加工装置制造方法及图纸

提供加工装置，能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。该加工装置具有：操作面板，其显示输入晶片的加工条件的输入画面(66a)；以及控制单元，其对各构成要素进行控制，控制单元具有：输入画面登记部，其登记有输入画面(66a)；以及蒙版登记部，其按照每个输入画面(66a)登记蒙版(67a)，该蒙版(67a)将输入画面(66a)的规定的区域覆盖而使操作者的输入无法进行，当对蒙版登记部登记该蒙版(67a)时，对输入画面(66a)的要用蒙版覆盖的区域(85)和要去除蒙版的区域(86)进行指定并进行登记。

Processing device

Provide a processing device, which can reliably prevent the operator from incorrect input operation. The processing device has an operation panel, which displays the input screen (66a) of the processing conditions of the input chip, and a control unit, which controls the components. The control unit has an input screen registration department, which registers the input screen (66a) and a mask registration department, which registers the mask (67a) according to each input screen (66a), and the mask (67a) will input the screen (66a) according to the rules of each input screen (66a). When the mask registration department registers the mask (67a), the area covered by the mask (85) and the area removed from the mask (86) of the input screen (66a) are designated and registered.

【技术实现步骤摘要】
加工装置
本专利技术涉及加工装置，其具有显示输入画面的操作面板。
技术介绍
通常公知有如下的加工装置，利用卡盘工作台对各种半导体晶片、封装基板、陶瓷基板等板状的被加工物进行保持，并使用切削刀具、磨削磨具或激光束等对被加工物进行加工。这种加工装置中，为了对加工速度及加工区域等各种加工条件进行设定而具有操作面板，该操作面板具有触摸面板式的输入画面(例如，参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2009-117776号公报此外，在加工条件(数值、选项等)中，存在如下的条件：当变更条件时无法按照预期实施加工，例如产生导致晶片破损等的致命的加工不良。因此，设想了如下的构成：为了在通常的生产(加工)时抑制操作者错误地变更加工条件，设置成能够设定所谓的屏幕保护(screensaver)那样的锁定画面，使操作者无法对输入画面整体进行输入。但是，在生产(加工)时，虽然较少但仍需要对输入画面的输入操作，因此在设定上述锁定画面的构成中，每当需要进行输入操作时，要解除锁定画面的设定，因此存在无法可靠地防止错误的输入操作的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供加工装置，能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。为了解决上述课题并实现目的，本专利技术是加工装置，其具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；操作面板，其显示输入该被加工物的加工条件的输入画面；以及控制单元，其对各构成要素进行控制，该加工装置的特征在于，该控制单元具有：输入画面登记部，其登记有多个该输入画面；以及蒙版登记部，其按照每个该输入画面而登记蒙版，该蒙版将该输入画面的规定的区域覆盖而使操作者的输入无法实现，当对该蒙版登记部登记该蒙版时，对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域进行指定而进行登记。根据该构成，能够在各输入画面的期望的区域分别设定蒙版，因此能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。另外，利用输入画面中的未设定蒙版的区域能够实现所需最低限度的输入操作，能够实现操作者的作业性的提高。在该构成中，也可以是，当对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域进行指定时，对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域的角部进行指定而进行登记。另外，也可以是，当指定该输入画面中的预先确定的特定区域作为要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域时，对该特定区域内的一部分进行指定而进行登记。另外，也可以是，在该输入画面中显示切换按钮，该切换按钮将显示切换成蒙遮画面或标准画面，其中，该蒙遮画面在该输入画面上重叠显示该蒙版，该标准画面不在该输入画面上重叠显示该蒙版。另外，也可以是，对该蒙版的颜色的浓淡进行调整，从而设定隔着该蒙版而显示的该输入画面的视觉辨认性。根据本专利技术，能够在各输入画面的期望的区域分别设定蒙版，因此能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。