一种分子泵小车制造技术

本实用新型专利技术公开了一种分子泵小车，包括车体、外壳体、前级泵、进气机构和分子泵，所述外壳体、所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述外壳体为密封的箱体结构，所述分子泵设于所述外壳体内，所述分子泵的出气管伸出所述外壳体，所述前级泵的出气端与所述外壳体的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口。从前级泵排出的气体先进入外壳体内，然后气体穿过防护网经S形进气道后再进入分子泵内，微粒进入分子泵后会被高速转动的叶片撞击从分子泵飞出撞到微粒收集机构上，通过微粒收集机构清除蓄积的微粒，同时不会降低气体的流量。

【技术实现步骤摘要】
一种分子泵小车
本技术属于分子泵
，具体地说，涉及一种分子泵小车。
技术介绍
半导体蚀刻等生产工艺需要在真空室下进行，而分子泵是构建真空室的核心部件。许多工艺生产过程中会在真空室内产生大量的微粒，这些微粒随气体被吸入分子泵时，部分微粒会被高速旋转的叶片反弹，这导致微粒蓄积在分子泵的吸气口上游，容易引发安全事故。常规解决办法是在分子泵的进气前端设置过滤装置，但过滤装置会极大地降低进气速度，极大地影响前级泵的吸气效率。此外，常规分子泵都是固定设置，用户若想移动设备比较麻烦，需对各个部件逐一拆卸再重新安装，耗时费力；反复拆装对波纹管及阀门等管件的密封性也有一定的损伤，降低设备的性能参数。
技术实现思路
针对现有技术中上述的不足，本技术提供一种分子泵小车，在传统分子泵的吸气口设置微粒收集机构，通过微粒收集机构对蓄积的微粒进行收集，并将分子泵设在可移动的小车上，便于移动。为了达到上述目的，本技术采用的解决方案是：一种分子泵小车，包括车体、外壳体、前级泵、进气机构和分子泵，所述外壳体、所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述外壳体为密封的箱体结构，所述分子泵设于所述外壳体内，所述分子泵的出气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分子泵小车，其特征是：包括车体、外壳体、前级泵、进气机构和分子泵，所述外壳体、所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述外壳体为密封的箱体结构，所述分子泵设于所述外壳体内，所述分子泵的出气管伸出所述外壳体，所述前级泵的出气端与所述外壳体的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口，所述进气机构包括第一板体、第二板体和圆柱体形的防护网，所述第一板体与所述第二板体平行，所述第一板体通过所述防护网与所述第二板体固定连接，所述第二板体的中部设有与所述分子泵吸气口连通的出气通孔，所述第一板体靠近所述第二板体的一侧设有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板均为体形且高度相等，所述第...

【技术特征摘要】
1.一种分子泵小车，其特征是：包括车体、外壳体、前级泵、进气机构和分子泵，所述外壳体、所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述外壳体为密封的箱体结构，所述分子泵设于所述外壳体内，所述分子泵的出气管伸出所述外壳体，所述前级泵的出气端与所述外壳体的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口，所述进气机构包括第一板体、第二板体和圆柱体形的防护网，所述第一板体与所述第二板体平行，所述第一板体通过所述防护网与所述第二板体固定连接，所述第二板体的中部设有与所述分子泵吸气口连通的出气通孔，所述第一板体靠近所述第二板体的一侧设有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板均为体形且高度相等，所述第一挡板设于所述第二挡板内，所述第二板体靠近所述第一板体的一侧设有圆柱体形的第三挡板，所述第三挡板位于所述第一挡板与所述第二挡板之间，所述第三挡板...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈禹，
申请(专利权)人：成都博莱特流体控制工程有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51