一种集成模板制备装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种集成模板制备装置，包括加工机体以及设置在所述加工机体内左右贯通的输送腔，所述加工机体内自左而右依次设有开口向下且与所述输送腔连通的金属溅镀腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一导滑槽，所述加工机体内设有开口向上且与所述输送腔连通的第二导滑槽，所述第二导滑槽前后内壁内连通设有相对称且沿所述第二导滑槽延伸的导轨槽，所述第二导滑槽后端内壁上设有位于所述金属溅镀腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一导滑槽中心线正下方的第一位移感应器；本发明专利技术结构简单，操作方便，加工精准，同时，提高了集成芯片加工效率以及效果。

An Integrated Template Fabrication Device

The invention discloses an integrated template preparation device, which comprises a processing body and a conveying chamber arranged in the processing body to run through left and right. The processing body is provided with a metal sputtering chamber, a coating photoresist chamber, a photolithography chamber and a first sliding groove connected with the conveying chamber from left to right in turn. The processing body is provided with an opening up and connected with the conveying chamber. Through the second guide chute, the inner wall of the second guide chute is connected with a relatively symmetrical guide chute extending along the second guide chute, and the inner wall of the rear end of the second guide chute is provided with a first displacement inductor positioned directly below the metal sputtering cavity, the coated photoresist cavity, the photoetching cavity and the center line of the first guide chute. At the same time, the efficiency and effect of integrated chip processing are improved.

【技术实现步骤摘要】
一种集成模板制备装置
本专利技术涉及集成芯片加工
，具体是一种集成模板制备装置。
技术介绍
目前集成芯片已经成为全球电子产品必备核心电子元件，对于集成芯片的加工也具有一定的严格要求，一般的、传统的集成芯片封装设备采用粗糙的加工程序，操作复杂，会造成不可挽回的效果，各个工艺之间配合不恰当，影响芯片性能，同时，由于加工位置不稳定，导致各个工艺效果不佳，各层电路之间断裂或者短路等现象，因此，目前急需一种集成模板制备装置。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种集成模板制备装置，其能够解决上述现在技术中的问题。