可伸缩系统、自动升降平移系统技术方案

本发明专利技术提供了一种可伸缩系统、自动升降平移系统，可伸缩系统包括：一伸缩机构(301)、一伸缩驱动组件，在一控制器的驱动指令下，驱动伸缩机构(301)进行伸展动作或收缩，而无须额外设置机械手来进行搬运，简化了结构；还避免了传统空中传输轨道中采用垂直吊丝机构来取放物料盒的弊端，可以同时搬运装有多个物料盒的存储架，降低了成本，提高了传输效率。

【技术实现步骤摘要】
可伸缩系统、自动升降平移系统
本专利技术涉及半导体设备
，具体涉及一种可伸缩系统以及一种自动升降平移系统。
技术介绍
在一个追求高效率的生产车间里，通常会按照产品的生产工艺、环境要求、厂务要求等因素将工厂划分成数个生产区域。在制造过程中半成品必须在不同的生产区域中交叉穿梭的流动。为了提高生产效率和生产稳定性，工艺工程师通常会在每个生产区域内放置半成品，并且在生产物料的缓存区里安置自动化存储设备，从而确保生产物料的正确快速流动，并且保证不会由于人为因素、设备或者厂务维修等突发状况，造成生产线缺料而停顿生产的重大事故发生。在一个全自动的生产车间里，为提高运输效率，首先将半成品和生产用材料按批次、批量整齐的排放在特别设计的载具内，然后通过自动化传输手段，将“半成品”从上一个工段的生产区域自动传输到下一个工段的生产区域。传统半导体晶圆厂中，每25片晶圆片放在一个开放式花篮（cassette），或者是密闭式的盒子里，如承载8寸晶圆片的SMIFPod(StandardMechanicalInterFacePod)或者是12寸晶圆片的FOUP(FrontOpeningUnitPod）。而且，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可伸缩系统，其特征在于，包括：一伸缩机构(301)，进行伸展动作或收缩动作；一伸缩驱动组件，在控制器的驱动指令下，驱动所述伸缩机构(301)进行伸展动作或收缩动作；一控制器，控制伸缩驱动组件执行驱动指令。

