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本实用新型公开了一种用于真空室的分子泵小车，包括车体、前级泵、进气机构和分子泵，所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述前级泵的出气端通过所述进气机构与所述分子泵的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口，所述进气机构包括外筒、...
该专利属于成都博莱特流体控制工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都博莱特流体控制工程有限公司授权不得商用。

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