本专利技术是通过以下技术方案来实现的：本专利技术的一种集成模板制备装置，包括加工机体以及设置在所述加工机体内左右贯通的输送腔，所述加工机体内自左而右依次设有开口向下且与所述输送腔连通的金属溅镀腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一导滑槽，所述加工机体内设有开口向上且与所述输送腔连通的第二导滑槽，所述第二导滑槽前后内壁内连通设有相对称且沿所述第二导滑槽延伸的导轨槽，所述第二导滑槽后端内壁上设有位于所述金属溅镀腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一导滑槽中心线正下方的第一位移感应器，所述第二导滑槽内滑动配合连接有芯片基底固定台，所述芯片基底固定台顶部设有开口向上的固件槽，所述芯片基底固定台内设有第一空腔，所述第一空腔内设有窝动驱动机构，所述芯片基底固定台后端端面上设有用以与所述第一位移感应器相感应的第二位移感应器，所述金属溅镀腔内周向连通设有环形槽，所述环形槽内滑动配合连接有内齿空心转轮，所述金属溅镀腔顶部内壁内嵌设有第一电动机，所述第一电动机底部末端动力连接有用以与所述内齿空心转轮齿合连接的齿转轮，所述内齿空心转轮内固定连接有位于所述齿转轮底部的固定块，所述固定块内设有开口向下的第三导滑槽，所述第三导滑槽内滑动配合连接有第一导滑块，所述第一导滑块内螺纹配合连接有左右延伸的调节螺纹杆，所述调节螺纹杆右端延伸末端与所述第三导滑槽右端内壁转动配合连接，所述调节螺纹杆左端延伸末端动力连接有第二电动机，所述第二电动机外表面嵌设于所述第三导滑槽左端内壁内且与之固定连接，所述第一导滑块内嵌设有第一液压机，所述第一液压机底部末端动力连接有向下延伸的第一液压伸缩杆，所述第一液压伸缩杆底部固定连接有金属溅镀头组件，所述涂布光阻腔顶部内壁内嵌设有第二液压机，所述第二液压机底部末端动力连接有向下延伸的第二液压伸缩杆，所述第二液压伸缩杆底部延伸末端固定连接有光阻材料储存体，所述光阻储存体底部端面设有毛刷，所述光刻腔内顶部内壁内上设有光源，所述光刻腔内设有位于所述光源底部的石英玻璃片，所述石英玻璃片上自下而上依次镀有金属铬和感光胶，所述第一导滑槽内滑动配合连接有离子束刻蚀机体，所述离子束刻蚀机体顶部端面内嵌设有第三电动机，所述第一导滑槽顶部内壁体内螺纹配合连接有上下延伸的升降螺纹杆，所述升降螺纹杆底部延伸末端伸进所述第一导滑槽内并与所述第三电动机顶部末端动力连接，所述离子束刻蚀机体内设有开口向下的离子束腔，所述离子束腔顶部内壁内嵌设有喷射口向下的离子束发射机，所述离子束腔左右内壁上设有相对应的引出加速系统所述离子束腔内设有位于所述引出加速系统底部的自动定位刻蚀系统，所述离子束刻蚀机体内设有位于所述离子束腔左端内壁内的抽气泵，所述抽气泵右端末端与所述离子束腔连通，所述加工机体左侧端面还设置有照明装置。作为优选地技术方案，窝动驱动机构包括设置在所述第一空腔内前后延伸且与涡轮固定连接的第一转动轴以及嵌设在所述第一空腔左端内壁内的第四电动机，所述第四电动机右端末端动力连接向右延伸的涡杆，所述涡杆右端延伸末端与所述第一空腔右端内壁转动配合连接，所述涡杆位于所述涡轮顶部并与之动力连接，所述第一转动轴前后延伸末端贯穿并伸出所述芯片基底固定台前后端面，所述第一转动轴前后延伸末端固定连接有用以与所述轨道槽动力连接且相对称的齿轮，所述芯片基底固定台内设有位于所述第四电动机左端的位移控制器，所述位移控制器与所述第四电动机和位移感应器电联。作为优选地技术方案，金属溅镀头组件包括固定连接在所述第一液压伸缩杆底部末端的金属粉末储存体以及与设置在所述金属粉末储存体左端且上下延伸的喷射管，所述金属粉末储存体内设有金属粉末储存腔，所述第一液压伸缩杆内设有上下延伸并与所述金属粉末腔连通的第一吸附管，所述第一液压伸缩杆内设有与所述第一吸附管连通且向左延伸第二吸附管，所述第二吸附管左端延伸末端与所述喷射管右端连通，所述喷射管顶部末端设有第五电动机，所述第五电动机底部末端动力连接有位于所述喷射管内的出气叶片。作为优选地技术方案，自动定位刻蚀系统包括固定连接在所述离子束腔内壁上的支撑板以及设置在所述支撑板内的开口向下的圆形凹槽，所述圆形凹槽顶部内壁上设有永磁铁，所述永磁铁底部磁力连接有永磁块，所述圆形凹槽周向内壁上设有间隔相等若干电磁铁，所述电磁铁与所述永磁块动力连接，所述离子束刻蚀机体内设有位于所述支撑板右端的电磁智能控制器，所述电磁智能控制器与所述电磁铁电联，所述永磁块内设有喷口向下的离子束喷水头，所述离子束喷水头右端连通设有金属软管，所述圆形凹槽顶部内内壁内贯通设有连通管，所述连通管与所述金属软管另一端连通连接。作为优选地技术方案，所述照明装置包括固定安装在所述加工机体左侧端面上侧位置处的灯架体，所述灯架体左侧端面固设有照明灯体。本专利技术的有益效果是：由于本专利技术设备在初始状态时，所述芯片基底固定台位于所述输送槽最左端，所述第一导滑块位于所述第三导滑槽中部，所述第一液压伸缩杆收缩至最短状态，使所述金属溅镀头组件完全位于所述金属溅渡腔内，所述第二液压伸缩杆收缩至最短状态，使所述光阻材料储存体完全位于光阻涂布腔内，所述光源关闭状态，所述离子束蚀刻机体位于所述第一导滑槽最顶部，所述永磁块位于所述圆形凹槽中心，从而利于装置的维护和保养。