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本实用新型涉及一种便于维护的湿式制程机台的循环管路结构，包括外浴槽，外浴槽内设置内浴槽，循环管一端与内浴槽相连，另一端与外浴槽相连，循环管上设置有循环泵和过滤装置，过滤装置包括外壳，外壳上设置有密封盖，密封盖底部设置有沿其底部一周的密封凸起...
该专利属于安徽宏实自动化装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽宏实自动化装备有限公司授权不得商用。

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