【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用加工装置
本技术涉及到真空镀膜装置
，具体为一种真空镀膜用加工装置。
技术介绍
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。现有的真空镀膜装置有立式、卧式等多种形式，其中立式真空镀膜装置，在镀膜过程中，基片不会产生变形，镀膜效果更好，但是现有的立式真空镀膜装置夹持基片不够稳定，镀膜时需要带动基片转动，基片本身不能转动，使镀膜效果有所降低，且在转动的过程中，基片下端没有固定装置，导致基片下端可能会与真空室壁产生摩擦，损伤镀上的膜，造成不良品，且现有真空镀膜装置只能适应统一长度基片的镀膜，不能更改基片长度，对镀膜工作造成不便，为此，本技术提出一种真空镀膜用加工装置用于解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空镀膜用加工装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜用加工装置，包括主转轴、主转盘、次转盘和托盘，所述主转轴下端固定连接主转盘，所述主转盘下端固定连接两组次转盘，每组所述次转盘都设有两个...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜用加工装置，包括主转轴(1)、主转盘(2)、次转盘(3)和托盘(7)，其特征在于：所述主转轴(1)下端固定连接主转盘(2)，所述主转盘(2)下端固定连接两组次转盘(3)，每组所述次转盘(3)都设有两个，一个固定连接在主转盘(2)下端，另一个固定连接在托盘(7)上端，所述次转盘(3)中间设有伸缩杆(6)，所述次转盘(3)下端外围设有夹持件(4)，所述伸缩杆(6)下端固定连接另一个次转盘(3)，下端的次转盘(3)上设有夹持件(4)，在夹持件(4)之间固定夹持基片(5)，固定在托盘(7)上的转盘(3)下端设有次转轴(12)，所述次转轴(12)下端穿过托盘(7)，所...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用加工装置，包括主转轴(1)、主转盘(2)、次转盘(3)和托盘(7)，其特征在于：所述主转轴(1)下端固定连接主转盘(2)，所述主转盘(2)下端固定连接两组次转盘(3)，每组所述次转盘(3)都设有两个，一个固定连接在主转盘(2)下端，另一个固定连接在托盘(7)上端，所述次转盘(3)中间设有伸缩杆(6)，所述次转盘(3)下端外围设有夹持件(4)，所述伸缩杆(6)下端固定连接另一个次转盘(3)，下端的次转盘(3)上设有夹持件(4)，在夹持件(4)之间固定夹持基片(5)，固定在托盘(7)上的转盘(3)下端设有次转轴(12)，所述次转轴(12)下端穿过托盘(7)，所述次转轴(12)末端固定连接从动轮(11)，所述托盘(7)上端面中间固定连接一个电机(8)，所述电机(8)下端传动输出端穿过托盘(7)，传动输出端末端固定连接主动轮(9)，所述主动轮(9)和从动轮(11)之间通过皮带(10)传动连接。2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：史延锋，赵洋，史延库，杨金海，
申请(专利权)人：南京浦阳环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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