当需要用本专利技术设备加工集成芯片工作时，在所述固件槽内放置半导体集成圆片，启动所述第四电动机，所述第四电动机带动所述涡杆转动，所述涡杆带动所述涡轮转动，所述涡轮带动所述第一转动轴转动，所述第一转动轴带动所述齿轮转动，从而驱动芯片基底固定座右移，当所述第二位移感应器与位于所述金属溅渡腔下方的所述第一位移感应器相抵接时，所述位移控制器控制所述第四电动机停止运转，同时，启动所述第一液压机使所述第一液压杆伸长，所述第一液压杆带动所述金属溅渡头接近所述半导体集成圆片，控制所述第一液压机停止运转，此时，启动所述第一电动机、所述第二电动机和所述第五电动机，使所述金属溅渡头组件在半导体集成圆片上方空间内最大范围溅渡金属，从而增加金属材料的溅渡效率和效果。当完成金属溅渡后需要涂布光阻时，启动所述第四电动机急需带动所述芯片基底固定座右移，当位于光阻涂布腔正下方时，控制所述第四电动机停止转动，同时，启动所述第二液压机运转使光阻材料储存体下移当所述毛刷接触到所述半导体半圆片时，开始涂刷光阻，从而提高了光阻涂布的效果和效率。当完成光阻涂布需要光罩时，所述第四电动机带动所述芯片基底固定座继续移动至所述光罩腔正下方时，启动所述光源开始光刻，将不需要的光阻材料破坏，从而提高了提高了光阻材料的去除精准度。当完成光罩需要离子束刻蚀时，所述第四电动机带动所述芯片基底固定座继续移动至所述第一导滑槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成模板制备装置，包括加工机体以及设置在所述加工机体内左右贯通的输送腔，其特征在于：所述加工机体内自左而右依次设有开口向下且与所述输送腔连通的金属溅镀腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一导滑槽，所述加工机体内设有开口向上且与所述输送腔连通的第二导滑槽，所述第二导滑槽前后内壁内连通设有相对称且沿所述第二导滑槽延伸的导轨槽，所述第二导滑槽后端内壁上设有位于所述金属溅镀腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一导滑槽中心线正下方的第一位移感应器，所述第二导滑槽内滑动配合连接有芯片基底固定台，所述芯片基底固定台顶部设有开口向上的固件槽，所述芯片基底固定台内设有第一空腔，所述第一空腔内设有窝动驱动机构，所述芯片基底固定台后端端面上设有用以与所述第一位移感应器相感应的第二位移感应器，所述金属溅镀腔内周向连通设有环形槽，所述环形槽内滑动配合连接有内齿空心转轮，所述金属溅镀腔顶部内壁内嵌设有第一电动机，所述第一电动机底部末端动力连接有用以与所述内齿空心转轮齿合连接的齿转轮，所述内齿空心转轮内固定连接有位于所述齿转轮底部的固定块，所述固定块内设有开口向下的第三导滑槽，所述第三导滑槽内滑动配合连接有第一导滑块，所述第一导滑块内螺纹配合连接有左右延伸的调节螺纹杆，所述调节螺纹杆右端延伸末端与所述第三导滑槽右端内壁转动配合连接，所述调节螺纹杆左端延伸末端动力连接有第二电动机，所述第二电动机外表面嵌设于所述第三导滑槽左端内壁内且与之固定连接，所述第一导滑块内嵌设有第一液压机，所述第一液压机底部末端动力连接有向下延伸的第一液压伸缩杆，所述第一液压伸缩杆底部固定连接有金属溅镀头组件，所述涂布光阻腔顶部内壁内嵌设有第二液压机，所述第二液压机底部末端动力连接有向下延伸的第二液压伸缩杆，所述第二液压伸缩杆底部延伸末端固定连接有光阻材料储存体，所述光阻储存体底部端面设有毛刷，所述光刻腔内顶部内壁内上设有光源，所述光刻腔内设有位于所述光源底部的石英玻璃片，所述石英玻璃片上自下而上依次镀有金属铬和感光胶，所述第一导滑槽内滑动配合连接有离子束刻蚀机体，所述离子束刻蚀机体顶部端面内嵌设有第三电动机，所述第一导滑槽顶部内壁体内螺纹配合连接有上下延伸的升降螺纹杆，所述升降螺纹杆底部延伸末端伸进所述第一导滑槽内并与所述第三电动机顶部末端动力连接，所述离子束刻蚀机体内设有开口向下的离子束腔，所述离子束腔顶部内壁内嵌设有喷射口向下的离子束发射机，所述离子束腔左右内壁上设有相对应的引出加速系统所述离子束腔内设有位于所述引出加速系统底部的自动定位刻蚀系统，所述离子束刻蚀机体内设有位于所述离子束腔左端内壁内的抽气泵，所述抽气泵右端末端与所述离子束腔连通，所述加工机体左侧端面还设置有照明装置。...

