一种用于真空室的分子泵小车制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空室的分子泵小车，包括车体、前级泵、进气机构和分子泵，所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述前级泵的出气端通过所述进气机构与所述分子泵的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口，所述进气机构包括外筒、内筒、第一盖板和第二盖板，所述内筒的周壁设有进气通孔。气体从前级泵流出后从内筒的进气端进入内筒内，然后经进气通孔进入进气腔，再从进气腔进入分子泵内，微粒进入分子泵后会被高速转动的叶片撞击从分子泵飞出撞到微粒收集机构上，通过微粒收集机构清除气流中大量微粒的同时不会降低气体的流量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空室的分子泵小车
本技术属于分子泵
，具体地说，涉及一种用于真空室的分子泵小车。
技术介绍
半导体蚀刻等生产工艺需要在真空室下进行，而分子泵是构建真空室的核心部件。许多工艺生产过程中会在真空室内产生大量的微粒，这些微粒随气体被吸入分子泵时，部分微粒会被高速旋转的叶片反弹，这导致微粒蓄积在分子泵的吸气口上游，容易引发安全事故。常规解决办法是在分子泵的进气前端设置过滤装置，但过滤装置会极大地降低进气速度，极大地影响前级泵的吸气效率。此外，常规分子泵都是固定设置，用户若想移动设备比较麻烦，需对各个部件逐一拆卸再重新安装，耗时费力；反复拆装对波纹管及阀门等管件的密封性也有一定的损伤，降低设备的性能参数。
技术实现思路
针对现有技术中上述的不足，本技术提供一种用于真空室的分子泵小车，在传统分子泵的吸气口设置微粒收集机构，通过微粒收集机构对蓄积的微粒进行收集，并将分子泵设在可移动的小车上，便于移动。为了达到上述目的，本技术采用的解决方案是：一种用于真空室的分子泵小车，包括车体、前级泵、进气机构和分子泵，所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述前级泵的出气端通过所述进气机构与所述分子本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空室的分子泵小车，其特征是：包括车体、前级泵、进气机构和分子泵，所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述前级泵的出气端通过所述进气机构与所述分子泵的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口，所述进气机构包括外筒、内筒、第一盖板和第二盖板，所述外筒和所述内筒均为两端开口的圆柱体形，所述内筒的周壁设有进气通孔，所述内筒的端面直径小于所述外筒的端面直径，所述内筒设于所述外筒内，所述内筒的中心轴线与所述外筒的中心轴线平行，所述内筒与所述外筒围成环形的进气腔，所述第一盖板盖设于所述进气腔的一端，所述进气腔的另一端与所述分子泵的吸气口连通，所述第二盖板盖设于所述内筒的远离所述第一...

【技术特征摘要】
1.一种用于真空室的分子泵小车，其特征是：包括车体、前级泵、进气机构和分子泵，所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述前级泵的出气端通过所述进气机构与所述分子泵的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口，所述进气机构包括外筒、内筒、第一盖板和第二盖板，所述外筒和所述内筒均为两端开口的圆柱体形，所述内筒的周壁设有进气通孔，所述内筒的端面直径小于所述外筒的端面直径，所述内筒设于所述外筒内，所述内筒的中心轴线与所述外筒的中心轴线平行，所述内筒与所述外筒围成环形的进气腔，所述第一盖板盖设于所述进气腔的一端，所述进气腔的另一端与所述分子泵的吸气口连通，所述第二盖板盖设于所述内筒的远离所述第一盖板的一端，所述第一盖板靠近所述第二盖板的一侧设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈禹，
申请(专利权)人：成都博莱特流体控制工程有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51