一种便于维护的湿式制程机台的循环管路结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种便于维护的湿式制程机台的循环管路结构，包括外浴槽，外浴槽内设置内浴槽，循环管一端与内浴槽相连，另一端与外浴槽相连，循环管上设置有循环泵和过滤装置，过滤装置包括外壳，外壳上设置有密封盖，密封盖底部设置有沿其底部一周的密封凸起，外壳上端设置有与密封凸起相匹配的密封槽，密封槽底部设置有密封垫，外壳内两侧壁上设置有滑槽，滑槽内滑动设置有滑块，两滑块间连接有与外壳内腔相匹配的过滤芯；本实用新型专利技术在不需要将循环管路内的液体排干的情况下就能观察过滤芯的工作状态，减少过滤芯被异物损坏或阻塞的问题，过滤芯的清理维护方便，便于循环管路的维护。

【技术实现步骤摘要】
一种便于维护的湿式制程机台的循环管路结构
本技术涉及湿式制程设备领域，具体是一种便于维护的湿式制程机台的循环管路结构。
技术介绍
参照说明书附图1所示，现有技术的湿式制程机台的循环管路一般是由管路(Piping)、接头(fitting)、滤芯(filter)与过滤器外罩(Housing)组成，此设计不易确认滤芯的使用状态，如需确认或更换滤心时，需将槽内液体排空，才可進行相关作业。另外，在异物进入过滤器時，容易造成滤心损坏或阻塞问題。使得循环管路维护非常不便。
技术实现思路
针对上述不足，本技术的目的在于，提供一种在不需要将循环管路内的液体排干的情况下就能观察过滤芯的工作状态，减少过滤芯被异物损坏或阻塞的问题，便于过滤芯的清理维护的便于维护的湿式制程机台的循环管路结构。为实现上述目的，本技术提供以下技术方案：一种便于维护的湿式制程机台的循环管路结构，包括外浴槽、内浴槽、循环管、循环泵和过滤装置，外浴槽内设置内浴槽，循环管一端与内浴槽相连，另一端与外浴槽相连，循环管上设置有循环泵和过滤装置，过滤装置包括外壳，外壳上设置有密封盖，密封盖与外壳之间通过卡扣连接，密封盖底部设置有沿其底部一周的密封凸起本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于维护的湿式制程机台的循环管路结构，包括外浴槽(1)、内浴槽(2)、循环管(3)、循环泵(4)和过滤装置，外浴槽(1)内设置内浴槽(2)，循环管(3)一端与内浴槽(2)相连，另一端与外浴槽(1)相连，循环管(3)上设置有循环泵(4)和过滤装置，其特征在于：过滤装置包括外壳(5)，外壳(5)上设置有密封盖(6)，密封盖(6)与外壳(5)之间通过卡扣(7)连接，密封盖(6)底部设置有沿其底部一周的密封凸起(8)，外壳(5)上端设置有与密封凸起(8)相匹配的密封槽，密封槽底部设置有密封垫(9)，外壳(5)内两侧壁上设置有滑槽(10)，滑槽(10)内滑动设置有滑块(11)，两滑块(11)间连...

【技术特征摘要】
1.一种便于维护的湿式制程机台的循环管路结构，包括外浴槽(1)、内浴槽(2)、循环管(3)、循环泵(4)和过滤装置，外浴槽(1)内设置内浴槽(2)，循环管(3)一端与内浴槽(2)相连，另一端与外浴槽(1)相连，循环管(3)上设置有循环泵(4)和过滤装置，其特征在于：过滤装置包括外壳(5)，外壳(5)上设置有密封盖(6)，密封盖(6)与外壳(5)之间通过卡扣(7)连接，密封盖(6)底部设置有沿其底部一周的密封凸起(8)，外壳(5)上端...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏杰，罗文滨，
申请(专利权)人：安徽宏实自动化装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34