表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和计算机可读介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和计算机可读介质。根据本发明专利技术的表面纹理测量装置包括：表面纹理检测组件，用于输出可测量对象的表面纹理的测量结果，其中所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述可测量对象的表面时该触针的移动变化；姿势检测传感器，用于检测作为所述检测器进行测量时的姿势的测量姿势；存储器组件，其预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值；以及校正组件，用于将所述测量姿势与所述存储器组件中所存储的多个姿势进行比较、并使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值来校正所述测量结果。

Surface Texture Measurement Device, Surface Texture Measurement System and Computer Readable Media

The invention relates to a surface texture measuring device, a surface texture measuring system and a computer readable medium. According to the present invention, a surface texture measurement device includes: a surface texture detection component for outputting a measurement result of the surface texture of a measurable object, which is identified as the movement change of the stylus when tracking the surface of the measurable object with the stylus of the detector; and a posture detection sensor for detecting the posture when measuring as the detector. A measurement posture; a memory component, which preloads a correction value corresponding to each of the postures in a plurality of postures; and a correction component for comparing the measurement posture with the plurality of postures stored in the memory component, and correcting the measurement results using a correction value corresponding to the posture equivalent to the measurement posture.

【技术实现步骤摘要】
表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和计算机可读介质
本专利技术涉及能够根据测量期间的姿势来校正测量值的表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和程序。
技术介绍
表面纹理测量装置是使用设置有触针的检测器来扫描测量对象的表面、并测量测量对象的表面纹理(例如，粗糙度或起伏等)的装置(参见例如日本特开2011-169616)。具体地，使触针与测量对象的表面(直角坐标系中的XY平面)相接触，然而使该触针例如沿X方向位移，并且在该位移期间，检测器检测由测量对象的表面的凹凸引起的、触针沿垂直方向(Z轴方向)的移动。这种移动贝表示为X轴方向上的位移距离的函数，因而使得能够识别表示表面纹理的各种参数。由于触针在测量对象的表面的接触基于重力，因此表面纹理测量装置是以水平角度使用该装置为前提而设计的，并且在该前提下确保指定的测量精度。然而，实际上，小型手持式表面纹理测量装置特别地用于室内和室外的各个位置、并且通常以非水平角度使用。在这种情况下，为了进行精确测量，采用了如下的方法，其中使用粗糙度标准样本以实际测量测量对象的姿势来进行校准测量，并且一旦识别出该姿势的测量误差，就使用该信息来校正测量对象的表面纹理的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种表面纹理测量装置，包括：表面纹理检测器，用于输出可测量对象的表面纹理的测量结果，其中所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述可测量对象的表面时所述触针的移动变化；姿势检测传感器，用于对作为所述检测器进行测量时的姿势的测量姿势进行检测；存储器，其预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值；以及校正比较器，用于将所述测量姿势与所述存储器中所存储的多个姿势进行比较，并且使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值来校正所述测量结果。

【技术特征摘要】
2017.06.23 JP 2017-1237351.一种表面纹理测量装置，包括：表面纹理检测器，用于输出可测量对象的表面纹理的测量结果，其中所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述可测量对象的表面时所述触针的移动变化；姿势检测传感器，用于对作为所述检测器进行测量时的姿势的测量姿势进行检测；存储器，其预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值；以及校正比较器，用于将所述测量姿势与所述存储器中所存储的多个姿势进行比较，并且使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值来校正所述测量结果。2.根据权利要求1所述的表面纹理测量装置，其中，所述姿势检测传感器被配置为能够安装和拆卸。3.根据权利要求1所述的表面纹理测量装置，其中，还包括振动检测传感器，所述振动检测传感器用于检测作用于所述检测器上的振动的大小，其中在所述表面纹理的测量期间的振动的大小超过预定阈值的情况下，所述表面纹理检测器停止测量。4.根据权利要求2所述的表面纹理测量装置，其中，还包括振动检测传感器，所述振动检测传感器用于检测作用于所述检测器上的振动的大小，其中在所述表面纹理的测量期间的振动的大小超过预定阈值的情况下，所述表面纹理检测器停止测量。5.根据权利要求3所述的表面纹理测量装置，其中，所述振动检测传感器被配置为能够安装和拆卸。6.根据权利要求4所述的表面纹理测量装置，其中，所述振动检测传感器被配置为能够安装和拆卸。7.一种表面纹理测量系统，包括：表面纹理测量仪；以及外部通信接口，其能够安装至所述表面纹理测量仪，其中，在接收到来自所述外部通信接口的命令时，所述表面纹理测量仪将可测量对象的表面纹理的测量结果发送至所述外部通信接口，其中所述测量结果被识别为在利...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿部信策，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本,JP