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本发明涉及一种表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和计算机可读介质。根据本发明的表面纹理测量装置包括：表面纹理检测组件，用于输出可测量对象的表面纹理的测量结果，其中所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述可测量对象的表面时该触针的移动变...
该专利属于株式会社三丰所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社三丰授权不得商用。

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