一种用于芯片加工的刻蚀机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于芯片加工的刻蚀机，包括储槽，所述储槽的上端通过支架安装有水平设置的把手，且储槽的下端胶接有固定块，固定块的下端插设有活动块，固定块与活动块之间胶接有第一弹簧，活动块上开设有凹槽，且固定块上开设有两个L型的导流槽，导流槽的下端与凹槽的匹配连接，并且固定块的外侧套接有防护罩，防护罩的下端为开口状，且防护罩的上端胶接有第二弹簧，第二弹簧的上端与储槽的下端胶接连接，刻蚀完毕后，向上慢慢移动把手，此时活动块与芯片分离，防护罩内部的刻蚀液在引风机的作用下被吸入到回收槽内，使得芯片上不会残留过多的刻蚀液，不容易造成刻蚀液的外泄，保护操作人员的健康。

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片加工的刻蚀机
本技术涉及芯片加工
，尤其涉及一种用于芯片加工的刻蚀机。
技术介绍
刻蚀是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。随着微制造工艺的发展，广义上来讲，刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称，成为微加工制造的一种普适叫法。湿法刻蚀由于成本较低，现在运用已经比较广泛，但酸液具有一定的腐蚀性，现有的刻蚀机结构简单，操作过程中很容易造成酸液的外泄，对人体造成损害。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于芯片加工的刻蚀机。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种用于芯片加工的刻蚀机，包括储槽，所述储槽的上端通过支架安装有水平设置的把手，且储槽的下端胶接有固定块，固定块的下端插设有活动块，固定块与活动块之间胶接有第一弹簧，活动块上开设有凹槽，且固定块上开设有两个L型的导流槽，导流槽的下端与凹槽的匹配连接，并且固定块的外侧套接有防护罩，防护罩的下端为开口状，且防护本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于芯片加工的刻蚀机，包括储槽（1），其特征在于，所述储槽（1）的上端通过支架安装有水平设置的把手（10），且储槽（1）的下端胶接有固定块（2），固定块（2）的下端插设有活动块（3），固定块（2）与活动块（3）之间胶接有第一弹簧（4），活动块（3）上开设有凹槽（5），且固定块（2）上开设有两个L型的导流槽（6），导流槽（6）的下端与凹槽（5）的匹配连接，并且固定块（2）的外侧套接有防护罩（7），防护罩（7）的下端为开口状，且防护罩（7）的上端胶接有第二弹簧（8），第二弹簧（8）的上端与储槽（1）的下端胶接连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片加工的刻蚀机，包括储槽（1），其特征在于，所述储槽（1）的上端通过支架安装有水平设置的把手（10），且储槽（1）的下端胶接有固定块（2），固定块（2）的下端插设有活动块（3），固定块（2）与活动块（3）之间胶接有第一弹簧（4），活动块（3）上开设有凹槽（5），且固定块（2）上开设有两个L型的导流槽（6），导流槽（6）的下端与凹槽（5）的匹配连接，并且固定块（2）的外侧套接有防护罩（7），防护罩（7）的下端为开口状，且防护罩（7）的上端胶接有第二弹簧（8），第二弹簧（8）的上端与储槽（1）的下端胶接连接。2.根据权利要求1所述的一种用于芯片加工的刻蚀机，其特征在于，所述防护罩（7）的下端开设有环形...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘勇，
申请(专利权)人：盐城赛威电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32