【技术特征摘要】
1.一种集成模板制备装置，包括加工机体以及设置在所述加工机体内左右贯通的输送腔，其特征在于：所述加工机体内自左而右依次设有开口向下且与所述输送腔连通的金属溅镀腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一导滑槽，所述加工机体内设有开口向上且与所述输送腔连通的第二导滑槽，所述第二导滑槽前后内壁内连通设有相对称且沿所述第二导滑槽延伸的导轨槽，所述第二导滑槽后端内壁上设有位于所述金属溅镀腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一导滑槽中心线正下方的第一位移感应器，所述第二导滑槽内滑动配合连接有芯片基底固定台，所述芯片基底固定台顶部设有开口向上的固件槽，所述芯片基底固定台内设有第一空腔，所述第一空腔内设有窝动驱动机构，所述芯片基底固定台后端端面上设有用以与所述第一位移感应器相感应的第二位移感应器，所述金属溅镀腔内周向连通设有环形槽，所述环形槽内滑动配合连接有内齿空心转轮，所述金属溅镀腔顶部内壁内嵌设有第一电动机，所述第一电动机底部末端动力连接有用以与所述内齿空心转轮齿合连接的齿转轮，所述内齿空心转轮内固定连接有位于所述齿转轮底部的固定块，所述固定块内设有开口向下的第三导滑槽，所述第三导滑槽内滑动配合连接有第一导滑块，所述第一导滑块内螺纹配合连接有左右延伸的调节螺纹杆，所述调节螺纹杆右端延伸末端与所述第三导滑槽右端内壁转动配合连接，所述调节螺纹杆左端延伸末端动力连接有第二电动机，所述第二电动机外表面嵌设于所述第三导滑槽左端内壁内且与之固定连接，所述第一导滑块内嵌设有第一液压机，所述第一液压机底部末端动力连接有向下延伸的第一液压伸缩杆，所述第一液压伸缩杆底部固定连接有金属溅镀头组件，所述涂布光阻腔顶部内壁内嵌设有第二液压机，所述第二液压机底部末端动力连接有向下延伸的第二液压伸缩杆，所述第二液压伸缩杆底部延伸末端固定连接有光阻材料储存体，所述光阻储存体底部端面设有毛刷，所述光刻腔内顶部内壁内上设有光源，所述光刻腔内设有位于所述光源底部的石英玻璃片，所述石英玻璃片上自下而上依次镀有金属铬和感光胶，所述第一导滑槽内滑动配合连接有离子束刻蚀机体，所述离子束刻蚀机体顶部端面内嵌设有第三电动机，所述第一导滑槽顶部内壁体内螺纹配合连接有上下延伸的升降螺纹杆，所述升降螺纹杆底部延伸末端伸进所述第一导滑槽内并与所述第三电动机顶部末端动力连接，所述离子束刻蚀机体内设有开口向下的离子束腔，所述离子束腔顶部内壁内嵌设有喷射口向下的离子束发射机，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张叶莎，
申请(专利权)人：宁海利航机电设备设计有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33