The invention relates to a seed crystal chuck inner sleeve processing technology, which comprises the following processing procedures: a, rough milling and finish milling of workpiece blanks to rectangular blanks of required size; b, rough milling of upper end face of rectangular blanks obtained from process a and finish milling of rectangular convex platform; c, rough milling and finish milling of rectangular convex platform of semi-finished workpiece obtained from process B to form wedge convex platform and wedge groove; The workpiece semi-finished products obtained from process C are fastened together and clamped by fixture two, one end of the plane finish turning to the required size, then the finish turning goes out of the circle; e, the two workpieces semi-finished products obtained from process d are fastened together and clamped, one end of the outer circle finishes turning out the inner hole one, the other end finishes turning out the inner hole two, and the inner hole one and the inner hole two are fine turning inner cone holes. The diameter of the inner hole is larger than two diameters of the inner hole; f. Two semi-finished products of the workpiece obtained by the process e are fastened together and clamped by three clamps. The two end planes of the inner hole are precisely turned, and then the conical surface is precisely turned out.
【技术实现步骤摘要】
一种籽晶夹头内套加工工艺
本专利技术涉及机械加工领域,尤其涉及一种籽晶夹头内套加工工艺。
技术介绍
籽晶夹头在直拉式单晶炉中作用和功能是,夹持籽晶以及生长在籽晶上的单晶硅棒逐步由在单晶炉坩埚内熔融的硅熔液中拉出。在整个拉晶过程中逐渐生长的单晶硅棒最终长度达两米左右,重量达到800公斤,所有这些重量都通过籽晶及硅棒的重量全部吊在籽晶夹头上,因此籽晶夹头作用非常重要。如果在拉晶过程中籽晶夹头发生断裂损坏将使整炉硅料甚至石墨热场报废,同时籽晶夹头制造精度也对单晶硅棒的成型质量有重要影响,精度要求非常高。而籽晶夹头一般由夹头内套和夹头外套构成,夹头外套内部轮廓与夹头内套外部轮廓相匹配,夹头内套设置在夹头外套内部,本专利技术提供一种不同以往的籽晶夹头内套加工工艺及加工过程用到的夹具,使籽晶夹头内套生产效率和产品精度大大提高。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种生产效率高、产品精度高的籽晶夹头内套加工工艺。为解决上述问题,本专利技术所采取的技术方案是:一种籽晶夹头内套加工工艺,包括如下加工工序:a、工件毛坯粗铣、精铣加工至要求尺寸的矩形坯料;b、将工序a得到的矩 ...
【技术保护点】
1.一种籽晶夹头内套加工工艺,其特征在于,包括如下加工工序:a、工件毛坯粗铣、精铣加工至要求尺寸的矩形坯料(100);b、将工序a得到的矩形坯料 (100)上端面粗铣、精铣出矩型凸台(200);c、将工序b得到的工件半成品的矩形凸台(200)处沿与所述矩形凸台(200)宽度相同的斜面粗铣、精铣,形成楔形凸台(310)和楔形凹槽(320);d、将两个由工序c得到的工件半成品通过所述楔形凸台(310)和楔形凹槽(320)扣合在一起并通过夹具二夹紧,一端平面精车至要求尺寸,再精车出外圆(400);e、将两个由工序d得到的工件半成品通过所述楔形凸台(310)和楔形凹槽(320)扣合 ...
【技术特征摘要】
1.一种籽晶夹头内套加工工艺,其特征在于,包括如下加工工序:a、工件毛坯粗铣、精铣加工至要求尺寸的矩形坯料(100);b、将工序a得到的矩形坯料(100)上端面粗铣、精铣出矩型凸台(200);c、将工序b得到的工件半成品的矩形凸台(200)处沿与所述矩形凸台(200)宽度相同的斜面粗铣、精铣,形成楔形凸台(310)和楔形凹槽(320);d、将两个由工序c得到的工件半成品通过所述楔形凸台(310)和楔形凹槽(320)扣合在一起并通过夹具二夹紧,一端平面精车至要求尺寸,再精车出外圆(400);e、将两个由工序d得到的工件半成品通过所述楔形凸台(310)和楔形凹槽(320)扣合在一起并夹紧,所述外圆(400)一端精车出内孔一(510),另一端精车出内孔二(530),所述内孔一(510)和内孔二(530)之间精车内锥孔(520),其中所述内孔一(510)直径大于内孔二(530)直径;f、将两个由工序e得到的工件半成品通过所述楔形凸台(310)和楔形凹槽(320)扣合在一起并通过夹具三夹紧,所述内孔二(530)一端平面精车,再精车出外圆锥面(600)。2.根据权利要求1所述的一种籽晶夹头内套加工工艺,其特征在于,所述籽晶夹头内套在加工工序a、加工工序b和加工工序c中粗铣、精铣时都通过精密平口钳夹持。3.根据权利要求1所述的一种籽晶夹头内套加工工艺,其特征在于,工序b中,加工的所述矩形凸台(200)宽9mm、高5mm。4.根据权利要求1所述的一种籽晶夹头内套加工工艺,其特征在于,工序c中,工件半成品放置在夹具一的定位面上进行加工,所述夹具一的定位面与水平面呈12°夹角,精铣时铣刀水平进行作业,所述楔形凸台(310)和楔形凹槽(320)形状相互中心对称。5.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:武建刚,楚树恒,李世杰,靳立峰,刘春茂,高立岗,杨行,陈云亮,
申请(专利权)人:河北晶龙阳光设备有限公司,
类型:发明
国别省市:河北,13
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