【技术特征摘要】
1.一种可伸缩系统，其特征在于，包括：一伸缩机构(301)，进行伸展动作或收缩动作；一伸缩驱动组件，在控制器的驱动指令下，驱动所述伸缩机构(301)进行伸展动作或收缩动作；一控制器，控制伸缩驱动组件执行驱动指令。2.根据权利要求1所述的可伸缩系统，其特征在于，所述伸缩驱动组件具有一变形驱动机构和可变形传输部件；可变形传输部件连接于伸缩机构(301)和变形驱动机构之间；当所述伸缩机构(301)进行伸缩时，在控制器的控制下，变形驱动机构通过驱动可变形传输部件发生伸缩变形，来带动所述伸缩机构(301)进行伸缩。3.根据权利要求2所述的可伸缩系统，其特征在于，在控制器的控制下所述变形驱动机构驱动所述可变形传输部件发生弯曲变形或恢复形变，来带动所述伸缩机构(301)收缩或伸展。4.根据权利要求3所述的可伸缩系统，其特征在于，所述可变形传输部件至少包括一活动传输杆(501)和一导向传输杆(502)；导向传输杆(502)固定不动；活动传输杆(501)的两端分别为第一端和第二端；活动传输杆(501)的第一端转动连接于所述伸缩机构(301)上，活动传输杆(501)的第二端活动连接于导向传输杆(502)上，使得活动传输杆(501)的第二端能够沿导向传输杆(502)移动，以带动活动传输杆(501)的第一端沿水平方向移动，从而使活动传输杆(501)的第一端推动所述伸缩机构(301)向外伸展或拉动所述伸缩机构(301)向内收缩。5.根据权利要求4所述的可伸缩系统，其特征在于，所述变形驱动机构与所述导向传输杆(502)之间采用齿轮啮合驱动，活动传输杆(501)的第二端与导向传输杆(502)之间采用螺纹活动连接；变形驱动机构通过齿轮驱动导向传输杆(502)沿中心轴转动，导向传输杆(502)上转动的螺纹导致活动传输杆(501)的第二端沿所述导向传输杆(502)移动。6.根据权利要求5所述的可伸缩系统，其特征在于，所述第二端上设置有螺纹组件(504)，螺纹组件(504)固定于所述导向传输杆(502)上，且螺纹组件(504)的螺纹与导向传输杆(502)的螺纹配合连接。7.根据权利要求6所述的可伸缩系统，其特征在于，所述导向传输杆(502)上为外螺纹，所述螺纹组件(504)上为内螺纹。8.根据权利要求1所述的可伸缩系统，其特征在于，所述可伸缩系统还包括若干限位传感组件(L07)，用于限定所述伸缩机构(301)的伸展距离或收缩距离，以及判断伸缩机构(301)的伸展动作或者收缩动作是否到位，并且发送信号给控制器。9.根据权利要求1所述的可伸缩系统，其特征在于，所述伸缩机构(301)具有多节联动伸缩组件(L00)，从而通过多节联动伸缩动作实现所述伸缩机构(301)的伸缩。10.根据权利要求9所述的可伸缩系统，其特征在于，所述多节联动伸缩组件(L00)包括多层滑轨，每层滑轨的条数至少为两条，每条滑轨(L01)上对应套设有与之相配合的滑块(L02)；每条滑轨(L01)上套设的滑块(L02)还同时与相邻的滑轨(L01)固定连接；从而使得所述多节联动伸缩组件(L00)实现多节联动伸缩。11.根据权利要求10所述的可伸缩系统，其特征在于，所述滑轨(L01)的两端向内均设置有缓冲定位块(L03)，在滑轨(L01)移动过程中，缓冲定位块(L03)用于限定滑轨L01的移动距离以及释放滑轨(L01)端部对滑块(L02)的冲击。12.根据权利要求10所述的可伸缩系统，其特征在于，所述滑轨(L01)还连接有变形限定部件，所述变形限定部件与所述滑轨(L01)平行排列，用于限定滑轨(L01)在非滑轨延伸方向的任何方向的移动。13.一种自动升降平移系统，其特征在于，包括：一伸缩机构(301)，进行伸展动作或收缩动作；一升降机构，进行上升动作或下降动作；一驱动机构，在控制器的驱动指令下，驱动所述伸缩机构(301)进行伸展动作或收缩动作；并且还驱动升降机构进行上升动作或下降动作；一控制器，控制驱动机构执行驱动指令。14.根据权利要求13所述的自动升降平移系统，其特征在于，所述驱动机构包括一伸缩驱动组件和一升降驱动组件(302)；伸缩驱动组件在控制器的控制下驱动伸缩机构(301)进行伸展动作或收缩动作，升降驱动组件(302)在控制器的控制下驱动升降机构进行上升动作或下降动作。15.根据权利要求14所述的自动升降平移系统，其特征在于，所述伸缩驱动组件具有一变形驱动机构和可变形传输部件；可变形传输部件连接于伸缩机构(301)和变形驱动机构之间；当所述伸缩机构(301)进行伸缩时，在控制器的控制下，变形驱动机构通过驱动可变形传输部件发生伸缩变形，来带动所述伸缩机构(301)进行伸缩。16.根据权利要求15所述的自动升降平移系统，其特征在于，在控制器的控制下所述变形驱动机构驱动所述可变形传输部件发生弯曲变形或恢复形变，来带动所述伸缩机构(301)收缩或伸展。17.根据权利要求16所述的自动升降平移系统，其特征在于，所述传输部件包括至少活动传输杆(501)和导向传输杆(502)；导向传输杆(502)固定不动；活动传输杆(501)的两端分别为第一端和第二端；活动传输杆(501)的第一端转动连接于所述伸缩机构(301)上，活动传输杆(501)的第二端活动连接于导向传输杆(502)上，使得活动传输杆(501)的第二端能够沿导向传输杆(502)移动，以带动活动传输杆(501)的第一端沿水平方向移动，从...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴功，顾俊，
申请(专利权)人：上海大族富创得科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31