shaft, and the first gear is movably sleeved outside the fixed shaft. The outer surface of the fixed shaft is convex with a first engagement part, and the inner ring surface of the first gear is provided with a second engagement part matching the first engagement part. The small turntable engages the large turntable through the connection between the first gear and the first teeth. The motion mode of the large turntable and the small turntable of the vacuum coating machine of the present invention is diversified and more flexible to use.
【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机
本专利技术涉及机械领域，尤其涉及一种真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行镀膜的机器。根据镀膜方式的不同又可以分为真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等。众所周知，真空镀膜机内都安装有用于装夹待镀工件的转动架，现有的转动架基本都是包括转动轴、大转盘以及若干个小转盘。其中，转动轴设置于镀膜筒体的容置腔中间，转动轴的输出端与大转盘连接并驱动大转盘转动，若干个小转盘固定于大转盘上，故当转动轴驱动大转盘转动的时候，若干个固定于大转盘上的小转盘也会跟随着大转盘一起转动，大转盘与小转盘之间是联合运动的，小转盘不能独立转动。而随着社会的迅速发展，工件形状也越来越复杂，镀层种类也越来越多样化，尤其是对于一些彩色干涉膜，这种类型的镀层对于膜层厚度十分敏感，而现有的大转盘连同小转盘一起转动的转动架则不能满足以上工艺需求。因此，亟需一种大转盘和小转盘运动方式多样的真空镀膜机来克服上述的缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种大转盘和小转盘运动方式多样的真空镀膜机。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种真空镀膜机，包括...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机，包括镀膜筒体、抽真空装置以及向所述镀膜筒体内输送镀膜材料的物料供给装置，所述镀膜筒体围出用于盛放待镀工件的容置腔，其特征在于：所述容置腔内安装有用于承载并驱动待镀工件转动的转动架，所述转动架包括大转盘和位于大转盘外缘的小转盘，所述大转盘的外环面设有第一齿牙，所述小转盘通过一固定轴安装于所述大转盘斜上方，且所述固定轴外还活动地套设有第一齿轮，所述固定轴的外表面向外凸设有第一卡合部，所述第一齿轮的内环面设置有与所述第一卡合部相配合的第二卡合部，所述小转盘通过所述第一齿轮和所述第一齿牙之间的连接实现与所述大转盘相啮合。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机，包括镀膜筒体、抽真空装置以及向所述镀膜筒体内输送镀膜材料的物料供给装置，所述镀膜筒体围出用于盛放待镀工件的容置腔，其特征在于：所述容置腔内安装有用于承载并驱动待镀工件转动的转动架，所述转动架包括大转盘和位于大转盘外缘的小转盘，所述大转盘的外环面设有第一齿牙，所述小转盘通过一固定轴安装于所述大转盘斜上方，且所述固定轴外还活动地套设有第一齿轮，所述固定轴的外表面向外凸设有第一卡合部，所述第一齿轮的内环面设置有与所述第一卡合部相配合的第二卡合部，所述小转盘通过所述第一齿轮和所述第一齿牙之间的连接实现与所述大转盘相啮合。2.如权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：所述大转盘的转动中轴线与所述小转盘的转动中轴线相互平行。3.如权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：还包括设置于所述第一齿轮下方并支撑所述第一齿轮的滚珠轴承和驱动所述滚珠轴承沿所述固定轴滑动的第一驱动机构。4.如权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：还包伸缩机构，所述伸缩机构的输出端固定连接有第二齿轮，所述小转盘的外环面设置有第二齿牙，所述伸缩机构驱动所述第二齿轮沿所述容置腔的上下方向移动，所述第二齿轮选择性地与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王孟良，陈春奇，陈卓，梅洪蕾，许进，周强，孟健，王孟仁，高春玲，梅艳红，
申请(专利权)人：深圳天成真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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