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本发明公开了一种集成模板制备装置，包括加工机体以及设置在所述加工机体内左右贯通的输送腔，所述加工机体内自左而右依次设有开口向下且与所述输送腔连通的金属溅镀腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一导滑槽，所述加工机体内设有开口向上且与所述输送腔连通的第二...
该专利属于宁海利航机电设备设计有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁海利航机电设备设计有限公司授权不得商用。

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