另外，利用输入画面中的未设定蒙版的区域能够实现所需最低限度的输入操作，能够实现操作者的作业性的提高。附图说明图1是示出本实施方式的激光加工装置的构成例的图。图2是示出显示面板的构成例的图。图3是控制单元的功能框图。图4是示出输入画面的一例的图。图5是对设定蒙版时的动作顺序进行说明的图。图6是对设定蒙版时的动作顺序进行说明的图。图7是对设定蒙版时的动作顺序进行说明的图。图8是对设定蒙版时的动作顺序进行说明的图。图9是对设定蒙版时的动作顺序进行说明的图。图10是对调整蒙版的浓度时的动作顺序进行说明的图。图11是对解除蒙版时的动作顺序进行说明的图。标号说明1：激光加工装置(加工装置)；10：卡盘工作台；20：激光光线照射部(加工单元)；60：控制单元；61：控制部；62：输入画面登记部；63：显示控制部；64：触摸面板控制部；65：蒙版登记部；66a～66c：输入画面；67a～67c：蒙版；70：操作面板；71：显示面板；73：液晶驱动电路基板；74：液晶面板；75：触摸面板；82a：Enter键(特定区域)；82b：Exit键(特定区域)；83a：设定/解除键；83b：切换键(切换按钮)；85：蒙版区域(要用蒙版覆盖的区域)；85a、85b：角部；86：要去除蒙版的区域；86a、86b：角部；88：密码输入框；90：蒙遮画面；91：标准画面；100：晶片(被加工物)。具体实施方式参照附图，对用于实施本专利技术的方式(实施方式)进行详细的说明。本专利技术并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的构成可以适当组合。另外，可以在不脱离本专利技术的主旨的范围内进行构成的各种省略、置换或变更。图1是示出本实施方式的激光加工装置的构成例的图。图2是示出显示面板的构成例的图。图3是控制单元的功能框图。如图1所示，激光加工装置(加工装置)1具有卡盘工作台10和激光光线照射部(加工单元)20。激光加工装置1进行激光加工，例如从激光光线照射部20对卡盘工作台10所保持的晶片(被加工物)100照射激光光线，将晶片100分割成规定的大小的器件芯片(未图示)。晶片100例如是半导体晶片或光器件晶片。在晶片100的正面上呈格子状形成有多条间隔道(分割预定线)，在由这些间隔道划分的各区域分别形成有器件。另外，晶片100以通过粘接带101保持于环状的框架102的晶片单元103的形态进行加工和搬送。激光加工装置1具有：X轴移动单元(加工进给单元)30，其使卡盘工作台10沿着X轴方向(加工进给方向)移动；以及Y轴移动部(分度进给单元)40，其使卡盘工作台10沿着Y轴方向(分度进给方向)移动。由此，构成为能够使卡盘工作台10和激光光线照射部20在上述的X轴方向和Y轴方向上分别相对移动。激光加工装置1具有盒载置台51，其载置对激光加工前后的晶片100(晶片单元103)进行收纳的盒50。另外，激光加工装置1具有保护膜形成兼清洗部52，该保护膜形成兼清洗部52在激光加工前的晶片100上形成保护膜，并且将保护膜从激光加工后的晶片100去除。另外，激光加工装置1具有：搬送单元53，其将晶片单元103搬送至上述的各部位；控制单元60，其对激光加工装置1的动作整体进行控制；以及操作面板70，其对该控制单元60进行各种信息的输入操作。该操作面板70具有：显示面板71，其能够输入各种信息，并且显示各种信息；以及框架72，其对该显示面板71进行保持。在对晶片100进行激光加工时，卡盘工作台10对晶片单元103进行保持。卡盘工作台10具有：保持面11，其对晶片单元103进行载置并进行吸引；以及夹持部12，在该保持面11的外周侧配置有多个该夹持部12而对框架102进行固定。激光光线照射部20固定于装置主体2的壁部3，朝向卡盘工作台10所保持的晶片100(晶片单元103)照射激光光线。激光光线照射部20具有：振荡器(未图示)，其振荡出激光光线；聚光器(未图示)，其对该振荡器所振荡出的激光光线进行会聚；以及照射头21，其将所会聚的激光光线朝向晶片100照射。振荡器根据晶片100的种类、加工方式等，按照预先设定的加工条件对要振荡的激光光线的波长(频率)、输出、重复频率进行适当调整。照射头21能够通过聚光器等光学系统在Z轴方向(铅垂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加工装置，其具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；操作面板，其显示输入该被加工物的加工条件的输入画面；以及控制单元，其对各构成要素进行控制，该加工装置的特征在于，该控制单元具有：输入画面登记部，其登记有多个该输入画面；以及蒙版登记部，其按照每个该输入画面而登记蒙版，该蒙版将该输入画面的规定的区域覆盖而使操作者的输入无法进行，当对该蒙版登记部登记该蒙版时，对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域进行指定而进行登记。

【技术特征摘要】
2017.07.05 JP 2017-1319961.一种加工装置，其具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；操作面板，其显示输入该被加工物的加工条件的输入画面；以及控制单元，其对各构成要素进行控制，该加工装置的特征在于，该控制单元具有：输入画面登记部，其登记有多个该输入画面；以及蒙版登记部，其按照每个该输入画面而登记蒙版，该蒙版将该输入画面的规定的区域覆盖而使操作者的输入无法进行，当对该蒙版登记部登记该蒙版时，对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域进行指定而进行登记。2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，当对该输入画面的要用该蒙版覆盖的...

【专利技术属性】
技术研发人员：远藤智章，高乘佑，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本,JP